Термінові новини: MIIT просуває вітчизняні літографічні машини DUV з точністю накладання ≤8 нм

В останні місяці Міністерство промисловості та інформаційних технологій (MIIT) опублікувало «Керівні принципи щодо просування та застосування першого (комплекту) основного технічного обладнання (видання 2024 року)». Це відкриває шлях для повноцінної локалізації виробництва зрілих мікросхем для вузлів, що виготовляються за технологією понад 28 нм!

Хоча 28-нм технологія не є передовою, вона має суттєве значення як межа між чіпами низького та середнього класу та середнього та високого класу. Окрім передових процесорів, графічних процесорів та чіпів штучного інтелекту, більшість чіпів промислового класу виготовляються за технологіями 28 нм або вище.

Принцип роботи: Досягнення в літографії глибокого ультрафіолету

Літографічні машини KrF (фторид криптону) та ArF (фторид аргону) належать до категорії літографії глибокого ультрафіолету (DUV). Обидва використовують певні довжини хвиль світла, що проектуються через оптичні системи на шар фоторезисту кремнієвої пластини, передаючи складні схеми.

Літографічні машини KrF: Використовуйте джерело світла з довжиною хвилі 248 нм, що забезпечує роздільну здатність нижче 110 нм, що підходить для різних процесів виробництва інтегральних схем.

Літографічні машини ArF: Використовуйте джерело світла з довжиною хвилі 193 нм, що забезпечує вищу роздільну здатність для технологій обробки даних менше 65 нм, що дозволяє створювати точніші схеми.

Технологічне значення: модернізація галузі та самостійність

Розробка цих літографічних машин знаменує собою важливу віху в розвитку виробництва напівпровідників та досягненні промислової автономії.:

Технічні прориви: Успішне створення літографічних машин KrF та ArF свідчить про значний прогрес у високоякісних літографічних технологіях, забезпечуючи надійну технічну підтримку для виробництва напівпровідників.

Оновлення галузі: Високоточні літографічні машини дозволяють виробляти складніші та високопродуктивні інтегральні схеми, стимулюючи інновації в усьому ланцюжку створення вартості напівпровідників.

Економічна та національна безпека: Зменшуючи залежність від іноземних технологій, ці машини зміцнюють самодостатність вітчизняної напівпровідникової промисловості, зміцнюючи економічну та промислову безпеку.

Водяний чилер Ключ до стабільної роботи літографічної машини

Точний контроль температури є важливим для забезпечення якості та виходу процесу літографії. Водяні чилери, як основні компоненти систем охолодження, відіграють життєво важливу роль:

Вимоги до охолодження: Літографічні машини надзвичайно чутливі до коливань температури під час експозиції, що вимагає використання водяних чилерів, які забезпечують високоточний та стабільний контроль температури.

Функції чилерів: Завдяки циркуляції охолоджувальної води, чилери ефективно розсіюють тепло, що утворюється під час роботи, підтримуючи лазерне обладнання в оптимальному температурному діапазоні та забезпечуючи точність і надійність процесу літографії.

Чиллер TEYU пропонує професійні рішення для охолодження літографічних машин

Ультрашвидкі лазерні чилери серії TEYU CWUP можуть забезпечити точний та стабільний контроль температури для літографічних машин. The модель чилера CWUP-20ANP досягає температурної стабільності ±0.08°C, що забезпечує високоефективне охолодження для точного виробництва.

У світі виробництва напівпровідників, літографічні машини є основними пристроями для перенесення шаблонів мікросхем. З розвитком технологій, літографічні машини для фторидного криптону та фторидного аргону стали важливою силою, що сприяє розвитку галузі завдяки своїм відмінним характеристикам.