Breaking News: MIIT bevorder binnelandse DUV-litografiemasjiene met ≤8nm oorleg-akkuraatheid

In onlangse maande het die Ministerie van Nywerheid en Inligtingstegnologie (MIIT) die "Riglyne vir die Bevordering en Toepassing van Eerste (Stel) Groot Tegniese Toerusting (2024-uitgawe)" uitgereik. Dit baan die weg vir volledige proseslokalisering van volwasse skyfievervaardiging vir nodusse bo 28nm!

Alhoewel 28nm-tegnologie nie baanbrekerswerk is nie, hou dit beduidende belang as die skeidslyn tussen lae-tot-middel- en middel-tot-hoë-end-skyfies. Afgesien van gevorderde SVE's, GPU's en KI-skyfies, maak die meeste industriële skyfies staat op 28nm of hoër tegnologieë.

Werkbeginsel: Vooruitgang in diep ultraviolet litografie

KrF (Krypton Fluoried) en ArF (Argon Fluoried) litografiemasjiene val onder die kategorie Diep Ultraviolet (DUV) litografie. Beide gebruik spesifieke liggolflengtes wat deur optiese stelsels op die fotoresistlaag van 'n silikonwafer geprojekteer word, wat ingewikkelde stroombaanpatrone oordra.

KrF Litografie Masjiene: Gebruik 'n ligbron met 'n golflengte van 248 nm, wat resolusies onder 110 nm bereik, geskik vir verskeie geïntegreerde stroombaanvervaardigingsprosesse.

ArF Litografie Masjiene: Gebruik 'n ligbron met 'n golflengte van 193 nm, wat hoër resolusie bied vir prosestegnologieë onder 65 nm, wat die vervaardiging van fyner stroombane moontlik maak.

Tegnologiese Betekenis: Nywerheidsopgradering en Selfstandigheid

Die ontwikkeling van hierdie litografiemasjiene is 'n belangrike mylpaal in die bevordering van halfgeleiervervaardiging en die bereiking van industriële outonomie.:

Tegniese Deurbrake: Die suksesvolle skepping van KrF- en ArF-litografiemasjiene beklemtoon beduidende vordering in hoë-end litografietegnologie, wat robuuste tegniese ondersteuning vir halfgeleiervervaardiging bied.

Bedryfsopgradering: Hoë-presisie litografiemasjiene maak die produksie van meer komplekse en hoëprestasie-geïntegreerde stroombane moontlik, wat innovasie oor die hele halfgeleierwaardeketting dryf.

Ekonomiese en Nasionale Veiligheid: Deur die afhanklikheid van buitelandse tegnologie te verminder, versterk hierdie masjiene die selfonderhoud van die binnelandse halfgeleierbedryf en versterk dit ekonomiese en industriële sekuriteit.

Waterkoeler Die sleutel tot stabiele litografiemasjienprestasie

Presiese temperatuurbeheer is noodsaaklik om die kwaliteit en opbrengs van die litografieproses te verseker. Waterkoelers, as kernkomponente van verkoelingstelsels, speel 'n belangrike rol:

Verkoelingsvereistes: Litografiemasjiene is uiters sensitief vir temperatuurskommelings tydens blootstelling, wat waterverkoelers noodsaaklik maak wat hoogs akkurate en stabiele temperatuurbeheer bied.

Funksies van verkoelers: Deur verkoelingswater te sirkuleer, versprei verkoelers die hitte wat tydens werking gegenereer word, effektief, wat lasertoerusting binne 'n optimale temperatuurreeks handhaaf en akkuraatheid en betroubaarheid in die litografieproses verseker.

TEYU-verkoeler bied professionele verkoelingsoplossings vir litografiemasjiene

TEYU CWUP-reeks ultrasnelle laserverkoelers kan presiese en stabiele temperatuurbeheer vir litografiemasjiene bied. Die verkoelermodel CWUP-20ANP bereik temperatuurstabiliteit van ±0.08°C, wat hoogs doeltreffende verkoeling vir presisievervaardiging lewer.

In die presiese wêreld van halfgeleiervervaardiging is litografiemasjiene die kerntoestelle vir die oordrag van mikrokringpatrone. Met die vooruitgang van tegnologie het kriptonfluoriedlitografiemasjiene en argonfluoriedlitografiemasjiene 'n belangrike krag geword om die ontwikkeling van die bedryf te bevorder met hul uitstekende prestasie.