ब्रेकिंग न्यूज़: MIIT ≤8nm ओवरले सटीकता वाली घरेलू DUV लिथोग्राफी मशीनों को बढ़ावा दे रहा है

हाल के महीनों में, उद्योग एवं सूचना प्रौद्योगिकी मंत्रालय (MIIT) ने "प्रथम (सेट) प्रमुख तकनीकी उपकरणों के प्रचार और अनुप्रयोग के लिए दिशानिर्देश (2024 संस्करण)" जारी किए हैं। इससे 28nm से ऊपर के नोड्स के लिए परिपक्व चिप निर्माण की पूर्ण-प्रक्रिया स्थानीयकरण का मार्ग प्रशस्त होता है!

हालाँकि 28nm तकनीक अत्याधुनिक नहीं है, फिर भी निम्न-से-मध्यम और मध्यम-से-उच्च-स्तरीय चिप्स के बीच विभाजक रेखा के रूप में इसका महत्वपूर्ण महत्व है। उन्नत CPU, GPU और AI चिप्स के अलावा, अधिकांश औद्योगिक-ग्रेड चिप्स 28nm या उससे उच्चतर तकनीकों पर निर्भर करते हैं।

कार्य सिद्धांत: डीप अल्ट्रावायलेट लिथोग्राफी में प्रगति

KrF (क्रिप्टन फ्लोराइड) और ArF (आर्गन फ्लोराइड) लिथोग्राफी मशीनें डीप अल्ट्रावायलेट (DUV) लिथोग्राफी की श्रेणी में आती हैं। दोनों ही ऑप्टिकल सिस्टम के माध्यम से सिलिकॉन वेफर की फोटोरेसिस्ट परत पर प्रक्षेपित विशिष्ट प्रकाश तरंगदैर्ध्य का उपयोग करती हैं, जिससे जटिल सर्किट पैटर्न स्थानांतरित होते हैं।

KrF लिथोग्राफी मशीनें: 248nm तरंगदैर्ध्य प्रकाश स्रोत का उपयोग करती हैं, 110nm से नीचे के रिज़ॉल्यूशन प्राप्त करती हैं, विभिन्न एकीकृत सर्किट विनिर्माण प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त हैं।

एआरएफ लिथोग्राफी मशीनें: 193एनएम तरंगदैर्ध्य प्रकाश स्रोत का उपयोग करती हैं, जो उप-65एनएम प्रक्रिया प्रौद्योगिकियों के लिए उच्च रिज़ॉल्यूशन प्रदान करती हैं, जिससे बेहतर सर्किट का निर्माण संभव होता है।

तकनीकी महत्व: उद्योग उन्नयन और आत्मनिर्भरता

इन लिथोग्राफी मशीनों का विकास अर्धचालक विनिर्माण को आगे बढ़ाने और औद्योगिक स्वायत्तता प्राप्त करने में एक प्रमुख मील का पत्थर है:

तकनीकी सफलताएं: KrF और ArF लिथोग्राफी मशीनों का सफल निर्माण उच्च स्तरीय लिथोग्राफी प्रौद्योगिकी में महत्वपूर्ण प्रगति को दर्शाता है, जो अर्धचालक विनिर्माण के लिए मजबूत तकनीकी सहायता प्रदान करता है।

उद्योग उन्नयन: उच्च परिशुद्धता लिथोग्राफी मशीनें अधिक जटिल और उच्च प्रदर्शन वाले एकीकृत सर्किट के उत्पादन को सक्षम बनाती हैं, जिससे संपूर्ण अर्धचालक मूल्य श्रृंखला में नवाचार को बढ़ावा मिलता है।

आर्थिक और राष्ट्रीय सुरक्षा: विदेशी प्रौद्योगिकी पर निर्भरता कम करके, ये मशीनें घरेलू अर्धचालक उद्योग की आत्मनिर्भरता को मजबूत करती हैं, तथा आर्थिक और औद्योगिक सुरक्षा को मजबूत करती हैं।

वाटर चिलर : स्थिर लिथोग्राफी मशीन प्रदर्शन की कुंजी

लिथोग्राफी प्रक्रिया की गुणवत्ता और उत्पादकता सुनिश्चित करने के लिए सटीक तापमान नियंत्रण आवश्यक है। शीतलन प्रणालियों के मुख्य घटकों के रूप में, वाटर चिलर निम्नलिखित महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं:

शीतलन आवश्यकताएं: लिथोग्राफी मशीनें एक्सपोजर के दौरान तापमान में उतार-चढ़ाव के प्रति अत्यधिक संवेदनशील होती हैं, जिसके लिए जल शीतलन यंत्रों की आवश्यकता होती है, जो अत्यधिक सटीक और स्थिर तापमान नियंत्रण प्रदान करते हैं।

चिलर के कार्य: शीतलन जल को प्रसारित करके, चिलर संचालन के दौरान उत्पन्न गर्मी को प्रभावी ढंग से नष्ट करते हैं, लेजर उपकरण को इष्टतम तापमान सीमा के भीतर बनाए रखते हैं और लिथोग्राफी प्रक्रिया में सटीकता और विश्वसनीयता सुनिश्चित करते हैं।

TEYU चिलर लिथोग्राफी मशीनों के लिए पेशेवर शीतलन समाधान प्रदान करता है

TEYU CWUP श्रृंखला के अल्ट्राफास्ट लेज़र चिलर लिथोग्राफी मशीनों के लिए सटीक और स्थिर तापमान नियंत्रण प्रदान कर सकते हैं। चिलर मॉडल CWUP-20ANP ±0.08°C की तापमान स्थिरता प्राप्त करता है, जो सटीक निर्माण के लिए अत्यधिक कुशल शीतलन प्रदान करता है।

अर्धचालक निर्माण की सटीक दुनिया में, लिथोग्राफी मशीनें माइक्रोक्रिकिट पैटर्न के हस्तांतरण के लिए मुख्य उपकरण हैं। प्रौद्योगिकी की प्रगति के साथ, क्रिप्टन फ्लोराइड लिथोग्राफी मशीनें और आर्गन फ्लोराइड लिथोग्राफी मशीनें अपने उत्कृष्ट प्रदर्शन के साथ उद्योग के विकास को बढ़ावा देने में एक महत्वपूर्ण शक्ति बन गई हैं।