ਹਾਲ ਹੀ ਦੇ ਮਹੀਨਿਆਂ ਵਿੱਚ, ਉਦਯੋਗ ਅਤੇ ਸੂਚਨਾ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਮੰਤਰਾਲੇ (MIIT) ਨੇ "ਪਹਿਲੇ (ਸੈੱਟ) ਪ੍ਰਮੁੱਖ ਤਕਨੀਕੀ ਉਪਕਰਣਾਂ (2024 ਐਡੀਸ਼ਨ) ਦੇ ਪ੍ਰਚਾਰ ਅਤੇ ਵਰਤੋਂ ਲਈ ਦਿਸ਼ਾ-ਨਿਰਦੇਸ਼" ਜਾਰੀ ਕੀਤੇ ਹਨ। ਇਹ 28nm ਤੋਂ ਉੱਪਰ ਦੇ ਨੋਡਾਂ ਲਈ ਪਰਿਪੱਕ ਚਿੱਪ ਨਿਰਮਾਣ ਦੇ ਪੂਰੇ-ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਾਨੀਕਰਨ ਲਈ ਰਾਹ ਪੱਧਰਾ ਕਰਦਾ ਹੈ!
ਭਾਵੇਂ 28nm ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਅਤਿ-ਆਧੁਨਿਕ ਨਹੀਂ ਹੈ, ਪਰ ਇਹ ਘੱਟ-ਤੋਂ-ਮੱਧ-ਅੰਤ ਅਤੇ ਮੱਧ-ਤੋਂ-ਉੱਚ-ਅੰਤ ਵਾਲੇ ਚਿੱਪਾਂ ਵਿਚਕਾਰ ਵੰਡਣ ਵਾਲੀ ਰੇਖਾ ਵਜੋਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਮਹੱਤਵ ਰੱਖਦੀ ਹੈ। ਉੱਨਤ CPUs, GPUs, ਅਤੇ AI ਚਿਪਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਜ਼ਿਆਦਾਤਰ ਉਦਯੋਗਿਕ-ਗ੍ਰੇਡ ਚਿਪਸ 28nm ਜਾਂ ਉੱਚ ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦੇ ਹਨ।
![MIIT Promotes Domestic DUV Lithography Machines with ≤8nm Overlay Accuracy]()
ਕੰਮ ਕਰਨ ਦਾ ਸਿਧਾਂਤ: ਡੂੰਘੀ ਅਲਟਰਾਵਾਇਲਟ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਵਿੱਚ ਤਰੱਕੀ
KrF (ਕ੍ਰਿਪਟਨ ਫਲੋਰਾਈਡ) ਅਤੇ ArF (ਆਰਗਨ ਫਲੋਰਾਈਡ) ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਡੀਪ ਅਲਟਰਾਵਾਇਲਟ (DUV) ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਦੀ ਸ਼੍ਰੇਣੀ ਵਿੱਚ ਆਉਂਦੀਆਂ ਹਨ। ਦੋਵੇਂ ਇੱਕ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਪਰਤ ਉੱਤੇ ਆਪਟੀਕਲ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਿਤ ਖਾਸ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ ਤਰੰਗ-ਲੰਬਾਈ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਸਰਕਟ ਪੈਟਰਨਾਂ ਨੂੰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਕਰਦੇ ਹਨ।
KrF ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ:
248nm ਤਰੰਗ-ਲੰਬਾਈ ਵਾਲੇ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ ਸਰੋਤ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰੋ, ਜੋ 110nm ਤੋਂ ਘੱਟ ਰੈਜ਼ੋਲਿਊਸ਼ਨ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ ਸਰਕਟ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਲਈ ਢੁਕਵਾਂ ਹੈ।
ਏਆਰਐਫ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ:
193nm ਤਰੰਗ-ਲੰਬਾਈ ਵਾਲੇ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ ਸਰੋਤ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰੋ, ਜੋ ਕਿ ਉਪ-65nm ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ ਲਈ ਉੱਚ ਰੈਜ਼ੋਲਿਊਸ਼ਨ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਬਾਰੀਕ ਸਰਕਟਾਂ ਦੇ ਨਿਰਮਾਣ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਤਕਨੀਕੀ ਮਹੱਤਵ: ਉਦਯੋਗ ਅੱਪਗ੍ਰੇਡ ਅਤੇ ਸਵੈ-ਨਿਰਭਰਤਾ
ਇਹਨਾਂ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਦਾ ਵਿਕਾਸ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਨੂੰ ਅੱਗੇ ਵਧਾਉਣ ਅਤੇ ਉਦਯੋਗਿਕ ਖੁਦਮੁਖਤਿਆਰੀ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਵੱਡਾ ਮੀਲ ਪੱਥਰ ਹੈ।:
ਤਕਨੀਕੀ ਸਫਲਤਾਵਾਂ:
KrF ਅਤੇ ArF ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਦੀ ਸਫਲ ਸਿਰਜਣਾ ਉੱਚ-ਅੰਤ ਵਾਲੀ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਵਿੱਚ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਪ੍ਰਗਤੀ ਨੂੰ ਉਜਾਗਰ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਲਈ ਮਜ਼ਬੂਤ ਤਕਨੀਕੀ ਸਹਾਇਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ।
ਉਦਯੋਗ ਅੱਪਗ੍ਰੇਡ:
ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀਆਂ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਵਧੇਰੇ ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਾਲੇ ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ ਸਰਕਟਾਂ ਦੇ ਉਤਪਾਦਨ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ, ਜੋ ਸਮੁੱਚੀ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਮੁੱਲ ਲੜੀ ਵਿੱਚ ਨਵੀਨਤਾ ਨੂੰ ਅੱਗੇ ਵਧਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ।
ਆਰਥਿਕ ਅਤੇ ਰਾਸ਼ਟਰੀ ਸੁਰੱਖਿਆ: ਵਿਦੇਸ਼ੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰਤਾ ਘਟਾ ਕੇ, ਇਹ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਘਰੇਲੂ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਦੀ ਸਵੈ-ਨਿਰਭਰਤਾ ਨੂੰ ਮਜ਼ਬੂਤ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ, ਆਰਥਿਕ ਅਤੇ ਉਦਯੋਗਿਕ ਸੁਰੱਖਿਆ ਨੂੰ ਮਜ਼ਬੂਤ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ।
ਵਾਟਰ ਚਿਲਰ
: ਸਥਿਰ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਦੀ ਕੁੰਜੀ
ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਅਤੇ ਉਪਜ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਸਹੀ ਤਾਪਮਾਨ ਨਿਯੰਤਰਣ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ। ਕੂਲਿੰਗ ਸਿਸਟਮ ਦੇ ਮੁੱਖ ਹਿੱਸਿਆਂ ਵਜੋਂ, ਵਾਟਰ ਚਿਲਰ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦੇ ਹਨ।:
ਕੂਲਿੰਗ ਦੀਆਂ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ:
ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਐਕਸਪੋਜਰ ਦੌਰਾਨ ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਪ੍ਰਤੀ ਬਹੁਤ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ, ਜਿਸ ਲਈ ਵਾਟਰ ਚਿਲਰ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਜੋ ਬਹੁਤ ਹੀ ਸਹੀ ਅਤੇ ਸਥਿਰ ਤਾਪਮਾਨ ਨਿਯੰਤਰਣ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਨ।
ਚਿਲਰਾਂ ਦੇ ਕੰਮ:
ਠੰਢਾ ਪਾਣੀ ਘੁੰਮਾ ਕੇ, ਚਿਲਰ ਕਾਰਜ ਦੌਰਾਨ ਪੈਦਾ ਹੋਣ ਵਾਲੀ ਗਰਮੀ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਖਤਮ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਲੇਜ਼ਰ ਉਪਕਰਣਾਂ ਨੂੰ ਇੱਕ ਅਨੁਕੂਲ ਤਾਪਮਾਨ ਸੀਮਾ ਦੇ ਅੰਦਰ ਰੱਖਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ।
![Ultrafast laser chiller CWUP-20ANP with 0.08℃ stability]()
TEYU ਚਿਲਰ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਲਈ ਪੇਸ਼ੇਵਰ ਕੂਲਿੰਗ ਹੱਲ ਪੇਸ਼ ਕਰਦਾ ਹੈ
TEYU CWUP ਸੀਰੀਜ਼ ਦੇ ਅਲਟਰਾਫਾਸਟ ਲੇਜ਼ਰ ਚਿਲਰ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਲਈ ਸਟੀਕ ਅਤੇ ਸਥਿਰ ਤਾਪਮਾਨ ਨਿਯੰਤਰਣ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ। ਦ
ਚਿਲਰ ਮਾਡਲ CWUP-20ANP
ਦੀ ਤਾਪਮਾਨ ਸਥਿਰਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਦਾ ਹੈ ±0.08°C, ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨਿਰਮਾਣ ਲਈ ਬਹੁਤ ਕੁਸ਼ਲ ਕੂਲਿੰਗ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਦੀ ਸਟੀਕ ਦੁਨੀਆ ਵਿੱਚ, ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਮਾਈਕ੍ਰੋਸਰਕਿਟ ਪੈਟਰਨਾਂ ਦੇ ਤਬਾਦਲੇ ਲਈ ਮੁੱਖ ਉਪਕਰਣ ਹਨ। ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੀ ਤਰੱਕੀ ਦੇ ਨਾਲ, ਕ੍ਰਿਪਟਨ ਫਲੋਰਾਈਡ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਅਤੇ ਆਰਗਨ ਫਲੋਰਾਈਡ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਆਪਣੇ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨਾਲ ਉਦਯੋਗ ਦੇ ਵਿਕਾਸ ਨੂੰ ਉਤਸ਼ਾਹਿਤ ਕਰਨ ਲਈ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸ਼ਕਤੀ ਬਣ ਗਏ ਹਨ।