সাম্প্রতিক মাসগুলিতে, শিল্প ও তথ্য প্রযুক্তি মন্ত্রণালয় (MIIT) "প্রথম (সেট) প্রধান প্রযুক্তিগত সরঞ্জামের প্রচার এবং প্রয়োগের জন্য নির্দেশিকা (২০২৪ সংস্করণ)" জারি করেছে। এটি ২৮ ন্যানোমিটারের বেশি নোডের জন্য পরিপক্ক চিপ উৎপাদনের পূর্ণ-প্রক্রিয়া স্থানীয়করণের পথ প্রশস্ত করে!
যদিও ২৮ ন্যানোমিটার প্রযুক্তি অত্যাধুনিক নয়, তবুও এটি নিম্ন-থেকে-মধ্য-প্রান্ত এবং মধ্য-থেকে-উচ্চ-প্রান্তের চিপগুলির মধ্যে বিভাজন রেখা হিসেবে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। উন্নত সিপিইউ, জিপিইউ এবং এআই চিপ ছাড়াও, বেশিরভাগ শিল্প-গ্রেড চিপ 28nm বা উচ্চতর প্রযুক্তির উপর নির্ভর করে।
![MIIT Promotes Domestic DUV Lithography Machines with ≤8nm Overlay Accuracy]()
কাজের নীতি: গভীর অতিবেগুনী লিথোগ্রাফিতে অগ্রগতি
KrF (ক্রিপ্টন ফ্লোরাইড) এবং ArF (আর্গন ফ্লোরাইড) লিথোগ্রাফি মেশিনগুলি ডিপ আল্ট্রাভায়োলেট (DUV) লিথোগ্রাফির বিভাগে পড়ে। উভয়ই সিলিকন ওয়েফারের ফটোরেজিস্ট স্তরে অপটিক্যাল সিস্টেমের মাধ্যমে প্রক্ষিপ্ত নির্দিষ্ট আলোক তরঙ্গদৈর্ঘ্য ব্যবহার করে, জটিল সার্কিট প্যাটার্ন স্থানান্তর করে।
KrF লিথোগ্রাফি মেশিন:
বিভিন্ন ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উৎপাদন প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত, ১১০ ন্যানোমিটারের নিচে রেজোলিউশন অর্জনকারী ২৪৮ ন্যানোমিটার তরঙ্গদৈর্ঘ্যের আলোক উৎস ব্যবহার করুন।
আরএফ লিথোগ্রাফি মেশিন:
১৯৩nm তরঙ্গদৈর্ঘ্যের আলোক উৎস ব্যবহার করুন, যা ৬৫nm-এর নিচে প্রক্রিয়া প্রযুক্তির জন্য উচ্চতর রেজোলিউশন প্রদান করে, যা সূক্ষ্ম সার্কিট তৈরিতে সহায়তা করে।
প্রযুক্তিগত তাৎপর্য: শিল্পের উন্নয়ন এবং আত্মনির্ভরতা
এই লিথোগ্রাফি মেশিনগুলির বিকাশ সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনকে এগিয়ে নেওয়ার এবং শিল্প স্বায়ত্তশাসন অর্জনের ক্ষেত্রে একটি বড় মাইলফলক।:
প্রযুক্তিগত সাফল্য:
KrF এবং ArF লিথোগ্রাফি মেশিনের সফল সৃষ্টি উচ্চমানের লিথোগ্রাফি প্রযুক্তিতে উল্লেখযোগ্য অগ্রগতি তুলে ধরে, যা সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের জন্য শক্তিশালী প্রযুক্তিগত সহায়তা প্রদান করে।
শিল্প আপগ্রেড:
উচ্চ-নির্ভুল লিথোগ্রাফি মেশিনগুলি আরও জটিল এবং উচ্চ-কার্যক্ষমতাসম্পন্ন ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উৎপাদন সক্ষম করে, যা সমগ্র সেমিকন্ডাক্টর মূল্য শৃঙ্খলে উদ্ভাবনকে চালিত করে।
অর্থনৈতিক ও জাতীয় নিরাপত্তা: বিদেশী প্রযুক্তির উপর নির্ভরতা কমিয়ে, এই মেশিনগুলি দেশীয় সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের স্বয়ংসম্পূর্ণতাকে শক্তিশালী করে, অর্থনৈতিক ও শিল্প নিরাপত্তা জোরদার করে।
জল চিলার
: স্থিতিশীল লিথোগ্রাফি মেশিনের কর্মক্ষমতার চাবিকাঠি
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার গুণমান এবং ফলন নিশ্চিত করার জন্য সঠিক তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ অপরিহার্য। কুলিং সিস্টেমের মূল উপাদান হিসেবে ওয়াটার চিলারগুলি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে:
শীতলকরণের প্রয়োজনীয়তা:
লিথোগ্রাফি মেশিনগুলি এক্সপোজারের সময় তাপমাত্রার ওঠানামার প্রতি অত্যন্ত সংবেদনশীল, যার ফলে জল চিলারের প্রয়োজন হয় যা অত্যন্ত নির্ভুল এবং স্থিতিশীল তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ প্রদান করে।
চিলারের কার্যাবলী:
শীতল জল সঞ্চালনের মাধ্যমে, চিলারগুলি কার্যকরভাবে অপারেশনের সময় উৎপন্ন তাপকে নষ্ট করে, লেজার সরঞ্জামগুলিকে সর্বোত্তম তাপমাত্রার সীমার মধ্যে বজায় রাখে এবং লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় নির্ভুলতা এবং নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করে।
![Ultrafast laser chiller CWUP-20ANP with 0.08℃ stability]()
TEYU চিলার লিথোগ্রাফি মেশিনের জন্য পেশাদার কুলিং সমাধান প্রদান করে
TEYU CWUP সিরিজের অতি দ্রুত লেজার চিলারগুলি লিথোগ্রাফি মেশিনের জন্য সুনির্দিষ্ট এবং স্থিতিশীল তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ প্রদান করতে পারে। দ্য
চিলার মডেল CWUP-20ANP
তাপমাত্রা স্থিতিশীলতা অর্জন করে ±0.08°সি, নির্ভুল উৎপাদনের জন্য অত্যন্ত দক্ষ শীতলকরণ প্রদান করে।
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের সুনির্দিষ্ট জগতে, লিথোগ্রাফি মেশিনগুলি মাইক্রোসার্কিট প্যাটার্ন স্থানান্তরের মূল যন্ত্র। প্রযুক্তির অগ্রগতির সাথে সাথে, ক্রিপ্টন ফ্লোরাইড লিথোগ্রাফি মেশিন এবং আর্গন ফ্লোরাইড লিথোগ্রাফি মেশিন তাদের চমৎকার কর্মক্ষমতার মাধ্যমে শিল্পের উন্নয়নে একটি গুরুত্বপূর্ণ শক্তি হয়ে উঠেছে।