Urĝaj Novaĵoj: MIIT Promocias Hejmajn DUV-Litografiajn Maŝinojn kun ≤8nm Supertavola Precizeco

En la lastaj monatoj, la Ministerio pri Industrio kaj Informa Teknologio (MIIT) eldonis la "Gvidliniojn por la Promocio kaj Apliko de Unuaj (Aro) Gravaj Teknikaj Ekipaĵoj (Eldono de 2024)". Ĉi tio pavimas la vojon por plenproceza lokalizo de maturaj ĉipoj-fabrikado por nodoj super 28nm!

Kvankam 28nm-teknologio ne estas pintnivela, ĝi havas signifan gravecon kiel la dividlinio inter malalt- ĝis mez- kaj mez- ĝis alt-kvalitaj ĉipoj. Krom progresintaj procesoroj, grafikaj procesoroj kaj artefarita inteligenteco-ĉipoj, plej multaj industri-nivelaj ĉipoj dependas de 28nm aŭ pli altaj teknologioj.

Funkciprincipo: Progresoj en Profunda Ultraviola Litografio

Litografio-maŝinoj per KrF (kriptona fluorido) kaj ArF (argona fluorido) apartenas al la kategorio de profunda ultraviola (DUV) litografio. Ambaŭ uzas specifajn lumajn ondolongojn projekciitajn tra optikaj sistemoj sur la fotorezistan tavolon de silicia oblato, transdonante komplikajn cirkvitajn ŝablonojn.

Litografiaj Maŝinoj KrF: Uzas lumfonton kun ondolongo de 248 nm, atingante rezoluciojn sub 110 nm, taŭgajn por diversaj fabrikadaj procezoj de integraj cirkvitoj.

ArF-Litografiaj Maŝinoj: Uzas 193nm-ondan lumfonton, ofertante pli altan rezolucion por sub-65nm-aj procesteknologioj, ebligante la fabrikadon de pli fajnaj cirkvitoj.

Teknologia Signifo: Industria Ĝisdatigo kaj Memstareco

La disvolviĝo de ĉi tiuj litografiaj maŝinoj markas gravan mejloŝtonon en la antaŭenigo de semikonduktaĵa fabrikado kaj atingado de industria aŭtonomio:

Teknikaj Sukcesoj: La sukcesa kreado de KrF kaj ArF litografiaj maŝinoj elstarigas signifan progreson en altkvalita litografia teknologio, provizante fortikan teknikan subtenon por semikonduktaĵa fabrikado.

Industria Ĝisdatigo: Alt-precizaj litografiaj maŝinoj ebligas la produktadon de pli kompleksaj kaj alt-efikecaj integraj cirkvitoj, pelante novigadon tra la tuta duonkonduktaĵa valoroĉeno.

Ekonomia kaj Nacia Sekureco: Reduktante dependecon de fremda teknologio, ĉi tiuj maŝinoj plifortigas la aŭtarkion de la hejma semikonduktaĵa industrio, plifortigante ekonomian kaj industrian sekurecon.

Akvomalvarmigilo : La Ŝlosilo al Stabila Litografia Maŝina Elfaro

Preciza temperaturkontrolo estas esenca por certigi la kvaliton kaj rendimenton de la litografia procezo. Akvomalvarmigiloj, kiel kernaj komponantoj de malvarmigaj sistemoj, ludas gravan rolon:

Malvarmigaj Postuloj: Litografiaj maŝinoj estas ekstreme sentemaj al temperaturfluktuoj dum eksponado, necesigante akvomalvarmigilojn, kiuj provizas tre precizan kaj stabilan temperaturkontrolon.

Funkcioj de Malvarmigiloj: Per cirkuligo de malvarmiga akvo, malvarmigiloj efike disipas varmon generitan dum funkciado, konservante laseran ekipaĵon ene de optimuma temperaturintervalo kaj certigante precizecon kaj fidindecon en la litografia procezo.

TEYU Chiller Proponas Profesiajn Malvarmigajn Solvojn por Litografiaj Maŝinoj

La ultrarapidaj laseraj malvarmigiloj de la serio TEYU CWUP povas provizi precizan kaj stabilan temperaturkontrolon por litografiaj maŝinoj. La malvarmigilo modelo CWUP-20ANP atingas temperaturstabilecon de ±0.08°C, liverante tre efikan malvarmigon por preciza fabrikado.

En la preciza mondo de duonkonduktaĵa fabrikado, litografiaj maŝinoj estas la kernaj aparatoj por translokigo de mikrocirkvitaj padronoj. Kun la progreso de teknologio, kriptonfluoridaj litografiaj maŝinoj kaj argonfluoridaj litografiaj maŝinoj fariĝis grava forto por antaŭenigi la disvolviĝon de la industrio per sia bonega funkciado.