Urĝaj Novaĵoj: MIIT Promocias Hejmajn DUV-Litografiajn Maŝinojn kun ≤8nm Supertavola Precizeco

En la lastaj monatoj, la Ministerio pri Industrio kaj Informa Teknologio (MIIT) eldonis la "Gvidliniojn por la Promocio kaj Apliko de Unuaj (Aro) Gravaj Teknikaj Ekipaĵoj (Eldono de 2024)". Ĉi tio pavimas la vojon por plena proceza lokalizo de matura ico-fabrikado por nodoj super 28nm!

Kvankam 28nm-teknologio ne estas pintnivela, ĝi havas signifan gravecon kiel la dividlinio inter malalt- ĝis mez-kvalitaj kaj mez- ĝis alt-kvalitaj ĉipoj. Krom progresintaj procesoroj, grafikaj procesoroj, kaj artefarita inteligenteco-ĉipoj, la plej multaj industri-nivelaj ĉipoj dependas de 28nm aŭ pli altaj teknologioj.

Funkciprincipo: Progresoj en Profunda Ultraviola Litografio

Litografiaj maŝinoj kun KrF (kriptona fluorido) kaj ArF (argonfluorido) apartenas al la kategorio de profunda ultraviola (DUV) litografio. Ambaŭ utiligas specifajn lumlongojn projekciitajn tra optikaj sistemoj sur la fotorezistan tavolon de silicia oplateto, transdonante komplikajn cirkvitpadronojn.

KrF Litografiaj Maŝinoj: Uzu 248nm ondolongan lumfonton, atingante rezoluciojn sub 110nm, taŭgan por diversaj integracirkvitaj fabrikadprocezoj.

ArF-Litografiaj Maŝinoj: Uzu lumfonton kun ondolongo de 193 nm, ofertante pli altan rezolucion por procezteknologioj sub 65 nm, ebligante la fabrikadon de pli fajnaj cirkvitoj.

Teknologia Signifo: Industria Ĝisdatigo kaj Memstareco

La disvolviĝo de ĉi tiuj litografiaj maŝinoj markas gravan mejloŝtonon en la antaŭenigo de semikonduktaĵa fabrikado kaj atingado de industria aŭtonomio.:

Teknikaj Sukcesoj: La sukcesa kreado de KrF kaj ArF litografiaj maŝinoj elstarigas signifan progreson en altkvalita litografia teknologio, provizante fortikan teknikan subtenon por semikonduktaĵa fabrikado.

Industria Ĝisdatigo: Alt-precizaj litografiaj maŝinoj ebligas la produktadon de pli kompleksaj kaj alt-efikecaj integraj cirkvitoj, pelante novigadon tra la tuta duonkonduktaĵa valoroĉeno.

Ekonomia kaj Nacia Sekureco: Reduktante dependecon de fremda teknologio, ĉi tiuj maŝinoj plifortigas la aŭtarkion de la hejma semikonduktaĵa industrio, plifortigante ekonomian kaj industrian sekurecon.

Akvomalvarmigilo La Ŝlosilo al Stabila Litografia Maŝina Elfaro

Preciza temperaturkontrolo estas esenca por certigi la kvaliton kaj rendimenton de la litografia procezo. Akvomalvarmigiloj, kiel kernaj komponantoj de malvarmigaj sistemoj, ludas gravan rolon:

Malvarmigaj Postuloj: Litografiaj maŝinoj estas ekstreme sentemaj al temperaturfluktuoj dum eksponado, necesigante akvomalvarmigilojn, kiuj provizas tre precizan kaj stabilan temperaturkontrolon.

Funkcioj de Malvarmigiloj: Per cirkulado de malvarmiga akvo, malvarmigiloj efike disipas varmon generitan dum funkciado, konservante laseran ekipaĵon ene de optimuma temperaturintervalo kaj certigante precizecon kaj fidindecon en la litografia procezo.

TEYU Chiller Proponas Profesiajn Malvarmigajn Solvojn por Litografiaj Maŝinoj

La ultrarapidaj laseraj malvarmigiloj de la serio TEYU CWUP povas provizi precizan kaj stabilan temperaturkontrolon por litografiaj maŝinoj. La malvarmigilo modelo CWUP-20ANP atingas temperaturan stabilecon de ±0.08°C, liverante tre efikan malvarmigon por preciza fabrikado.

En la preciza mondo de semikonduktaĵa fabrikado, litografiaj maŝinoj estas la kernaj aparatoj por translokigo de mikrocirkvitaj padronoj. Kun la progreso de teknologio, kriptonfluorida litografiomaŝino kaj argonfluorida litografiomaŝino fariĝis grava forto por antaŭenigi la disvolviĝon de la industrio per sia bonega agado.