ബ്രേക്കിംഗ് ന്യൂസ്: ≤8nm ഓവർലേ കൃത്യതയുള്ള ഗാർഹിക DUV ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകളെ MIIT പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുന്നു.

സമീപ മാസങ്ങളിൽ, വ്യവസായ, വിവര സാങ്കേതിക മന്ത്രാലയം (MIIT) "ആദ്യ (സെറ്റ്) പ്രധാന സാങ്കേതിക ഉപകരണങ്ങളുടെ (2024 പതിപ്പ്) പ്രോത്സാഹനത്തിനും പ്രയോഗത്തിനുമുള്ള മാർഗ്ഗനിർദ്ദേശങ്ങൾ" പുറപ്പെടുവിച്ചു. 28nm ന് മുകളിലുള്ള നോഡുകൾക്കുള്ള പക്വമായ ചിപ്പ് നിർമ്മാണത്തിന്റെ പൂർണ്ണ-പ്രോസസ് പ്രാദേശികവൽക്കരണത്തിന് ഇത് വഴിയൊരുക്കുന്നു!

28nm സാങ്കേതികവിദ്യ അത്യാധുനികമല്ലെങ്കിലും, ലോ-ടു-മിഡ്-എൻഡ്, മിഡ്-ടു-ഹൈ-എൻഡ് ചിപ്പുകൾ തമ്മിലുള്ള വിഭജന രേഖ എന്ന നിലയിൽ ഇതിന് കാര്യമായ പ്രാധാന്യമുണ്ട്. നൂതന CPU-കൾ, GPU-കൾ, AI ചിപ്പുകൾ എന്നിവയ്ക്ക് പുറമേ, മിക്ക വ്യാവസായിക-ഗ്രേഡ് ചിപ്പുകളും 28nm അല്ലെങ്കിൽ ഉയർന്ന സാങ്കേതികവിദ്യകളെയാണ് ആശ്രയിക്കുന്നത്.

പ്രവർത്തന തത്വം: ഡീപ് അൾട്രാവയലറ്റ് ലിത്തോഗ്രാഫിയിലെ പുരോഗതി.

KrF (ക്രിപ്റ്റോൺ ഫ്ലൂറൈഡ്), ArF (ആർഗൺ ഫ്ലൂറൈഡ്) ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകൾ ഡീപ് അൾട്രാവയലറ്റ് (DUV) ലിത്തോഗ്രാഫി വിഭാഗത്തിൽ പെടുന്നു. രണ്ടും ഒപ്റ്റിക്കൽ സിസ്റ്റങ്ങൾ വഴി പ്രൊജക്റ്റ് ചെയ്ത പ്രത്യേക പ്രകാശ തരംഗദൈർഘ്യങ്ങൾ ഉപയോഗിച്ച് ഒരു സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് പാളിയിലേക്ക് സങ്കീർണ്ണമായ സർക്യൂട്ട് പാറ്റേണുകൾ കൈമാറുന്നു.

കെ.ആർ.എഫ് ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകൾ: വിവിധ ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകൾക്ക് അനുയോജ്യമായ, 110nm-ൽ താഴെ റെസല്യൂഷൻ നേടുന്ന, 248nm തരംഗദൈർഘ്യമുള്ള പ്രകാശ സ്രോതസ്സ് ഉപയോഗിക്കുക.

ആർഎഫ് ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകൾ: 193എൻഎം തരംഗദൈർഘ്യമുള്ള ഒരു പ്രകാശ സ്രോതസ്സ് ഉപയോഗിക്കുക, ഇത് 65എൻഎമ്മിൽ താഴെയുള്ള പ്രോസസ്സ് സാങ്കേതികവിദ്യകൾക്ക് ഉയർന്ന റെസല്യൂഷൻ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു, ഇത് മികച്ച സർക്യൂട്ടുകളുടെ നിർമ്മാണം സാധ്യമാക്കുന്നു.

സാങ്കേതിക പ്രാധാന്യം: വ്യവസായ നവീകരണവും സ്വാശ്രയത്വവും

സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിന്റെ പുരോഗതിയിലും വ്യാവസായിക സ്വയംഭരണം കൈവരിക്കുന്നതിലും ഈ ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകളുടെ വികസനം ഒരു പ്രധാന നാഴികക്കല്ലാണ്:

സാങ്കേതിക മുന്നേറ്റങ്ങൾ: കെ.ആർ.എഫ്, ആർ.എഫ് ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകളുടെ വിജയകരമായ സൃഷ്ടി ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ലിത്തോഗ്രാഫി സാങ്കേതികവിദ്യയിലെ ഗണ്യമായ പുരോഗതി എടുത്തുകാണിക്കുന്നു, ഇത് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിന് ശക്തമായ സാങ്കേതിക പിന്തുണ നൽകുന്നു.

വ്യവസായ നവീകരണം: ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകൾ കൂടുതൽ സങ്കീർണ്ണവും ഉയർന്ന പ്രകടനവുമുള്ള ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെ ഉത്പാദനം പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, ഇത് മുഴുവൻ സെമികണ്ടക്ടർ മൂല്യ ശൃംഖലയിലുടനീളം നവീകരണത്തിന് വഴിയൊരുക്കുന്നു.

സാമ്പത്തികവും ദേശീയ സുരക്ഷയും: വിദേശ സാങ്കേതികവിദ്യയെ ആശ്രയിക്കുന്നത് കുറയ്ക്കുന്നതിലൂടെ, ഈ യന്ത്രങ്ങൾ ആഭ്യന്തര സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിന്റെ സ്വയംപര്യാപ്തതയെ ശക്തിപ്പെടുത്തുകയും സാമ്പത്തികവും വ്യാവസായികവുമായ സുരക്ഷയെ ശക്തിപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു.

വാട്ടർ ചില്ലർ : സ്ഥിരതയുള്ള ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീൻ പ്രകടനത്തിനുള്ള താക്കോൽ

ലിത്തോഗ്രാഫി പ്രക്രിയയുടെ ഗുണനിലവാരവും വിളവും ഉറപ്പാക്കുന്നതിന് കൃത്യമായ താപനില നിയന്ത്രണം അത്യാവശ്യമാണ്. തണുപ്പിക്കൽ സംവിധാനങ്ങളുടെ പ്രധാന ഘടകങ്ങളെന്ന നിലയിൽ വാട്ടർ ചില്ലറുകൾ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു:

തണുപ്പിക്കൽ ആവശ്യകതകൾ: ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകൾ എക്സ്പോഷർ സമയത്ത് താപനിലയിലെ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകളോട് വളരെ സെൻസിറ്റീവ് ആണ്, അതിനാൽ വളരെ കൃത്യവും സ്ഥിരതയുള്ളതുമായ താപനില നിയന്ത്രണം നൽകുന്ന വാട്ടർ ചില്ലറുകൾ ആവശ്യമാണ്.

ചില്ലറുകളുടെ പ്രവർത്തനങ്ങൾ: തണുപ്പിക്കൽ വെള്ളം പ്രചരിക്കുന്നതിലൂടെ, പ്രവർത്തന സമയത്ത് ഉണ്ടാകുന്ന താപം ഫലപ്രദമായി പുറന്തള്ളാൻ ചില്ലറുകൾ സഹായിക്കുന്നു, ലേസർ ഉപകരണങ്ങൾ ഒപ്റ്റിമൽ താപനില പരിധിക്കുള്ളിൽ നിലനിർത്തുകയും ലിത്തോഗ്രാഫി പ്രക്രിയയിൽ കൃത്യതയും വിശ്വാസ്യതയും ഉറപ്പാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകൾക്കായി TEYU ചില്ലർ പ്രൊഫഷണൽ കൂളിംഗ് സൊല്യൂഷനുകൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു

TEYU CWUP സീരീസ് അൾട്രാഫാസ്റ്റ് ലേസർ ചില്ലറുകൾക്ക് ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകൾക്ക് കൃത്യവും സ്ഥിരതയുള്ളതുമായ താപനില നിയന്ത്രണം നൽകാൻ കഴിയും. ചില്ലർ മോഡൽ CWUP-20ANP ±0.08°C താപനില സ്ഥിരത കൈവരിക്കുന്നു, കൃത്യതയുള്ള നിർമ്മാണത്തിനായി വളരെ കാര്യക്ഷമമായ തണുപ്പിക്കൽ നൽകുന്നു.

സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിന്റെ കൃത്യമായ ലോകത്ത്, മൈക്രോ സർക്യൂട്ട് പാറ്റേണുകളുടെ കൈമാറ്റത്തിനുള്ള പ്രധാന ഉപകരണങ്ങളാണ് ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകൾ. സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ പുരോഗതിയോടെ, ക്രിപ്റ്റൺ ഫ്ലൂറൈഡ് ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനും ആർഗൺ ഫ്ലൂറൈഡ് ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനും അവയുടെ മികച്ച പ്രകടനത്തിലൂടെ വ്യവസായത്തിന്റെ വികസനം പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു പ്രധാന ശക്തിയായി മാറിയിരിക്കുന്നു.