Nuacht Briste: Cuireann MIIT Meaisíní Litagrafaíochta DUV Intíre le Cruinneas Forleagan ≤8nm chun cinn

Le míonna beaga anuas, d’eisigh an Aireacht Tionscail agus Teicneolaíochta Faisnéise (MIIT) na "Treoirlínte maidir le Cur Chun Cinn agus Feidhmiú an Chéad (Shraith) Mór-Threalamh Teicniúil (Eagrán 2024)". Réitíonn sé seo an bealach do logánú iomlán próisis déantúsaíochta sliseanna aibí do nóid os cionn 28nm!

Cé nach bhfuil teicneolaíocht 28nm ceannródaíoch, tá tábhacht shuntasach aici mar an líne dheighilte idir sceallóga íseal go meánach agus meán go hard. Seachas LAPanna, GPUanna, agus sceallóga AI ardleibhéil, braitheann formhór na sceallóga grád tionsclaíoch ar theicneolaíochtaí 28nm nó níos airde.

Prionsabal Oibre: Dul Chun Cinn i Litagrafaíocht Ultraivialait Dhomhain

Titeann meaisíní litagrafaíochta KrF (Fluairíd Crioptón) agus ArF (Fluairíd Argón) faoin gcatagóir litagrafaíochta Ultraivialait Dhomhain (DUV). Úsáideann an dá cheann tonnfhaid solais shonracha a teilgtear trí chórais optúla ar an tsraith fhótafhriota de sceallóg sileacain, ag aistriú patrúin chiorcaid chasta.

Meaisíní Litagrafaíochta KrF: Úsáid foinse solais tonnfhaid 248nm, a bhaineann taifeach faoi bhun 110nm amach, atá oiriúnach do phróisis éagsúla déantúsaíochta ciorcad comhtháite.

Meaisíní Litagrafaíochta ArF: Úsáid foinse solais tonnfhaid 193nm, rud a thairgeann réiteach níos airde do theicneolaíochtaí próisis faoi bhun 65nm, rud a chuireann ar chumas ciorcaid níos míne a mhonarú.

Tábhacht Theicneolaíoch: Uasghrádú Tionscail agus Féinmhuinín

Is cloch mhíle mhór í forbairt na meaisíní litagrafaíochta seo i gcur chun cinn déantúsaíochta leathsheoltóirí agus i mbaint amach uathriail thionsclaíoch.:

Ceannródaíochtaí Teicniúla: Léiríonn cruthú rathúil meaisíní litagrafaíochta KrF agus ArF dul chun cinn suntasach i dteicneolaíocht litagrafaíochta ardleibhéil, ag soláthar tacaíocht theicniúil láidir do mhonarú leathsheoltóirí.

Uasghrádú Tionscail: Cuireann meaisíní litagrafaíochta ardchruinnis ar chumas ciorcaid chomhtháite níos casta agus ardfheidhmíochta a tháirgeadh, rud a spreagann nuálaíocht ar fud an tslabhra luacha leathsheoltóra ar fad.

Slándáil Eacnamaíoch agus Náisiúnta: Trí spleáchas ar theicneolaíocht choigríche a laghdú, neartaíonn na meaisíní seo féinleordhóthanacht thionscal na leathsheoltóirí intíre, rud a chuireann le slándáil eacnamaíoch agus thionsclaíoch.

Fuaraitheoir Uisce An Eochair do Fheidhmíocht Chobhsaí Meaisín Litagrafaíochta

Tá rialú teochta beacht riachtanach chun cáilíocht agus toradh an phróisis litagrafaíochta a chinntiú. Tá ról ríthábhachtach ag fuaraitheoirí uisce, mar chomhpháirteanna lárnacha de chórais fuaraithe:

Riachtanais Fuaraithe: Tá meaisíní litagrafaíochta thar a bheith íogair do luaineachtaí teochta le linn nochta, agus mar sin tá gá le fuaraitheoirí uisce a sholáthraíonn rialú teochta an-chruinn agus cobhsaí.

Feidhmeanna Fuaraitheoirí: Trí uisce fuaraithe a chur i gcúrsaíocht, scaipeann fuaraitheoirí teas a ghintear le linn oibríochta go héifeachtach, ag coinneáil trealamh léasair laistigh de raon teochta is fearr agus ag cinntiú cruinneas agus iontaofacht sa phróiseas litagrafaíochta.

Cuireann Fuaraitheoir TEYU Réitigh Fuaraithe Gairmiúla ar fáil do Mheaisíní Litagrafaíochta

Is féidir le fuaraitheoirí léasair ultra-thapa sraith TEYU CWUP rialú teochta beacht agus cobhsaí a sholáthar do mheaisíní litagrafaíochta. An samhail fuaraitheora CWUP-20ANP baintear cobhsaíocht teochta amach ±0.08°C, ag seachadadh fuaraithe an-éifeachtach le haghaidh déantúsaíochta beachtais.

I saol beacht na déantúsaíochta leathsheoltóra, is iad meaisíní litagrafaíochta na príomhfheistí chun patrúin micreachiorcad a aistriú. Le dul chun cinn na teicneolaíochta, tá meaisín litagrafaíochta fluairíde crioptón agus meaisín litagrafaíochta fluairíde argóin ina bhfórsa tábhachtach chun forbairt an tionscail a chur chun cinn lena bhfeidhmíocht den scoth.