Nuacht Briste: Cuireann MIIT Meaisíní Litagrafaíochta DUV Intíre le Cruinneas Forleagan ≤8nm chun cinn

Le míonna beaga anuas, d’eisigh an Aireacht Tionscail agus Teicneolaíochta Faisnéise (MIIT) na "Treoirlínte maidir le Cur Chun Cinn agus Feidhmiú an Chéad (Shraith) Mór-Threalamh Teicniúil (Eagrán 2024)". Réitíonn sé seo an bealach do logánú iomlán próisis déantúsaíochta sliseanna aibí do nóid os cionn 28nm!

Cé nach teicneolaíocht cheannródaíoch í an teicneolaíocht 28nm, tá tábhacht shuntasach aici mar an líne dheighilte idir sceallóga íseal-go-meán-deireadh agus meán-go-hard-deireadh. Seachas LAPanna, GPUanna, agus sceallóga AI ardleibhéil, braitheann formhór na sceallóga grád tionsclaíoch ar theicneolaíochtaí 28nm nó níos airde.

Prionsabal Oibre: Dul Chun Cinn i Litagrafaíocht Ultraivialait Dhomhain

Tagann meaisíní litagrafaíochta KrF (Fluairíd Chrioptón) agus ArF (Fluairíd Argón) faoin gcatagóir litagrafaíochta Ultraivialait Dhomhain (DUV). Úsáideann an dá cheann tonnfhaid solais shonracha a theilgtear trí chórais optúla ar an tsraith fhótafhriotaíochta de shliseán sileacain, ag aistriú patrúin chiorcaid chasta.

Meaisíní Litagrafaíochta KrF: Úsáideann siad foinse solais tonnfhaid 248nm, a bhaineann taifeach faoi bhun 110nm amach, atá oiriúnach do phróisis éagsúla déantúsaíochta ciorcad comhtháite.

Meaisíní Litagrafaíochta ArF: Úsáideann siad foinse solais tonnfhaid 193nm, rud a thairgeann réiteach níos airde do theicneolaíochtaí próisis faoi bhun 65nm, rud a chuireann ar chumas ciorcaid níos míne a mhonarú.

Tábhacht Theicneolaíoch: Uasghrádú Tionscail agus Féinmhuinín

Is cloch mhíle mhór í forbairt na meaisíní litagrafaíochta seo i gcur chun cinn déantúsaíochta leathsheoltóirí agus i mbaint amach uathriail thionsclaíoch:

Dul Chun Cinn Teicniúla: Léiríonn cruthú rathúil meaisíní litagrafaíochta KrF agus ArF dul chun cinn suntasach i dteicneolaíocht litagrafaíochta ardleibhéil, ag soláthar tacaíocht theicniúil láidir do mhonarú leathsheoltóirí.

Uasghrádú Tionscail: Cuireann meaisíní litagrafaíochta ardchruinnis ar chumas táirgeadh ciorcad comhtháite níos casta agus ardfheidhmíochta, rud a spreagann nuálaíocht ar fud an tslabhra luacha leathsheoltóra ar fad.

Slándáil Eacnamaíoch agus Náisiúnta: Trí spleáchas ar theicneolaíocht choigríche a laghdú, neartaíonn na meaisíní seo féinleordhóthanacht thionscal na leathsheoltóirí intíre, rud a chuireann le slándáil eacnamaíoch agus thionsclaíoch.

Fuaraitheoir Uisce : An Eochair do Fheidhmíocht Chobhsaí Meaisín Litagrafaíochta

Tá rialú teochta beacht riachtanach chun cáilíocht agus toradh an phróisis litagrafaíochta a chinntiú. Tá ról ríthábhachtach ag fuaraitheoirí uisce, mar chomhpháirteanna lárnacha de chórais fuaraithe:

Riachtanais Fhuaraithe: Bíonn meaisíní litagrafaíochta thar a bheith íogair do luaineachtaí teochta le linn nochta, agus mar sin bíonn gá le fuaraitheoirí uisce a sholáthraíonn rialú teochta an-chruinn agus cobhsaí.

Feidhmeanna Fuaraitheoirí: Trí uisce fuaraithe a chur i gcúrsaíocht, scaipeann fuaraitheoirí teas a ghintear le linn oibríochta go héifeachtach, ag coinneáil trealamh léasair laistigh de raon teochta is fearr agus ag cinntiú cruinneas agus iontaofacht sa phróiseas litagrafaíochta.

Cuireann Fuaraitheoir TEYU Réitigh Fuaraithe Gairmiúla ar fáil do Mheaisíní Litagrafaíochta

Is féidir le fuaraitheoirí léasair ultra-thapa sraith CWUP TEYU rialú teochta beacht agus cobhsaí a sholáthar do mheaisíní litagrafaíochta. Baintear cobhsaíocht teochta ±0.08°C amach leis an tsamhail fuaraitheora CWUP-20ANP , rud a sheachadann fuarú an-éifeachtach le haghaidh monaraíochta beachtais.

I saol cruinn na déantúsaíochta leathsheoltóirí, is iad meaisíní litagrafaíochta na gléasanna lárnacha chun patrúin micreachiorcad a aistriú. Le dul chun cinn na teicneolaíochta, tá meaisín litagrafaíochta fluairíde crioptóin agus meaisín litagrafaíochta fluairíde argóin ina bhfórsa tábhachtach chun forbairt an tionscail a chur chun cinn lena bhfeidhmíocht den scoth.