Најновије вести: MIIT промовише домаће DUV литографске машине са тачношћу преклапања ≤8nm

Министарство индустрије и информационих технологија (МИИТ) је последњих месеци издало „Смернице за промоцију и примену прве (комплета) главне техничке опреме (издање за 2024. годину)“. Ово отвара пут за потпуну локализацију производње зрелих чипова за чворове изнад 28nm!

Иако 28nm технологија није најсавременија, она има значајан значај као граница између чипова ниже и средње класе и чипова средње и високе класе. Поред напредних CPU, GPU и AI чипова, већина индустријских чипова ослања се на 28nm или новије технологије.

Принцип рада: Напредак у дубокољубичастој литографији

Машине за литографију KrF (криптон флуорид) и ArF (аргон флуорид) спадају у категорију литографије дубоког ултраљубичастог (DUV). Обе користе специфичне светлосне таласне дужине пројектоване кроз оптичке системе на фоторезистни слој силицијумске плочице, преносећи сложене обрасце кола.

KrF литографске машине: Користе извор светлости таласне дужине од 248nm, постижући резолуције испод 110nm, погодне за различите процесе производње интегрисаних кола.

ArF литографске машине: Користе извор светлости таласне дужине од 193 нм, нудећи већу резолуцију за процесне технологије испод 65 нм, омогућавајући израду финијих кола.

Технолошки значај: Унапређење индустрије и самосталност

Развој ових литографских машина означава важну прекретницу у унапређењу производње полупроводника и постизању индустријске аутономије:

Технички продори: Успешно стварање литографских машина KrF и ArF истиче значајан напредак у врхунској литографској технологији, пружајући робусну техничку подршку за производњу полупроводника.

Унапређење индустрије: Високопрецизне литографске машине омогућавају производњу сложенијих и високоперформансних интегрисаних кола, покрећући иновације у целом ланцу вредности полупроводника.

Економска и национална безбедност: Смањењем зависности од стране технологије, ове машине јачају самодовољност домаће полупроводничке индустрије, учвршћујући економску и индустријску безбедност.

Хладњак воде : Кључ стабилних перформанси литографске машине

Прецизна контрола температуре је неопходна за обезбеђивање квалитета и приноса литографског процеса. Хладњаци воде, као основне компоненте система за хлађење, играју виталну улогу:

Захтеви за хлађење: Литографске машине су изузетно осетљиве на температурне флуктуације током излагања, што захтева водене чилере који пружају веома прецизну и стабилну контролу температуре.

Функције чилера: Циркулацијом расхладне воде, чилери ефикасно расипају топлоту која се ствара током рада, одржавајући ласерску опрему у оптималном температурном опсегу и обезбеђујући тачност и поузданост у процесу литографије.

TEYU Chiller нуди професионална решења за хлађење литографских машина

Ултрабрзи ласерски хладњаци TEYU CWUP серије могу да обезбеде прецизну и стабилну контролу температуре за литографске машине. Модел хладњака CWUP-20ANP постиже температурну стабилност од ±0,08°C, пружајући високо ефикасно хлађење за прецизну производњу.

У прецизном свету производње полупроводника, литографске машине су основни уређаји за пренос образаца микрокола. Са напретком технологије, машине за литографију криптон флуорида и машине за литографију аргон флуорида постале су важна снага за промоцију развоја индустрије захваљујући својим одличним перформансама.