Најновије вести: MIIT промовише домаће DUV литографске машине са тачношћу преклапања ≤8nm

Министарство индустрије и информационих технологија (МИИТ) је последњих месеци издало „Смернице за промоцију и примену прве (комплета) главне техничке опреме (издање из 2024. године)“. Ово отвара пут за потпуну локализацију производње зрелих чипова за чворове изнад 28nm!

Иако 28nm технологија није најсавременија, она има значајан значај као граница између чипова нижег и средњег ранга и средњег и високог ранга. Поред напредних процесора, графичких картица и чипова за вештачку интелигенцију, већина индустријских чипова ослања се на 28nm или новије технологије.

Принцип рада: Напредак у дубокољубичастој литографији

Машине за литографију KrF (криптон флуорид) и ArF (аргон флуорид) спадају у категорију литографије дубоког ултраљубичастог зрачења (DUV). Оба користе специфичне светлосне таласне дужине пројектоване кроз оптичке системе на фоторезистни слој силицијумске плочице, преносећи сложене обрасце кола.

KrF литографске машине: Користите извор светлости таласне дужине од 248 нм, постижући резолуције испод 110 нм, погодне за различите процесе производње интегрисаних кола.

ArF литографске машине: Користите извор светлости таласне дужине од 193 нм, који нуди већу резолуцију за процесне технологије испод 65 нм, омогућавајући израду финијих кола.

Технолошки значај: Унапређење индустрије и самосталност

Развој ових литографских машина означава важну прекретницу у унапређењу производње полупроводника и постизању индустријске аутономије.:

Технички продори: Успешно стварање литографских машина KrF и ArF истиче значајан напредак у врхунској литографској технологији, пружајући робусну техничку подршку за производњу полупроводника.

Надоградња индустрије: Високопрецизне литографске машине омогућавају производњу сложенијих и високоперформансних интегрисаних кола, покрећући иновације у целом ланцу вредности полупроводника.

Економска и национална безбедност: Смањењем зависности од стране технологије, ове машине јачају самодовољност домаће полупроводничке индустрије, учвршћујући економску и индустријску безбедност.

Расхладник воде Кључ стабилних перформанси литографске машине

Прецизна контрола температуре је неопходна за обезбеђивање квалитета и приноса процеса литографије. Чилери воде, као основне компоненте система за хлађење, играју виталну улогу:

Захтеви за хлађење: Литографске машине су изузетно осетљиве на температурне флуктуације током излагања, што захтева водене чилере који пружају веома прецизну и стабилну контролу температуре.

Функције чилера: Циркулацијом расхладне воде, чилери ефикасно расипају топлоту насталу током рада, одржавајући ласерску опрему у оптималном температурном опсегу и обезбеђујући тачност и поузданост у процесу литографије.

TEYU Chiller нуди професионална решења за хлађење литографских машина

Ултрабрзи ласерски хладњаци серије TEYU CWUP могу да обезбеде прецизну и стабилну контролу температуре за литографске машине. The модел чилера CWUP-20ANP постиже температурну стабилност ±0.08°C, пружајући високо ефикасно хлађење за прецизну производњу.

У прецизном свету производње полупроводника, литографске машине су основни уређаји за пренос образаца микрокола. Са напретком технологије, машина за литографију криптон флуорида и машина за литографију аргон флуорида постале су важна снага за промоцију развоја индустрије са својим одличним перформансама.