Newyddion Brys: Mae MIIT yn Hyrwyddo Peiriannau Lithograffeg DUV Domestig gyda Chywirdeb Gorchudd ≤8nm

Yn ystod y misoedd diwethaf, cyhoeddodd y Weinyddiaeth Diwydiant a Thechnoleg Gwybodaeth (MIIT) y "Canllawiau ar gyfer Hyrwyddo a Chymhwyso'r Offer Technegol Mawr Cyntaf (Set) (Rhifyn 2024)". Mae hyn yn paratoi'r ffordd ar gyfer lleoleiddio proses lawn o weithgynhyrchu sglodion aeddfed ar gyfer nodau uwchlaw 28nm!

Er nad yw technoleg 28nm yn arloesol, mae ganddi bwysigrwydd sylweddol fel y llinell rannu rhwng sglodion pen isel i ganol a phen canol i uchel. Ar wahân i CPUs, GPUs, a sglodion AI uwch, mae'r rhan fwyaf o sglodion gradd ddiwydiannol yn dibynnu ar dechnolegau 28nm neu uwch.

Egwyddor Weithio: Datblygiadau mewn Lithograffi Ultrafioled Dwfn

Mae peiriannau lithograffeg KrF (Fflworid Krypton) ac ArF (Fflworid Argon) yn dod o dan y categori lithograffeg Ultrafioled Dwfn (DUV). Mae'r ddau yn defnyddio tonfeddi golau penodol a daflennir trwy systemau optegol ar haen ffotowrthsefyll wafer silicon, gan drosglwyddo patrymau cylched cymhleth.

Peiriannau Lithograffeg KrF: Defnyddio ffynhonnell golau tonfedd 248nm, gan gyflawni datrysiadau islaw 110nm, sy'n addas ar gyfer amrywiol brosesau gweithgynhyrchu cylched integredig.

Peiriannau Lithograffeg ArF: Defnyddio ffynhonnell golau tonfedd 193nm, sy'n cynnig datrysiad uwch ar gyfer technolegau prosesau is-65nm, gan alluogi cynhyrchu cylchedau mwy manwl.

Arwyddocâd Technolegol: Uwchraddio Diwydiant a Hunan-ddibyniaeth

Mae datblygiad y peiriannau lithograffeg hyn yn nodi carreg filltir bwysig wrth hyrwyddo gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion a chyflawni ymreolaeth ddiwydiannol:

Datblygiadau Technegol Arloesol: Mae creu peiriannau lithograffeg KrF ac ArF yn tynnu sylw at gynnydd sylweddol mewn technoleg lithograffeg pen uchel, gan ddarparu cefnogaeth dechnegol gadarn ar gyfer gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion.

Uwchraddio'r Diwydiant: Mae peiriannau lithograffeg manwl iawn yn galluogi cynhyrchu cylchedau integredig mwy cymhleth a pherfformiad uchel, gan sbarduno arloesedd ar draws y gadwyn werth lled-ddargludyddion gyfan.

Diogelwch Economaidd a Chenedlaethol: Drwy leihau dibyniaeth ar dechnoleg dramor, mae'r peiriannau hyn yn cryfhau hunangynhaliaeth y diwydiant lled-ddargludyddion domestig, gan hybu diogelwch economaidd a diwydiannol.

Oerydd Dŵr : Yr Allwedd i Berfformiad Peiriant Lithograffeg Sefydlog

Mae rheoli tymheredd manwl gywir yn hanfodol er mwyn sicrhau ansawdd a chynnyrch y broses lithograffeg. Mae oeryddion dŵr, fel cydrannau craidd systemau oeri, yn chwarae rhan hanfodol:

Gofynion Oeri: Mae peiriannau lithograffeg yn hynod sensitif i amrywiadau tymheredd yn ystod amlygiad, gan olygu bod angen oeryddion dŵr sy'n darparu rheolaeth tymheredd hynod gywir a sefydlog.

Swyddogaethau Oeryddion: Drwy gylchredeg dŵr oeri, mae oeryddion yn gwasgaru gwres a gynhyrchir yn ystod gweithrediad yn effeithiol, gan gynnal offer laser o fewn yr ystod tymheredd gorau posibl a sicrhau cywirdeb a dibynadwyedd yn y broses lithograffeg.

Mae Oerydd TEYU yn Cynnig Datrysiadau Oeri Proffesiynol ar gyfer Peiriannau Lithograffeg

Gall oeryddion laser cyflym iawn cyfres CWUP TEYU ddarparu rheolaeth tymheredd manwl gywir a sefydlog ar gyfer peiriannau lithograffeg. Mae'r oerydd model CWUP-20ANP yn cyflawni sefydlogrwydd tymheredd o ±0.08°C, gan ddarparu oeri hynod effeithlon ar gyfer gweithgynhyrchu manwl gywir.

Ym myd manwl gywir gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, peiriannau lithograffeg yw'r dyfeisiau craidd ar gyfer trosglwyddo patrymau microgylched. Gyda datblygiad technoleg, mae peiriant lithograffeg fflworid crypton a pheiriant lithograffeg fflworid argon wedi dod yn rym pwysig i hyrwyddo datblygiad y diwydiant gyda'u perfformiad rhagorol.