උණුසුම් පුවත්: MIIT ≤8nm ආවරණ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් ගෘහස්ථ DUV ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර ප්‍රවර්ධනය කරයි

මෑත මාසවලදී, කර්මාන්ත හා තොරතුරු තාක්ෂණ අමාත්‍යාංශය (MIIT) "පළමු (කට්ටල) ප්‍රධාන තාක්ෂණික උපකරණ ප්‍රවර්ධනය සහ යෙදීම සඳහා මාර්ගෝපදේශ (2024 සංස්කරණය)" නිකුත් කළේය. මෙය 28nm ට වැඩි නෝඩ් සඳහා පරිණත චිප් නිෂ්පාදනයේ පූර්ණ-ක්‍රියාවලි දේශීයකරණයට මග පාදයි!

28nm තාක්‍ෂණය අති නවීන නොවූවත්, එය පහළ සිට මධ්‍යම-අන්ත සහ මධ්‍යම සිට ඉහළ-අන්ත චිප් අතර බෙදුම් රේඛාව ලෙස සැලකිය යුතු වැදගත්කමක් දරයි. උසස් CPU, GPU සහ AI චිප් හැරුණු විට, බොහෝ කාර්මික ශ්‍රේණියේ චිප් 28nm හෝ ඊට වැඩි තාක්ෂණයන් මත රඳා පවතී.

ක්‍රියාකාරී මූලධර්මය: ගැඹුරු පාරජම්බුල ලිතෝග්‍රැෆි වල දියුණුව

KrF (ක්‍රිප්ටන් ෆ්ලෝරයිඩ්) සහ ArF (ආගන් ෆ්ලෝරයිඩ්) ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර ගැඹුරු පාරජම්බුල (DUV) ලිතෝග්‍රැෆි කාණ්ඩයට අයත් වේ. දෙකම දෘශ්‍ය පද්ධති හරහා සිලිකන් වේෆරයක ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධක ස්ථරයට ප්‍රක්ෂේපණය කරන ලද නිශ්චිත ආලෝක තරංග ආයාම භාවිතා කරමින් සංකීර්ණ පරිපථ රටා මාරු කරයි.

KrF ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර: විවිධ ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් සඳහා සුදුසු, 110nm ට අඩු විභේදන ලබා ගනිමින්, 248nm තරංග ආයාම ආලෝක ප්‍රභවයක් භාවිතා කරන්න.

ArF ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර: 193nm තරංග ආයාම ආලෝක ප්‍රභවයක් භාවිතා කරන්න, 65nm ට අඩු ක්‍රියාවලි තාක්ෂණයන් සඳහා ඉහළ විභේදනයක් ලබා දෙමින්, සියුම් පරිපථ නිෂ්පාදනය කිරීමට හැකි වේ.

තාක්ෂණික වැදගත්කම: කර්මාන්ත වැඩිදියුණු කිරීම සහ ස්වයං විශ්වාසය

මෙම ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර සංවර්ධනය කිරීම අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය ඉදිරියට ගෙන යාමේ සහ කාර්මික ස්වාධීනත්වය ළඟා කර ගැනීමේ ප්‍රධාන සන්ධිස්ථානයක් සනිටුහන් කරයි:

තාක්ෂණික ඉදිරි ගමන: KrF සහ ArF ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර සාර්ථකව නිර්මාණය කිරීම, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා ශක්තිමත් තාක්ෂණික සහාය ලබා දෙමින්, ඉහළ මට්ටමේ ලිතෝග්‍රැෆි තාක්ෂණයේ සැලකිය යුතු ප්‍රගතියක් ඉස්මතු කරයි.

කර්මාන්ත උත්ශ්‍රේණි කිරීම: අධි-නිරවද්‍ය ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර මඟින් වඩාත් සංකීර්ණ සහ ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදනය කිරීමට හැකියාව ලබා දෙන අතර, සමස්ත අර්ධ සන්නායක වටිනාකම් දාමය පුරා නවෝත්පාදනයන් මෙහෙයවයි.

ආර්ථික හා ජාතික ආරක්ෂාව: විදේශීය තාක්‍ෂණය මත යැපීම අඩු කිරීමෙන්, මෙම යන්ත්‍ර දේශීය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ස්වයංපෝෂිතභාවය ශක්තිමත් කරන අතර, ආර්ථික හා කාර්මික ආරක්ෂාව ශක්තිමත් කරයි.

ජල චිලර් : ස්ථාවර ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර ක්‍රියාකාරිත්වය සඳහා යතුර

ලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රියාවලියේ ගුණාත්මකභාවය සහ අස්වැන්න සහතික කිරීම සඳහා නිරවද්‍ය උෂ්ණත්ව පාලනය අත්‍යවශ්‍ය වේ. සිසිලන පද්ධතිවල මූලික සංරචක ලෙස ජල සිසිලන යන්ත්‍ර වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි:

සිසිලන අවශ්‍යතා: ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර නිරාවරණය අතරතුර උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන්ට අතිශයින් සංවේදී වන අතර, ඉතා නිවැරදි සහ ස්ථාවර උෂ්ණත්ව පාලනයක් සපයන ජල සිසිලන යන්ත්‍ර අවශ්‍ය වේ.

සිසිලන යන්ත්‍රවල කාර්යයන්: සිසිලන ජලය සංසරණය කිරීමෙන්, සිසිලන යන්ත්‍ර ක්‍රියාත්මක වන විට ජනනය වන තාපය ඵලදායී ලෙස විසුරුවා හරින අතර, ලේසර් උපකරණ ප්‍රශස්ත උෂ්ණත්ව පරාසයක් තුළ පවත්වා ගෙන යන අතර ලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රියාවලියේ නිරවද්‍යතාවය සහ විශ්වසනීයත්වය සහතික කරයි.

TEYU චිලර් ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර සඳහා වෘත්තීය සිසිලන විසඳුම් ලබා දෙයි

TEYU CWUP ශ්‍රේණියේ අති වේගවත් ලේසර් සිසිලන යන්ත්‍රවලට ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර සඳහා නිරවද්‍ය සහ ස්ථාවර උෂ්ණත්ව පාලනයක් සැපයිය හැකිය. චිලර් මාදිලිය CWUP-20ANP ±0.08°C උෂ්ණත්ව ස්ථායිතාව ලබා ගන්නා අතර නිරවද්‍ය නිෂ්පාදනය සඳහා ඉතා කාර්යක්ෂම සිසිලනය ලබා දෙයි.

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ලෝකයේ නිශ්චිතවම, ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර යනු ක්ෂුද්‍ර පරිපථ රටා මාරු කිරීම සඳහා මූලික උපාංග වේ. තාක්ෂණයේ දියුණුවත් සමඟ, ක්‍රිප්ටන් ෆ්ලෝරයිඩ් ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රය සහ ආගන් ෆ්ලෝරයිඩ් ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රය ඒවායේ විශිෂ්ට ක්‍රියාකාරිත්වය සමඟ කර්මාන්තයේ සංවර්ධනය ප්‍රවර්ධනය කිරීම සඳහා වැදගත් බලවේගයක් බවට පත්ව ඇත.