ሰበር ዜና፡ MIIT የሀገር ውስጥ DUV ሊቶግራፊ ማሽኖችን በ≤8nm ተደራቢ ትክክለኛነት ያስተዋውቃል

በቅርብ ወራት ውስጥ የኢንዱስትሪ እና የኢንፎርሜሽን ቴክኖሎጂ ሚኒስቴር (MIIT) "የመጀመሪያ (Set) ዋና ዋና የቴክኒክ መሳሪያዎችን ለማስተዋወቅ እና ለመተግበር የሚረዱ መመሪያዎችን (2024 እትም)" አውጥቷል። ይህም ከ28nm በላይ ለሆኑ ኖዶች የበሰለ ቺፕ ማምረቻን ሙሉ ሂደት ለመተርጎም መንገድ ይጠርጋል!

ምንም እንኳን የ28nm ቴክኖሎጂ ዘመናዊ ባይሆንም፣ ከዝቅተኛ እስከ መካከለኛ እና መካከለኛ እስከ ከፍተኛ ቺፖች መካከል እንደ መለያየት መስመር ትልቅ ጠቀሜታ አለው። ከላቁ ሲፒዩዎች፣ ጂፒዩዎች እና የAI ቺፖች በተጨማሪ አብዛኛዎቹ የኢንዱስትሪ ደረጃ ያላቸው ቺፖች በ28nm ወይም ከዚያ በላይ ቴክኖሎጂዎች ላይ የተመሰረቱ ናቸው።

የአሠራር መርህ፡- በጥልቅ አልትራቫዮሌት ሊቶግራፊ ውስጥ ያሉ እድገቶች

የKrF (Krypton Fluoride) እና የArF (Argon Fluoride) ሊቶግራፊ ማሽኖች በዲፕ አልትራቫዮሌት (DUV) ሊቶግራፊ ምድብ ስር ይወድቃሉ። ሁለቱም በኦፕቲካል ሲስተሞች በኩል በሲሊኮን ዋፈር የፎቶሪስቴስት ንብርብር ላይ የተነደፉ የተወሰኑ የብርሃን ሞገድ ርዝመቶችን ይጠቀማሉ፣ ይህም ውስብስብ የወረዳ ቅጦችን ያስተላልፋል።

የKrF ሊትግራፊ ማሽኖች፡- ለተለያዩ የተቀናጁ የወረዳ ማምረቻ ሂደቶች ተስማሚ የሆነውን የ248nm የሞገድ ርዝመት ያለው የብርሃን ምንጭ ይጠቀሙ፣ ከ110nm በታች የሆኑ ጥራቶችን ያገኛሉ።

የArF ሊትግራፊ ማሽኖች፡- 193nm የሞገድ ርዝመት ያለው የብርሃን ምንጭ ይጠቀሙ፣ ይህም ለንዑስ-65nm የሂደት ቴክኖሎጂዎች ከፍተኛ ጥራት ያለው ሲሆን ይህም የተሻሉ ወረዳዎችን እንዲፈጥሩ ያስችላል።

የቴክኖሎጂ ጠቀሜታ፡ የኢንዱስትሪ ማሻሻያ እና ራስን መቻል

የእነዚህ የሊቶግራፊ ማሽኖች ልማት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻን በማራመድ እና የኢንዱስትሪ ነፃነትን በማሳደግ ረገድ ትልቅ ምዕራፍ ነው፡

የቴክኒክ ግኝቶች፡- የKrF እና ArF ሊቶግራፊ ማሽኖች በተሳካ ሁኔታ መፈጠራቸው በከፍተኛ ደረጃ ሊቶግራፊ ቴክኖሎጂ ላይ ከፍተኛ እድገትን ያሳያል፣ ይህም ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ጠንካራ የቴክኒክ ድጋፍ ይሰጣል።

የኢንዱስትሪ ማሻሻያ፡- ከፍተኛ ትክክለኛነት ያላቸው የሊቶግራፊ ማሽኖች የበለጠ ውስብስብ እና ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸው የተቀናጁ ሰርኪዩቶችን ለማምረት ያስችላሉ፣ ይህም በመላው ሴሚኮንዳክተር የእሴት ሰንሰለት ውስጥ ፈጠራን ያነሳሳል።

ኢኮኖሚያዊ እና ብሄራዊ ደህንነት፡- እነዚህ ማሽኖች በውጭ ቴክኖሎጂ ላይ ጥገኝነትን በመቀነስ የሀገር ውስጥ ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪን በራስ መቻቻል ያጠናክራሉ፣ ይህም የኢኮኖሚ እና የኢንዱስትሪ ደህንነትን ያጠናክራሉ።

የውሃ ማቀዝቀዣ ፡ ለተረጋጋ የሊቶግራፊ ማሽን አፈጻጸም ቁልፉ

የሊቶግራፊ ሂደቱን ጥራት እና ውጤት ለማረጋገጥ ትክክለኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ አስፈላጊ ነው። የውሃ ማቀዝቀዣዎች፣ እንደ ዋና የማቀዝቀዣ ስርዓቶች አካል፣ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ፡

የማቀዝቀዣ መስፈርቶች፡- የሊቶግራፊ ማሽኖች በሚጋለጡበት ጊዜ ለሙቀት መለዋወጥ እጅግ በጣም ስሜታዊ ናቸው፣ ይህም ከፍተኛ ትክክለኛ እና የተረጋጋ የሙቀት መቆጣጠሪያ የሚሰጡ የውሃ ማቀዝቀዣዎችን ያስፈልጓቸዋል።

የማቀዝቀዣዎች ተግባራት፡- የማቀዝቀዣዎች የማቀዝቀዣ ውሃ በማሰራጨት፣ በማቀዝቀዣዎች በሚሠራበት ጊዜ የሚፈጠረውን ሙቀት ውጤታማ በሆነ መንገድ ያጠፋሉ፣ የሌዘር መሳሪያዎችን በተመቻቸ የሙቀት ክልል ውስጥ ያቆያሉ እና በሊቶግራፊ ሂደት ውስጥ ትክክለኛነትን እና አስተማማኝነትን ያረጋግጣሉ።

TEYU የቺለር አቅርቦት ለሊቶግራፊ ማሽኖች ሙያዊ የማቀዝቀዣ መፍትሄዎች

TEYU የCWUP ተከታታይ እጅግ በጣም ፈጣን የሌዘር ማቀዝቀዣዎች ለሊቶግራፊ ማሽኖች ትክክለኛ እና የተረጋጋ የሙቀት መቆጣጠሪያ ሊሰጡ ይችላሉ። የማቀዝቀዣ ሞዴል CWUP-20ANP የሙቀት መረጋጋትን ±0.08°ሴ ያስመዘግባል፣ ለትክክለኛነት ማምረቻ በጣም ቀልጣፋ ማቀዝቀዣ ይሰጣል።

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ዓለም ውስጥ፣ የሊቶግራፊ ማሽኖች የማይክሮ ሰርኩዊቶችን ቅጦች ለማስተላለፍ ዋና መሳሪያዎች ናቸው። በቴክኖሎጂ እድገት፣ የክሪፕተን ፍሎራይድ ሊቶግራፊ ማሽን እና የአርጎን ፍሎራይድ ሊቶግራፊ ማሽን እጅግ በጣም ጥሩ አፈፃፀም በማሳየት የኢንዱስትሪውን እድገት ለማሳደግ አስፈላጊ ኃይል ሆነዋል።