ከ 2002 ጀምሮ ለሌዘር ሲስተምስ እና ለኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች ትክክለኛ የሙቀት ቁጥጥር
ቋንቋ
የMIIT 2024 መመሪያዎች ለ28nm+ ቺፕ ማምረቻ የሙሉ ሂደት አካባቢነትን ያበረታታሉ፣ ይህም ወሳኝ የቴክኖሎጂ ምዕራፍ። ቁልፍ እድገቶች KrF እና ArF የሊቶግራፊ ማሽኖችን ያካትታሉ፣ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያላቸውን ወረዳዎች ማንቃት እና የኢንዱስትሪ በራስ መተማመንን ያሳድጋል። ለእነዚህ ሂደቶች ትክክለኛ የሙቀት ቁጥጥር አስፈላጊ ነው፣ ከ TEYU CWUP የውሃ ማቀዝቀዣዎች ጋር በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የተረጋጋ አፈፃፀምን ያረጋግጣል።
በቅርብ ወራት ውስጥ የኢንዱስትሪ እና የኢንፎርሜሽን ቴክኖሎጂ ሚኒስቴር (MIIT) "የመጀመሪያ (የመጀመሪያ) ዋና ዋና ቴክኒካል መሳሪያዎች (2024 እትም)" ማስተዋወቅ እና አተገባበር መመሪያዎችን አውጥቷል. ይህ ከ 28nm በላይ ለሆኑ አንጓዎች የጎለመሱ ቺፕ ማምረቻ ሙሉ ሂደትን ወደ አከባቢነት መንገዱን ይከፍታል!
ምንም እንኳን የ 28nm ቴክኖሎጂ እጅግ በጣም ጥሩ ባይሆንም ከዝቅተኛ እስከ መካከለኛ-መጨረሻ እና ከመካከለኛ እስከ ከፍተኛ-ጫፍ ቺፕስ መካከል ያለው የመለያያ መስመር ትልቅ ጠቀሜታ አለው። ከላቁ ሲፒዩዎች፣ ጂፒዩዎች እና AI ቺፖች በተጨማሪ አብዛኛዎቹ የኢንዱስትሪ ደረጃ ቺፕስ በ28nm ወይም ከዚያ በላይ በሆኑ ቴክኖሎጂዎች ላይ ይመሰረታል።
የስራ መርህ፡ በጥልቅ አልትራቫዮሌት ሊቶግራፊ ውስጥ ያሉ እድገቶች
KrF (Krypton Fluoride) እና አርኤፍ (አርጎን ፍሎራይድ) ሊቶግራፊ ማሽኖች በዲፕ አልትራቫዮሌት (DUV) ሊቶግራፊ ምድብ ስር ይወድቃሉ። ሁለቱም በኦፕቲካል ሲስተሞች የታቀዱ የተወሰኑ የብርሃን የሞገድ ርዝመቶችን በሲሊኮን ዋይፈር ፎቶ ተከላካይ ንብርብር ላይ ይጠቀማሉ፣ ውስብስብ የወረዳ ንድፎችን ያስተላልፋሉ።
KrF Lithography ማሽኖች፡- ለተለያዩ የተቀናጁ የወረዳ ማምረቻ ሂደቶች ተስማሚ የሆነ 248nm የሞገድ ርዝመት ያለው የብርሃን ምንጭ ከ110nm በታች ጥራቶችን በማሳካት ተጠቀም።
አርኤፍ ሊቶግራፊ ማሽኖች ፡ 193nm የሞገድ ርዝመት ያለው የብርሃን ምንጭ ተጠቀም፣ ለ 65nm ንኡስ ሒደት ቴክኖሎጂዎች ከፍተኛ ጥራት በማቅረብ፣ ጥሩ ወረዳዎችን ለመሥራት ያስችላል።
የቴክኖሎጂ ጠቀሜታ: የኢንዱስትሪ ማሻሻል እና በራስ መተማመን
የሴሚኮንዳክተር ማምረቻዎችን በማሳደግ እና የኢንዱስትሪ ራስን በራስ የማስተዳደርን ሂደት በማሳካት ረገድ የእነዚህ የሊቶግራፊ ማሽኖች እድገት ትልቅ ምዕራፍ ነው ።
ቴክኒካል ግኝቶች ፡ የKrF እና ArF ሊቶግራፊ ማሽኖች በተሳካ ሁኔታ መፈጠር በከፍተኛ ደረጃ የሊቶግራፊ ቴክኖሎጂ ከፍተኛ መሻሻልን ያሳያል፣ ይህም ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ጠንካራ የቴክኒክ ድጋፍ ይሰጣል።
የኢንደስትሪ ማሻሻያ፡- ከፍተኛ ትክክለኛ የሊቶግራፊ ማሽኖች ይበልጥ ውስብስብ እና ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን የተቀናጁ ሰርኮችን ለማምረት ያስችላል።
ኢኮኖሚያዊ እና ብሄራዊ ደህንነት፡- የውጭ ቴክኖሎጂ ጥገኝነትን በመቀነስ፣ እነዚህ ማሽኖች የሀገር ውስጥ ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪን ራስን መቻልን ያጠናክራሉ፣ ኢኮኖሚያዊ እና የኢንዱስትሪ ደህንነትን ያጠናክራሉ።
የውሃ ማቀዝቀዣ ፡ የረጋ የሊቶግራፊ ማሽን አፈጻጸም ቁልፍ
የሊቶግራፊ ሂደትን ጥራት እና ምርትን ለማረጋገጥ ትክክለኛ የሙቀት ቁጥጥር አስፈላጊ ነው. የውሃ ማቀዝቀዣዎች, እንደ ማቀዝቀዣ ስርዓቶች ዋና አካል, ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ.
የማቀዝቀዝ መስፈርቶች ፡ የሊቶግራፊ ማሽኖች በተጋላጭነት ወቅት ለሚፈጠረው የሙቀት መጠን መለዋወጥ እጅግ በጣም ስሜታዊ ናቸው፣ ይህም የውሃ ማቀዝቀዣዎች በጣም ትክክለኛ እና የተረጋጋ የሙቀት መቆጣጠሪያ ያስፈልጋቸዋል።
የቺለርስ ተግባራት ፡ ቀዝቃዛ ውሃ በማዘዋወር፣ ቅዝቃዜዎች በሚሰሩበት ወቅት የሚፈጠረውን ሙቀት በብቃት ያስወግዳሉ፣ የሌዘር መሳሪያዎችን በጥሩ የሙቀት መጠን ውስጥ በመጠበቅ እና በሊቶግራፊ ሂደት ውስጥ ትክክለኛነትን እና አስተማማኝነትን ያረጋግጣል።
TEYU Chiller ለሊቶግራፊ ማሽኖች ሙያዊ የማቀዝቀዝ መፍትሄዎችን ይሰጣል
TEYU CWUP ተከታታይ አልትራፋስት ሌዘር ቺለርስ ለሊቶግራፊ ማሽኖች ትክክለኛ እና የተረጋጋ የሙቀት ቁጥጥር ሊሰጥ ይችላል። የቻይለር ሞዴል CWUP-20ANP የ ± 0.08 ° ሴ የሙቀት መረጋጋትን ያገኛል, ለትክክለኛ ማምረት በጣም ቀልጣፋ ቅዝቃዜን ያቀርባል.
በትክክለኛ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ዓለም ውስጥ የሊቶግራፊ ማሽኖች የማይክሮ ሰርክዩት ንድፎችን ለማስተላለፍ ዋና መሳሪያዎች ናቸው. በቴክኖሎጂ እድገት ፣ krypton ፍሎራይድ ሊቶግራፊ ማሽን እና አርጎን ፍሎራይድ ሊቶግራፊ ማሽን በኢንዱስትሪ ልማት የላቀ አፈፃፀም ለማስተዋወቅ ጠቃሚ ኃይል ሆነዋል።
እኛን በሚፈልጉበት ጊዜ ለእርስዎ እዚህ ነን።
እባክዎ እኛን ለማግኘት ቅጹን ይሙሉ፣ እና እርስዎን ለመርዳት ደስተኞች ነን።
. 
TEYU S&A Chiller የተመሰረተው በ2002 በ23 ዓመታት የቀዝቃዛ የማምረቻ ልምድ ያለው ሲሆን አሁን እንደ ማቀዝቀዣ ቴክኖሎጂ አቅኚ እና በሌዘር ኢንዱስትሪ ውስጥ አስተማማኝ አጋር ሆኖ ይታወቃል።
የቅጂ መብት © 2025 TEYU S&A Chiller - መብቱ በህግ የተጠበቀ ነው።
