أخبار عاجلة: وزارة الصناعة وتكنولوجيا المعلومات تُروّج لآلات الطباعة الحجرية المحلية بتقنية DUV بدقة تراكب ≤8 نانومتر

في الأشهر الأخيرة، أصدرت وزارة الصناعة وتكنولوجيا المعلومات "المبادئ التوجيهية لترويج وتطبيق أول (مجموعة) من المعدات التقنية الرئيسية (إصدار 2024)". يمهد هذا الطريق لتوطين عملية تصنيع الرقائق الناضجة بالكامل للعقد التي تزيد عن 28 نانومتر!

على الرغم من أن تقنية 28 نانومتر ليست متطورة، إلا أنها تكتسب أهمية بالغة كخط فاصل بين الرقائق منخفضة ومتوسطة الجودة، ومتوسطة الجودة وعالية الجودة. فإلى جانب وحدات المعالجة المركزية (CPU) ووحدات معالجة الرسومات (GPU) ورقائق الذكاء الاصطناعي المتقدمة، تعتمد معظم الرقائق الصناعية على تقنيات 28 نانومتر أو أعلى.

مبدأ العمل: التطورات في الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية العميقة

تندرج آلات الطباعة الحجرية بفلوريد الكريبتون (KrF) وفلوريد الأرجون (ArF) ضمن فئة الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية العميقة (DUV). يستخدم كلاهما أطوالًا موجية محددة للضوء تُسقط عبر أنظمة بصرية على طبقة المقاومة الضوئية لرقاقة السيليكون، ناقلةً أنماط دوائر كهربائية معقدة.

آلات الطباعة الحجرية KrF: تستخدم مصدر ضوء بطول موجي 248 نانومتر، مما يحقق دقة أقل من 110 نانومتر، وهي مناسبة لمختلف عمليات تصنيع الدوائر المتكاملة.

آلات الطباعة الحجرية ArF: تستخدم مصدر ضوء بطول موجي 193 نانومتر، مما يوفر دقة أعلى لتقنيات المعالجة التي تقل عن 65 نانومتر، مما يتيح تصنيع دوائر أدق.

الأهمية التكنولوجية: ترقية الصناعة والاعتماد على الذات

يشكل تطوير آلات الطباعة الحجرية هذه إنجازًا رئيسيًا في تطوير تصنيع أشباه الموصلات وتحقيق الاستقلال الصناعي:

الإنجازات التقنية: يسلط النجاح في إنشاء آلات الطباعة الحجرية KrF وArF الضوء على التقدم الكبير في تكنولوجيا الطباعة الحجرية المتطورة، مما يوفر دعماً فنياً قوياً لتصنيع أشباه الموصلات.

ترقية الصناعة: تتيح آلات الطباعة الحجرية عالية الدقة إنتاج دوائر متكاملة أكثر تعقيدًا وعالية الأداء، مما يدفع الابتكار عبر سلسلة قيمة أشباه الموصلات بأكملها.

الأمن الاقتصادي والقومي: من خلال تقليل الاعتماد على التكنولوجيا الأجنبية، تعمل هذه الآلات على تعزيز الاكتفاء الذاتي لصناعة أشباه الموصلات المحلية، مما يعزز الأمن الاقتصادي والصناعي.

مبرد الماء : مفتاح الأداء المستقر لآلة الطباعة الحجرية

يُعدّ التحكم الدقيق في درجة الحرارة أمرًا أساسيًا لضمان جودة وإنتاجية عملية الطباعة الحجرية. وتلعب مبردات المياه، باعتبارها مكونات أساسية في أنظمة التبريد، دورًا حيويًا:

متطلبات التبريد: تعتبر آلات الطباعة الحجرية حساسة للغاية لتقلبات درجات الحرارة أثناء التعرض، مما يتطلب وجود مبردات مياه توفر التحكم في درجة الحرارة بدقة عالية وثبات.

وظائف المبردات: من خلال تدوير مياه التبريد، تعمل المبردات على تبديد الحرارة الناتجة أثناء التشغيل بشكل فعال، مما يحافظ على معدات الليزر ضمن نطاق درجة الحرارة الأمثل ويضمن الدقة والموثوقية في عملية الطباعة الحجرية.

تقدم شركة TEYU Chiller حلول تبريد احترافية لآلات الطباعة الحجرية

تُوفر مبردات الليزر فائقة السرعة من سلسلة TEYU CWUP تحكمًا دقيقًا ومستقرًا في درجة حرارة آلات الطباعة الحجرية. يحقق طراز CWUP-20ANP من المبردات استقرارًا في درجة الحرارة يبلغ ±0.08 درجة مئوية، مما يوفر تبريدًا عالي الكفاءة لتصنيع دقيق.

في عالم تصنيع أشباه الموصلات، تُعدّ آلات الطباعة الحجرية الأجهزة الأساسية لنقل أنماط الدوائر الدقيقة. ومع التقدم التكنولوجي، أصبحت آلات الطباعة الحجرية بفلوريد الكريبتون وفلوريد الأرجون قوةً دافعةً مهمةً لتعزيز تطوير هذه الصناعة بفضل أدائها المتميز.