خبر عاجل: وزارة الصناعة وتكنولوجيا المعلومات تروج لأجهزة الطباعة الحجرية بتقنية الأشعة فوق البنفسجية العميقة المحلية بدقة تراكب تصل إلى 8 نانومتر

أصدرت وزارة الصناعة وتكنولوجيا المعلومات في الأشهر الأخيرة "المبادئ التوجيهية لترويج وتطبيق المجموعة الأولى من المعدات التقنية الرئيسية (إصدار 2024)". يمهد هذا الطريق لتوطين عمليات تصنيع الرقائق الإلكترونية الناضجة بالكامل للعقد التي تزيد عن 28 نانومتر!

على الرغم من أن تقنية 28 نانومتر ليست متطورة للغاية، إلا أنها تكتسب أهمية بالغة باعتبارها الحد الفاصل بين الرقائق منخفضة إلى متوسطة الأداء والرقائق متوسطة إلى عالية الأداء. فباستثناء وحدات المعالجة المركزية ووحدات معالجة الرسومات ورقائق الذكاء الاصطناعي المتقدمة، تعتمد معظم الرقائق الصناعية على تقنيات 28 نانومتر أو أعلى.

مبدأ العمل: التطورات في الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية العميقة

تندرج آلات الطباعة الحجرية باستخدام فلوريد الكريبتون (KrF) وفلوريد الأرجون (ArF) ضمن فئة الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية العميقة (DUV). يستخدم كلا النوعين أطوال موجية ضوئية محددة تُسقط عبر أنظمة بصرية على طبقة مقاومة الضوء لرقاقة السيليكون، لنقل أنماط الدوائر المعقدة.

آلات الطباعة الحجرية KrF: تستخدم مصدر ضوء بطول موجي 248 نانومتر، مما يحقق دقة أقل من 110 نانومتر، وهي مناسبة لعمليات تصنيع الدوائر المتكاملة المختلفة.

آلات الطباعة الحجرية بتقنية ArF: تستخدم مصدر ضوء بطول موجي 193 نانومتر، مما يوفر دقة أعلى لتقنيات المعالجة دون 65 نانومتر، مما يتيح تصنيع دوائر أدق.

الأهمية التكنولوجية: تطوير الصناعة والاكتفاء الذاتي

يمثل تطوير آلات الطباعة الحجرية هذه علامة فارقة في تطوير صناعة أشباه الموصلات وتحقيق الاستقلال الصناعي:

الإنجازات التقنية: إن النجاح في إنشاء آلات الطباعة الحجرية KrF و ArF يسلط الضوء على التقدم الكبير في تكنولوجيا الطباعة الحجرية المتطورة، مما يوفر دعمًا تقنيًا قويًا لتصنيع أشباه الموصلات.

تطوير الصناعة: تُمكّن آلات الطباعة الحجرية عالية الدقة من إنتاج دوائر متكاملة أكثر تعقيدًا وعالية الأداء، مما يدفع الابتكار عبر سلسلة القيمة الكاملة لأشباه الموصلات.

الأمن الاقتصادي والوطني: من خلال تقليل الاعتماد على التكنولوجيا الأجنبية، تعمل هذه الآلات على تعزيز الاكتفاء الذاتي لصناعة أشباه الموصلات المحلية، مما يعزز الأمن الاقتصادي والصناعي.

مبرد الماء : مفتاح الأداء المستقر لآلة الطباعة الحجرية

يُعدّ التحكم الدقيق في درجة الحرارة أمرًا بالغ الأهمية لضمان جودة عملية الطباعة الحجرية وإنتاجيتها. وتلعب مبردات المياه، باعتبارها مكونات أساسية لأنظمة التبريد، دورًا حيويًا في هذا الصدد.

متطلبات التبريد: آلات الطباعة الحجرية حساسة للغاية لتقلبات درجة الحرارة أثناء التعريض، مما يستلزم وجود مبردات مياه توفر تحكمًا دقيقًا ومستقرًا للغاية في درجة الحرارة.

وظائف المبردات: من خلال تدوير مياه التبريد، تعمل المبردات على تبديد الحرارة المتولدة أثناء التشغيل بشكل فعال، مما يحافظ على معدات الليزر ضمن نطاق درجة حرارة مثالي ويضمن الدقة والموثوقية في عملية الطباعة الحجرية.

TEYU تقدم شركة Chiller حلول تبريد احترافية لآلات الطباعة الحجرية

توفر مبردات الليزر فائقة السرعة من سلسلة CWUP تحكمًا دقيقًا ومستقرًا في درجة الحرارة لآلات الطباعة الحجرية. ويحقق طراز المبرد CWUP-20ANP استقرارًا حراريًا يصل إلى ±0.08 درجة مئوية، مما يوفر تبريدًا عالي الكفاءة لعمليات التصنيع الدقيقة.

في عالم صناعة أشباه الموصلات الدقيق، تُعدّ آلات الطباعة الحجرية الأجهزة الأساسية لنقل أنماط الدوائر الدقيقة. ومع تطور التكنولوجيا، أصبحت آلات الطباعة الحجرية التي تعمل بفلوريد الكريبتون وفلوريد الأرجون قوةً دافعةً مهمةً لتطوير هذه الصناعة بفضل أدائها المتميز.