Son Xəbərlər: MIIT, ≤8nm Örtük Dəqiqliyinə malik Yerli DUV Litoqrafiya Maşınlarını Təşviq Edir

Son aylarda Sənaye və İnformasiya Texnologiyaları Nazirliyi (MIIT) "İlk (Dəst) Əsas Texniki Avadanlıqların Təşviqi və Tətbiqi üzrə Təlimatlar (2024-cü il buraxılışı)" nəşr etdi. Bu, 28 nm-dən yuxarı qovşaqlar üçün yetkin çip istehsalının tam proses lokalizasiyasına yol açır!

28nm texnologiyası qabaqcıl olmasa da, aşağı-orta səviyyəli və orta-yüksək səviyyəli çiplər arasında bölücü xətt kimi əhəmiyyətli əhəmiyyət kəsb edir. Qabaqcıl CPU, GPU və süni intellekt çiplərindən başqa, əksər sənaye səviyyəli çiplər 28nm və ya daha yüksək texnologiyalara əsaslanır.

İş prinsipi: Dərin Ultrabənövşəyi Litoqrafiyada irəliləyişlər

KrF (Kripton Flüorid) və ArF (Argon Flüorid) litoqrafiya maşınları Dərin Ultrabənövşəyi (DUV) litoqrafiyası kateqoriyasına aiddir. Hər ikisi mürəkkəb dövrə naxışlarını ötürərək optik sistemlər vasitəsilə silikon lövhənin fotorezist təbəqəsinə proyeksiya edilən xüsusi işıq dalğa uzunluqlarından istifadə edir.

KrF Litoqrafiya Maşınları: Müxtəlif inteqral dövrə istehsal prosesləri üçün uyğun olan, 110nm-dən aşağı qətnamələrə nail olmaqla, 248nm dalğa uzunluğunda işıq mənbəyindən istifadə edin.

ArF Litoqrafiya Maşınları: Daha incə dövrələrin istehsalını təmin edən, 65 nm-dən aşağı proses texnologiyaları üçün daha yüksək qətnamə təklif edən 193 nm dalğa uzunluğunda işıq mənbəyindən istifadə edin.

Texnoloji Əhəmiyyət: Sənayenin Yenilənməsi və Özünəinam

Bu litoqrafiya maşınlarının inkişafı yarımkeçirici istehsalın inkişafında və sənaye muxtariyyətinə nail olmaqda mühüm bir mərhələni qeyd edir:

Texniki nailiyyətlər: KrF və ArF litoqrafiya maşınlarının uğurlu yaradılması, yarımkeçirici istehsalı üçün güclü texniki dəstək təmin edərək, yüksək səviyyəli litoqrafiya texnologiyasında əhəmiyyətli irəliləyişi vurğulayır.

Sənayenin Yenilənməsi: Yüksək dəqiqlikli litoqrafiya maşınları daha mürəkkəb və yüksək performanslı inteqral sxemlərin istehsalını təmin edir və bütün yarımkeçirici dəyər zənciri boyunca innovasiyanı təşviq edir.

İqtisadi və Milli Təhlükəsizlik: Xarici texnologiyalardan asılılığı azaltmaqla, bu maşınlar yerli yarımkeçirici sənayesinin özünütəminatını gücləndirir, iqtisadi və sənaye təhlükəsizliyini gücləndirir.

Su Soyuducusu : Litoqrafiya Maşınının Sabit İşləməsinin Açarıdır

Litoqrafiya prosesinin keyfiyyətini və məhsuldarlığını təmin etmək üçün dəqiq temperatur nəzarəti vacibdir. Soyutma sistemlərinin əsas komponentləri kimi su soyuducuları mühüm rol oynayır:

Soyutma Tələbləri: Litoqrafiya maşınları məruz qalma zamanı temperatur dalğalanmalarına son dərəcə həssasdır və yüksək dəqiqlikli və sabit temperatur nəzarəti təmin edən su soyuducularına ehtiyac duyur.

Soyuducuların funksiyaları: Soyuducular soyutma suyunu dövran etməklə, işləmə zamanı yaranan istiliyi effektiv şəkildə yayır, lazer avadanlığını optimal temperatur aralığında saxlayır və litoqrafiya prosesində dəqiqliyi və etibarlılığı təmin edir.

TEYU Litoqrafiya Maşınları üçün Peşəkar Soyutma Həlləri Təklif Edən Soyuducu

TEYU CWUP seriyalı ultra sürətli lazer soyuducuları litoqrafiya maşınları üçün dəqiq və sabit temperatur nəzarəti təmin edə bilər. CWUP-20ANP soyuducu modeli ±0.08°C temperatur sabitliyinə nail olur və dəqiq istehsal üçün yüksək səmərəli soyutma təmin edir.

Yarımkeçirici istehsalının dəqiq dünyasında litoqrafiya maşınları mikrosxem nümunələrinin ötürülməsi üçün əsas cihazlardır. Texnologiyanın inkişafı ilə kripton flüorid litoqrafiya maşını və argon flüorid litoqrafiya maşını əla performansları ilə sənayenin inkişafını təşviq edən mühüm bir qüvvəyə çevrilmişdir.