Лазерни новини
Прецизен контрол на температурата за лазерни системи и промишлени приложения от 2002 г.
Език
Насоките на MIIT за 2024 г. насърчават локализацията на пълния процес за 28nm+ производство на чипове, което е ключов технологичен етап. Ключовите подобрения включват KrF и ArF литографски машини, позволяващи високопрецизни вериги и повишаващи самостоятелността на индустрията. Прецизният контрол на температурата е жизненоважен за тези процеси, като водните охладители TEYU CWUP осигуряват стабилна производителност при производството на полупроводници.
През последните месеци Министерството на промишлеността и информационните технологии (MIIT) издаде „Насоки за насърчаване и прилагане на първо (комплект) основно техническо оборудване (издание 2024)“. Това проправя пътя за локализиране на пълен процес на зряло производство на чипове за възли над 28nm!
Въпреки че 28nm технологията не е авангардна, тя има голямо значение като разделителната линия между чипове от нисък до среден и среден до висок клас. Освен усъвършенстваните процесори, графични процесори и AI чипове, повечето индустриални чипове разчитат на 28nm или по-високи технологии.
Принцип на работа: Напредък в дълбоката ултравиолетова литография
Машините за литография KrF (криптон флуорид) и ArF (аргон флуорид) попадат в категорията на дълбоко ултравиолетовата (DUV) литография. И двете използват специфични дължини на светлинните вълни, проектирани чрез оптични системи върху слоя фоторезист на силиконова пластина, прехвърляйки сложни вериги.
KrF литографски машини: Използвайте източник на светлина с дължина на вълната 248nm, постигайки разделителна способност под 110nm, подходящ за различни производствени процеси на интегрални схеми.
Машини за литография ArF: Използвайте светлинен източник с дължина на вълната 193nm, предлагащ по-висока разделителна способност за технологии под 65nm, което позволява производството на по-фини вериги.
Технологично значение: надграждане на индустрията и самоувереност
Разработването на тези литографски машини бележи основен крайъгълен камък в напредъка на производството на полупроводници и постигането на индустриална автономност:
Технически пробиви: Успешното създаване на KrF и ArF литографски машини подчертава значителния напредък в литографската технология от висок клас, осигурявайки стабилна техническа поддръжка за производството на полупроводници.
Надграждане на индустрията: Високопрецизните литографски машини позволяват производството на по-сложни и високопроизводителни интегрални схеми, стимулирайки иновациите в цялата верига на стойността на полупроводниците.
Икономическа и национална сигурност: Чрез намаляване на зависимостта от чуждестранни технологии, тези машини укрепват самодостатъчността на местната полупроводникова индустрия, укрепвайки икономическата и индустриалната сигурност.
Воден охладител : Ключът към стабилна производителност на литографската машина
Прецизният температурен контрол е от съществено значение за осигуряване на качеството и добива на литографския процес. Водните охладители, като основни компоненти на охладителните системи, играят жизненоважна роля:
Изисквания за охлаждане: Литографските машини са изключително чувствителни към температурни колебания по време на излагане, което налага водни охладители, които осигуряват много точен и стабилен температурен контрол.
Функции на чилърите: Чрез циркулация на охлаждаща вода, чилърите ефективно разсейват топлината, генерирана по време на работа, като поддържат лазерното оборудване в оптимален температурен диапазон и осигуряват точност и надеждност в процеса на литография.
TEYU Chiller предлага професионални решения за охлаждане за литографски машини
Свръхбързите лазерни охладители от серията TEYU CWUP могат да осигурят прецизен и стабилен температурен контрол за литографски машини. Моделът на охладителя CWUP-20ANP постига температурна стабилност от ±0,08°C, осигурявайки високоефективно охлаждане за прецизно производство.
В прецизния свят на производството на полупроводници литографските машини са основните устройства за прехвърляне на модели на микросхеми. С напредването на технологиите машината за литография с криптон флуорид и машината за литография с аргон флуорид се превърнаха във важна сила за насърчаване на развитието на индустрията с отличното си представяне.
Ние сме тук за вас, когато имате нужда от нас.
Моля, попълнете формата, за да се свържете с нас и ние ще се радваме да ви помогнем.
TEYU S&A Chiller е основана през 2002 г. с 23 години опит в производството на чилъри и сега е призната за пионер в технологиите за охлаждане и надежден партньор в лазерната индустрия.
Авторско право © 2025 TEYU S&A Chiller - Всички права запазени.
