সাম্প্রতিক মাসগুলোতে, শিল্প ও তথ্য প্রযুক্তি মন্ত্রণালয় (MIIT) "প্রথম (সেট) প্রধান প্রযুক্তিগত সরঞ্জামের প্রচার ও প্রয়োগের নির্দেশিকা (২০২৪ সংস্করণ)" জারি করেছে। এটি ২৮ ন্যানোমিটারের উপরের নোডগুলোর জন্য পরিপক্ক চিপ উৎপাদনের সম্পূর্ণ প্রক্রিয়া স্থানীয়করণের পথ প্রশস্ত করেছে!
যদিও ২৮ ন্যানোমিটার প্রযুক্তি অত্যাধুনিক নয়, নিম্ন থেকে মধ্যম মানের এবং মধ্যম থেকে উচ্চ মানের চিপের মধ্যে বিভাজন রেখা হিসেবে এর তাৎপর্যপূর্ণ গুরুত্ব রয়েছে। উন্নত সিপিইউ, জিপিইউ এবং এআই চিপ ছাড়া বেশিরভাগ শিল্প-মানের চিপ ২৮ ন্যানোমিটার বা তার চেয়ে উন্নত প্রযুক্তির ওপর নির্ভর করে।
![MIIT ≤৮ ন্যানোমিটার ওভারলে নির্ভুলতা সম্পন্ন দেশীয় DUV লিথোগ্রাফি মেশিনের প্রচার করছে]()
কার্যপ্রণালী: গভীর অতিবেগুনি লিথোগ্রাফিতে অগ্রগতি
ক্রিপটন ফ্লোরাইড (KrF) এবং আর্গন ফ্লোরাইড (ArF) লিথোগ্রাফি মেশিনগুলো ডিপ আল্ট্রাভায়োলেট (DUV) লিথোগ্রাফি শ্রেণীর অন্তর্ভুক্ত। উভয় পদ্ধতিতেই অপটিক্যাল সিস্টেমের মাধ্যমে সিলিকন ওয়েফারের ফটোরেজিস্ট স্তরের উপর নির্দিষ্ট তরঙ্গদৈর্ঘ্যের আলো ফেলে জটিল সার্কিট প্যাটার্ন স্থানান্তর করা হয়।
KrF লিথোগ্রাফি মেশিন: এটি ২৪৮ ন্যানোমিটার তরঙ্গদৈর্ঘ্যের আলোক উৎস ব্যবহার করে এবং ১১০ ন্যানোমিটারের নিচে রেজোলিউশন অর্জন করে, যা বিভিন্ন ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উৎপাদন প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত।
ArF লিথোগ্রাফি মেশিন: এটি ১৯৩ ন্যানোমিটার তরঙ্গদৈর্ঘ্যের আলোক উৎস ব্যবহার করে, যা ৬৫ ন্যানোমিটারের কম প্রসেস প্রযুক্তির জন্য উচ্চতর রেজোলিউশন প্রদান করে এবং আরও সূক্ষ্ম সার্কিট তৈরি করতে সক্ষম করে।
প্রযুক্তিগত তাৎপর্য: শিল্পের আধুনিকীকরণ এবং আত্মনির্ভরশীলতা
এই লিথোগ্রাফি মেশিনগুলির উদ্ভাবন সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনকে এগিয়ে নেওয়া এবং শিল্পক্ষেত্রে স্বনির্ভরতা অর্জনের পথে একটি প্রধান মাইলফলক চিহ্নিত করে:
প্রযুক্তিগত সাফল্য: KrF এবং ArF লিথোগ্রাফি মেশিনের সফল উদ্ভাবন উচ্চমানের লিথোগ্রাফি প্রযুক্তিতে উল্লেখযোগ্য অগ্রগতি তুলে ধরে, যা সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের জন্য শক্তিশালী প্রযুক্তিগত সহায়তা প্রদান করে।
শিল্পের আধুনিকীকরণ: উচ্চ-নির্ভুল লিথোগ্রাফি মেশিন আরও জটিল ও উচ্চ-কার্যক্ষমতাসম্পন্ন ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উৎপাদন সম্ভব করে, যা সমগ্র সেমিকন্ডাক্টর ভ্যালু চেইন জুড়ে উদ্ভাবনকে চালিত করে।
অর্থনৈতিক ও জাতীয় নিরাপত্তা: বিদেশি প্রযুক্তির ওপর নির্ভরতা কমিয়ে এই যন্ত্রগুলো দেশীয় সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের আত্মনির্ভরশীলতা জোরদার করে এবং অর্থনৈতিক ও শিল্প নিরাপত্তাকে শক্তিশালী করে।
ওয়াটার চিলার : লিথোগ্রাফি মেশিনের স্থিতিশীল কর্মক্ষমতার চাবিকাঠি
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার গুণমান ও উৎপাদন নিশ্চিত করার জন্য সঠিক তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ অপরিহার্য। শীতলীকরণ ব্যবস্থার মূল উপাদান হিসেবে ওয়াটার চিলার একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে:
শীতলীকরণের প্রয়োজনীয়তা: লিথোগ্রাফি মেশিনগুলি এক্সপোজারের সময় তাপমাত্রার ওঠানামার প্রতি অত্যন্ত সংবেদনশীল, তাই এমন ওয়াটার চিলারের প্রয়োজন হয় যা অত্যন্ত নির্ভুল এবং স্থিতিশীল তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ প্রদান করে।
চিলারের কাজ: শীতল জল সঞ্চালনের মাধ্যমে চিলার কার্যকালীন উৎপন্ন তাপ কার্যকরভাবে অপসারিত করে, লেজার সরঞ্জামকে একটি সর্বোত্তম তাপমাত্রা পরিসরের মধ্যে বজায় রাখে এবং লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় নির্ভুলতা ও নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করে।
![০.০৮℃ স্থিতিশীলতাসহ অতি দ্রুতগতির লেজার চিলার CWUP-20ANP]()
TEYU চিলার লিথোগ্রাফি মেশিনের জন্য পেশাদার শীতলীকরণ সমাধান প্রদান করে
TEYU CWUP সিরিজের আল্ট্রাফাস্ট লেজার চিলারগুলো লিথোগ্রাফি মেশিনের জন্য নির্ভুল এবং স্থিতিশীল তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ প্রদান করতে পারে। CWUP-20ANP মডেলের চিলারটি ±0.08°C তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা অর্জন করে, যা নির্ভুল উৎপাদনের জন্য অত্যন্ত কার্যকর শীতলীকরণ সরবরাহ করে।
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের সূক্ষ্ম জগতে, মাইক্রোসার্কিট প্যাটার্ন স্থানান্তরের জন্য লিথোগ্রাফি মেশিন হলো মূল যন্ত্র। প্রযুক্তির অগ্রগতির সাথে সাথে, ক্রিপ্টন ফ্লোরাইড লিথোগ্রাফি মেশিন এবং আর্গন ফ্লোরাইড লিথোগ্রাফি মেশিন তাদের চমৎকার কর্মক্ষমতার মাধ্যমে এই শিল্পের উন্নয়নে একটি গুরুত্বপূর্ণ চালিকাশক্তি হয়ে উঠেছে।