Smjernice MIIT-a za 2024. promoviraju lokalizaciju punog procesa za 28nm+ proizvodnju čipova, što je ključna tehnološka prekretnica. Ključni napredak uključuje KrF i ArF litografske mašine, koji omogućavaju visoko precizna kola i povećavaju samopouzdanje industrije. Precizna kontrola temperature je od vitalnog značaja za ove procese, s TEYU CWUP rashladnim uređajima za vodu koji osiguravaju stabilne performanse u proizvodnji poluprovodnika.
Proteklih mjeseci Ministarstvo industrije i informacionih tehnologija (MIIT) izdalo je "Smjernice za promociju i primjenu prve (postavljene) glavne tehničke opreme (izdanje 2024.)". Ovo otvara put za lokalizaciju punog procesa proizvodnje zrelih čipova za čvorove iznad 28nm!
Iako 28nm tehnologija nije vrhunska, ona ima značajnu važnost kao linija razdvajanja između čipova niskog do srednjeg i srednjeg do visokog kvaliteta. Osim naprednih CPU-a, GPU-a i AI čipova, većina industrijskih čipova se oslanja na 28nm ili više tehnologije.
Princip rada: Napredak u dubokoj ultraljubičastoj litografiji
KrF (Krypton Fluorid) i ArF (Argon Fluorid) litografske mašine spadaju u kategoriju litografije dubokog ultraljubičastog zračenja (DUV). Oba koriste specifične talasne dužine svetlosti projektovane kroz optičke sisteme na sloj fotootpornosti silikonske pločice, prenoseći zamršene obrasce kola.
KrF litografske mašine: Koristite izvor svetlosti talasne dužine od 248 nm, postižući rezolucije ispod 110 nm, pogodne za različite proizvodne procese integrisanih kola.
ArF litografske mašine: Koristite izvor svetlosti talasne dužine od 193 nm, koji nudi višu rezoluciju za procesne tehnologije ispod 65 nm, omogućavajući proizvodnju finijih kola.
Tehnološki značaj: nadogradnja industrije i samopouzdanje
Razvoj ovih mašina za litografiju označava veliku prekretnicu u unapređenju proizvodnje poluprovodnika i postizanju industrijske autonomije:
Tehnički proboj: Uspješno stvaranje KrF i ArF litografskih strojeva naglašava značajan napredak u tehnologiji litografije visoke klase, pružajući robusnu tehničku podršku za proizvodnju poluvodiča.
Nadogradnja industrije: Strojevi za litografiju visoke preciznosti omogućavaju proizvodnju složenijih integriranih kola visokih performansi, pokrećući inovacije u cijelom lancu vrijednosti poluvodiča.
Ekonomska i nacionalna sigurnost: Smanjenjem zavisnosti od strane tehnologije, ove mašine jačaju samodovoljnost domaće industrije poluprovodnika, jačajući ekonomsku i industrijsku sigurnost.
Rashladni uređaj za vodu : ključ za stabilne performanse litografske mašine
Precizna kontrola temperature je neophodna za osiguranje kvaliteta i prinosa procesa litografije. Rashladnici vode, kao osnovne komponente rashladnih sistema, igraju vitalnu ulogu:
Zahtjevi za hlađenje: Mašine za litografiju su izuzetno osjetljive na temperaturne fluktuacije tokom izlaganja, zbog čega su potrebni rashladni uređaji za vodu koji pružaju vrlo preciznu i stabilnu kontrolu temperature.
Funkcije rashladnih uređaja: Cirkulišući rashladnu vodu, rashladni uređaji efikasno rasipaju toplotu stvorenu tokom rada, održavajući lasersku opremu u optimalnom temperaturnom opsegu i obezbeđujući tačnost i pouzdanost u procesu litografije.
TEYU Chiller nudi profesionalna rješenja za hlađenje za litografske mašine
Ultrabrzi laserski rashladnici TEYU CWUP serije mogu pružiti preciznu i stabilnu kontrolu temperature za litografske mašine. Rashladni uređaj CWUP-20ANP postiže temperaturnu stabilnost od ±0,08°C, pružajući visoko efikasno hlađenje za preciznu proizvodnju.
U preciznom svijetu proizvodnje poluvodiča, litografske mašine su osnovni uređaji za prijenos uzoraka mikrokola. Sa napretkom tehnologije, mašina za litografiju kripton fluorida i mašina za litografiju sa argon fluoridom postali su važna sila za promicanje razvoja industrije sa svojim odličnim performansama.
Tu smo za vas kada vam zatrebamo.
Molimo popunite formular da nas kontaktirate, a mi ćemo vam rado pomoći.
Autorska prava © 2025 TEYU S&A Chiller - Sva prava pridržana.