Control precís de la temperatura per a sistemes làser i aplicacions industrials des del 2002
Llenguatge
Les directrius de 2024 del MIIT promouen la localització de procés complet per a la fabricació de xips de 28 nm +, una fita tecnològica crucial. Els avenços clau inclouen les màquines de litografia KrF i ArF, que permeten circuits d'alta precisió i augmenten l'autosuficiència de la indústria. El control precís de la temperatura és vital per a aquests processos, amb els refrigeradors d'aigua TEYU CWUP que garanteixen un rendiment estable en la fabricació de semiconductors.
En els darrers mesos, el Ministeri d'Indústria i Tecnologia de la Informació (MIIT) va emetre les "Directrius per a la promoció i aplicació del primer equip tècnic (conjunt) principal (edició 2024)". Això obre el camí per a la localització de procés complet de la fabricació de xips madurs per a nodes per sobre de 28 nm!
Tot i que la tecnologia de 28 nm no és capdavantera, té una importància significativa com a línia divisòria entre els xips de gamma baixa a mitjana i de gamma mitjana a alta. A part de les CPU avançades, les GPU i els xips d'IA, la majoria dels xips de qualitat industrial es basen en tecnologies de 28 nm o superiors.
Principi de funcionament: Avenços en la litografia ultraviolada profunda
Les màquines de litografia KrF (fluorur de kripton) i ArF (fluorur d'argó) entren a la categoria de litografia ultraviolada profunda (DUV). Tots dos utilitzen longituds d'ona de llum específiques projectades a través de sistemes òptics a la capa de fotoresistència d'una hòstia de silici, transferint patrons de circuits complexos.
Màquines de litografia KrF: utilitzeu una font de llum de longitud d'ona de 248 nm, aconseguint resolucions inferiors a 110 nm, adequades per a diversos processos de fabricació de circuits integrats.
Màquines de litografia ArF: utilitzeu una font de llum de longitud d'ona de 193 nm, que ofereix una resolució més alta per a tecnologies de procés inferiors a 65 nm, permetent la fabricació de circuits més fins.
Importància tecnològica: actualització de la indústria i autosuficiència
El desenvolupament d'aquestes màquines de litografia marca una fita important per avançar en la fabricació de semiconductors i assolir l'autonomia industrial:
Avenços tècnics: la creació amb èxit de màquines de litografia KrF i ArF posa de manifest un progrés significatiu en la tecnologia de litografia de gamma alta, proporcionant un suport tècnic robust per a la fabricació de semiconductors.
Actualització de la indústria: les màquines de litografia d'alta precisió permeten la producció de circuits integrats més complexos i d'alt rendiment, impulsant la innovació a tota la cadena de valor dels semiconductors.
Seguretat econòmica i nacional: reduint la dependència de la tecnologia estrangera, aquestes màquines reforcen l'autosuficiència de la indústria nacional de semiconductors, reforçant la seguretat econòmica i industrial.
Refrigerador d'aigua : la clau per al rendiment estable de la màquina de litografia
El control precís de la temperatura és essencial per garantir la qualitat i el rendiment del procés de litografia. Els refrigeradors d'aigua, com a components bàsics dels sistemes de refrigeració, tenen un paper vital:
Requisits de refrigeració: les màquines de litografia són extremadament sensibles a les fluctuacions de temperatura durant l'exposició, la qual cosa requereix refrigeradors d'aigua que proporcionen un control de temperatura estable i molt precís.
Funcions dels refrigeradors: mitjançant la circulació d'aigua de refrigeració, els refrigeradors dissipen eficaçment la calor generada durant el funcionament, mantenint l'equip làser dins d'un rang de temperatura òptim i assegurant la precisió i la fiabilitat en el procés de litografia.
TEYU Chiller ofereix solucions de refrigeració professionals per a màquines de litografia
Els refrigeradors làser ultraràpids de la sèrie TEYU CWUP poden proporcionar un control de temperatura precís i estable per a màquines de litografia. El model de refrigerador CWUP-20ANP aconsegueix una estabilitat de temperatura de ± 0,08 ° C, proporcionant una refrigeració altament eficient per a la fabricació de precisió.
En el precís món de la fabricació de semiconductors, les màquines de litografia són els dispositius bàsics per a la transferència de patrons de microcircuits. Amb l'avenç de la tecnologia, la màquina de litografia de fluorur de kripton i la màquina de litografia de fluorur d'argó s'han convertit en una força important per promoure el desenvolupament de la indústria amb el seu excel·lent rendiment.
Estem aquí per a tu quan ens necessites.
Si us plau, omple el formulari per contactar amb nosaltres i estarem encantats d'ajudar-te.
TEYU S&A Chiller es va fundar el 2002 amb 23 anys d'experiència en la fabricació de refrigeradors, i ara és reconeguda com a pionera en tecnologia de refrigeració i soci fiable en la indústria làser.
Copyright © 2025 TEYU S&A Chiller - Tots els drets reservats.
