Mga Nagbag-ong Balita: Gipasiugda sa MIIT ang mga Domestic DUV Lithography Machines nga adunay ≤8nm Overlay Accuracy

Sa bag-ohay nga mga bulan, ang Ministry of Industry and Information Technology (MIIT) nagpagawas sa "Guidelines for the Promotion and Application of First (Set) Major Technical Equipment (2024 Edition)". Kini nagbukas sa dalan alang sa hingpit nga lokalisasyon sa mature chip manufacturing para sa mga node nga labaw sa 28nm!

Bisan tuod ang 28nm nga teknolohiya dili moderno, kini adunay dakong importansya isip linya sa pagbahin tali sa low-to-mid-end ug mid-to-high-end nga mga chips. Gawas sa mga advanced nga CPU, GPU, ug AI chips, kadaghanan sa mga industrial-grade chips nagsalig sa 28nm o mas taas nga mga teknolohiya.

Prinsipyo sa Pagtrabaho: Mga Pag-uswag sa Lawom nga Ultraviolet Lithography

Ang mga makina sa lithography nga KrF (Krypton Fluoride) ug ArF (Argon Fluoride) nahisakop sa kategorya sa Deep Ultraviolet (DUV) lithography. Pareho silang naggamit ug espesipikong mga wavelength sa kahayag nga gi-project pinaagi sa optical systems ngadto sa photoresist layer sa usa ka silicon wafer, nga nagbalhin sa komplikado nga mga pattern sa circuit.

Mga Makina sa KrF Lithography: Gigamit ang 248nm wavelength light source, nga nakab-ot ang mga resolusyon nga ubos sa 110nm, nga angay alang sa lainlaing mga proseso sa paggama sa integrated circuit.

Mga Makina sa Lithography sa ArF: Gigamit ang 193nm wavelength light source, nga nagtanyag og mas taas nga resolusyon para sa mga teknolohiya sa proseso nga sub-65nm, nga makapahimo sa paghimo og mas pino nga mga sirkito.

Kamahinungdanon sa Teknolohiya: Pag-upgrade sa Industriya ug Pagsalig sa Kaugalingon

Ang pag-uswag niining mga makina sa lithography nagtimaan sa usa ka dakong kalampusan sa pagpalambo sa paggama sa semiconductor ug pagkab-ot sa awtonomiya sa industriya:

Mga Kalampusan sa Teknikal: Ang malampusong pagmugna sa mga makina sa KrF ug ArF lithography nagpasiugda sa dakong pag-uswag sa high-end nga teknolohiya sa lithography, nga naghatag ug lig-on nga teknikal nga suporta alang sa paggama sa semiconductor.

Pag-upgrade sa Industriya: Ang mga high-precision lithography nga makina makahimo sa paghimo og mas komplikado ug high-performance integrated circuits, nga nagduso sa inobasyon sa tibuok semiconductor value chain.

Seguridad sa Ekonomiya ug Nasud: Pinaagi sa pagpakunhod sa pagsalig sa langyaw nga teknolohiya, kini nga mga makina nagpalig-on sa pagsalig sa kaugalingon sa lokal nga industriya sa semiconductor, nga nagpalig-on sa seguridad sa ekonomiya ug industriya.

Water Chiller : Ang Yawe sa Lig-on nga Pagganap sa Makina sa Lithography

Ang tukmang pagkontrol sa temperatura importante aron masiguro ang kalidad ug abot sa proseso sa lithography. Ang mga water chiller, isip kinauyokan nga mga sangkap sa mga sistema sa pagpabugnaw, adunay importanteng papel:

Mga Kinahanglanon sa Pagpabugnaw: Ang mga makina sa lithography sensitibo kaayo sa pag-usab-usab sa temperatura atol sa pagkaladlad, busa nanginahanglan og mga water chiller nga naghatag og tukma ug lig-on nga pagkontrol sa temperatura.

Mga Katungdanan sa mga Chiller: Pinaagi sa pagsirkular sa tubig nga makapabugnaw, ang mga chiller epektibong mopahawa sa kainit nga namugna atol sa operasyon, nga nagmintinar sa kagamitan sa laser sulod sa labing maayo nga range sa temperatura ug nagsiguro sa katukma ug kasaligan sa proseso sa lithography.

TEYU Nagtanyag ang Chiller og Propesyonal nga mga Solusyon sa Pagpabugnaw para sa mga Makina sa Lithography

TEYU Ang CWUP series ultrafast laser chillers makahatag og tukma ug lig-on nga pagkontrol sa temperatura para sa mga makina sa lithography. Ang chiller model nga CWUP-20ANP nakab-ot ang kalig-on sa temperatura nga ±0.08°C, nga naghatag og taas nga episyente nga pagpabugnaw para sa tukma nga paggama.

Sa kalibutan sa paggama og semiconductor, ang mga makina sa lithography mao ang kinauyokan nga mga aparato alang sa pagbalhin sa mga sumbanan sa microcircuit. Uban sa pag-uswag sa teknolohiya, ang makina sa krypton fluoride lithography ug makina sa argon fluoride lithography nahimong usa ka importante nga pwersa aron mapalambo ang pag-uswag sa industriya uban sa ilang maayo kaayo nga performance.