Præcis temperaturkontrol til lasersystemer og industrielle applikationer siden 2002
Sprog
MIIT's 2024-retningslinjer fremmer fuld-proces lokalisering til 28nm+ chipproduktion, en afgørende teknologisk milepæl. Nøglefremskridt omfatter KrF- og ArF-litografimaskiner, der muliggør højpræcisionskredsløb og øger industriens selvtillid. Præcis temperaturkontrol er afgørende for disse processer, med TEYU CWUP vandkølere, der sikrer stabil ydeevne i halvlederfremstilling.
I de seneste måneder har Ministeriet for Industri og Informationsteknologi (MIIT) udsendt "Guidelines for the Promotion and Application of First (Set) Major Technical Equipment (2024 Edition)". Dette baner vejen for fuld-proces lokalisering af moden chip-fremstilling til noder over 28nm!
Selvom 28nm-teknologi ikke er banebrydende, har den stor betydning som skillelinjen mellem low-to-mid-end og mid-to-high-end chips. Bortset fra avancerede CPU'er, GPU'er og AI-chips, er de fleste chips i industriel kvalitet afhængige af 28nm eller højere teknologier.
Arbejdsprincip: Fremskridt inden for dyb ultraviolet litografi
KrF (Krypton Fluoride) og ArF (Argon Fluoride) litografimaskiner falder ind under kategorien Deep Ultraviolet (DUV) litografi. Begge bruger specifikke lysbølgelængder, der projiceres gennem optiske systemer på fotoresistlaget af en siliciumwafer, og overfører indviklede kredsløbsmønstre.
KrF litografimaskiner: Brug en 248nm bølgelængde lyskilde, der opnår opløsninger under 110nm, velegnet til forskellige integrerede kredsløbs fremstillingsprocesser.
ArF litografimaskiner: Brug en 193nm bølgelængde lyskilde, der tilbyder højere opløsning til sub-65nm procesteknologier, hvilket muliggør fremstilling af finere kredsløb.
Teknologisk betydning: Industriopgradering og selvhjulpenhed
Udviklingen af disse litografimaskiner markerer en vigtig milepæl i at fremme halvlederfremstilling og opnå industriel autonomi:
Tekniske gennembrud: Den vellykkede skabelse af KrF og ArF litografimaskiner fremhæver betydelige fremskridt inden for avanceret litografiteknologi, der giver robust teknisk support til halvlederfremstilling.
Industriopgradering: Litografimaskiner med høj præcision muliggør produktion af mere komplekse og højtydende integrerede kredsløb, der driver innovation på tværs af hele halvlederværdikæden.
Økonomisk og national sikkerhed: Ved at reducere afhængigheden af udenlandsk teknologi styrker disse maskiner den indenlandske halvlederindustris selvforsyning og styrker økonomisk og industriel sikkerhed.
Vandkøler : Nøglen til stabil litografimaskineydelse
Præcis temperaturkontrol er afgørende for at sikre kvaliteten og udbyttet af litografiprocessen. Vandkølere, som kernekomponenter i kølesystemer, spiller en afgørende rolle:
Kølekrav: Litografimaskiner er ekstremt følsomme over for temperatursvingninger under eksponering, hvilket nødvendiggør vandkølere, der giver meget nøjagtig og stabil temperaturkontrol.
Chillers funktioner: Ved at cirkulere kølevand spreder chillere effektivt varme genereret under drift, holder laserudstyret inden for et optimalt temperaturområde og sikrer nøjagtighed og pålidelighed i litografiprocessen.
TEYU Chiller tilbyder professionelle køleløsninger til litografimaskiner
TEYU CWUP-seriens ultrahurtige laserkølere kan give præcis og stabil temperaturkontrol til litografimaskiner. Kølermodellen CWUP-20ANP opnår en temperaturstabilitet på ±0,08°C og leverer højeffektiv køling til præcisionsfremstilling.
I den præcise verden af halvlederfremstilling er litografimaskiner kerneenhederne til overførsel af mikrokredsløbsmønstre. Med teknologiens fremskridt er kryptonfluoridlitografimaskine og argonfluoridlitografimaskine blevet en vigtig kraft til at fremme udviklingen af industrien med deres fremragende ydeevne.
Vi er her for dig, når du har brug for os.
Udfyld venligst formularen for at kontakte os, og vi vil med glæde hjælpe dig.
TEYU S&A Chiller blev grundlagt i 2002 med 23 års erfaring inden for produktion af kølemaskiner og er nu anerkendt som en pioner inden for køleteknologi og en pålidelig partner i laserindustrien.
Ophavsret © 2025 TEYU S&A Chiller - Alle rettigheder forbeholdes.
