Laser News
Ακριβής έλεγχος θερμοκρασίας για συστήματα λέιζερ και βιομηχανικές εφαρμογές από το 2002
Γλώσσα
Οι οδηγίες του MIIT για το 2024 προωθούν τον εντοπισμό πλήρους διαδικασίας για την κατασκευή τσιπ 28nm+, ένα κρίσιμο τεχνολογικό ορόσημο. Οι βασικές εξελίξεις περιλαμβάνουν μηχανές λιθογραφίας KrF και ArF, που επιτρέπουν κυκλώματα υψηλής ακρίβειας και ενισχύουν την αυτοδυναμία της βιομηχανίας. Ο ακριβής έλεγχος θερμοκρασίας είναι ζωτικής σημασίας για αυτές τις διαδικασίες, με τους ψύκτες νερού TEYU CWUP να εξασφαλίζουν σταθερή απόδοση στην κατασκευή ημιαγωγών.
Τους τελευταίους μήνες, το Υπουργείο Βιομηχανίας και Πληροφορικής (ΜΙΤ) εξέδωσε τις «Οδηγίες για την Προώθηση και Εφαρμογή του Πρώτου (Σετ) Μείζονος Τεχνικού Εξοπλισμού (Έκδοση 2024)». Αυτό ανοίγει το δρόμο για την πλήρη εντόπιση της ώριμης κατασκευής τσιπ για κόμβους άνω των 28 nm!
Αν και η τεχνολογία 28 nm δεν είναι αιχμής, έχει σημαντική σημασία ως διαχωριστική γραμμή μεταξύ τσιπ low-to-mid-end και mid-to-high-end chip. Εκτός από προηγμένες CPU, GPU και τσιπ τεχνητής νοημοσύνης, τα περισσότερα τσιπ βιομηχανικής ποιότητας βασίζονται σε τεχνολογίες 28nm ή υψηλότερες.
Αρχή εργασίας: Προόδους στη λιθογραφία βαθιάς υπεριώδους
Οι μηχανές λιθογραφίας KrF (Krypton Fluoride) και ArF (Argon Fluoride) εμπίπτουν στην κατηγορία της λιθογραφίας Deep Ultraviolet (DUV). Και τα δύο χρησιμοποιούν συγκεκριμένα μήκη κύματος φωτός που προβάλλονται μέσω οπτικών συστημάτων στο στρώμα φωτοανθεκτικού ενός πλακιδίου πυριτίου, μεταφέροντας περίπλοκα μοτίβα κυκλωμάτων.
Μηχανές λιθογραφίας KrF: Χρησιμοποιήστε μια πηγή φωτός μήκους κύματος 248 nm, επιτυγχάνοντας αναλύσεις κάτω από 110 nm, κατάλληλη για διάφορες διαδικασίες κατασκευής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.
Μηχανές λιθογραφίας ArF: Χρησιμοποιήστε μια πηγή φωτός μήκους κύματος 193 nm, που προσφέρει υψηλότερη ανάλυση για τεχνολογίες επεξεργασίας κάτω των 65 nm, επιτρέποντας την κατασκευή λεπτότερων κυκλωμάτων.
Τεχνολογική Σημασία: Βιομηχανική Αναβάθμιση και Αυτοδυναμία
Η ανάπτυξη αυτών των μηχανών λιθογραφίας σηματοδοτεί ένα σημαντικό ορόσημο για την πρόοδο της κατασκευής ημιαγωγών και την επίτευξη βιομηχανικής αυτονομίας:
Τεχνικές ανακαλύψεις: Η επιτυχημένη δημιουργία μηχανών λιθογραφίας KrF και ArF υπογραμμίζει τη σημαντική πρόοδο στην τεχνολογία λιθογραφίας υψηλής τεχνολογίας, παρέχοντας ισχυρή τεχνική υποστήριξη για την κατασκευή ημιαγωγών.
Αναβάθμιση βιομηχανίας: Τα μηχανήματα λιθογραφίας υψηλής ακρίβειας επιτρέπουν την παραγωγή πιο περίπλοκων και υψηλής απόδοσης ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, οδηγώντας την καινοτομία σε ολόκληρη την αλυσίδα αξίας ημιαγωγών.
Οικονομική και Εθνική Ασφάλεια: Μειώνοντας την εξάρτηση από ξένη τεχνολογία, αυτά τα μηχανήματα ενισχύουν την αυτάρκεια της εγχώριας βιομηχανίας ημιαγωγών, ενισχύοντας την οικονομική και βιομηχανική ασφάλεια.
Ψύκτη νερού : Το κλειδί για τη σταθερή απόδοση της μηχανής λιθογραφίας
Ο ακριβής έλεγχος της θερμοκρασίας είναι απαραίτητος για τη διασφάλιση της ποιότητας και της απόδοσης της διαδικασίας λιθογραφίας. Οι ψύκτες νερού, ως βασικά συστατικά των συστημάτων ψύξης, διαδραματίζουν ζωτικό ρόλο:
Απαιτήσεις ψύξης: Οι μηχανές λιθογραφίας είναι εξαιρετικά ευαίσθητες στις διακυμάνσεις της θερμοκρασίας κατά την έκθεση, απαιτώντας ψύκτες νερού που παρέχουν εξαιρετικά ακριβή και σταθερό έλεγχο θερμοκρασίας.
Λειτουργίες των Ψυκτών: Με την κυκλοφορία του νερού ψύξης, τα ψυκτικά συγκροτήματα διαχέουν αποτελεσματικά τη θερμότητα που παράγεται κατά τη λειτουργία, διατηρώντας τον εξοπλισμό λέιζερ σε ένα βέλτιστο εύρος θερμοκρασίας και διασφαλίζοντας ακρίβεια και αξιοπιστία στη διαδικασία της λιθογραφίας.
Η TEYU Chiller προσφέρει επαγγελματικές λύσεις ψύξης για μηχανές λιθογραφίας
Τα υπερταχεία ψυκτικά συγκροτήματα λέιζερ της σειράς TEYU CWUP μπορούν να παρέχουν ακριβή και σταθερό έλεγχο θερμοκρασίας για μηχανές λιθογραφίας. Το μοντέλο ψύκτη CWUP-20ANP επιτυγχάνει σταθερότητα θερμοκρασίας ±0,08°C, παρέχοντας εξαιρετικά αποδοτική ψύξη για κατασκευή ακριβείας.
Στον ακριβή κόσμο της κατασκευής ημιαγωγών, οι μηχανές λιθογραφίας είναι οι βασικές συσκευές για τη μεταφορά μοτίβων μικροκυκλωμάτων. Με την πρόοδο της τεχνολογίας, η μηχανή λιθογραφίας φθοριούχου κρυπτονίου και η μηχανή λιθογραφίας φθοριούχου αργού έχουν γίνει μια σημαντική δύναμη για την προώθηση της ανάπτυξης της βιομηχανίας με την εξαιρετική τους απόδοση.
Είμαστε εδώ για εσάς όταν μας χρειάζεστε.
Συμπληρώστε τη φόρμα για να επικοινωνήσετε μαζί μας και θα χαρούμε να σας βοηθήσουμε.
, 
Η TEYU S&A Chiller ιδρύθηκε το 2002 με 23 χρόνια εμπειρίας στην κατασκευή ψυγείων και πλέον αναγνωρίζεται ως πρωτοπόρος στην τεχνολογία ψύξης και αξιόπιστος συνεργάτης στη βιομηχανία λέιζερ.
Πνευματικά δικαιώματα © 2025 TEYU S&A Chiller - Με επιφύλαξη παντός δικαιώματος.
