Täpne temperatuuri reguleerimine lasersüsteemidele ja tööstuslikele rakendustele alates 2002. aastast
Keel
MIIT 2024. aasta juhised edendavad kogu protsessi lokaliseerimist 28 nm+ kiibi tootmisel, mis on ülioluline tehniline verstapost. Peamised edusammud hõlmavad KrF- ja ArF-litograafiamasinaid, mis võimaldavad ülitäpseid vooluringe ja suurendavad tööstuse enesekindlust. Täpne temperatuuri reguleerimine on nende protsesside jaoks ülioluline, kuna TEYU CWUP vesijahutid tagavad pooljuhtide tootmisel stabiilse jõudluse.
Viimastel kuudel on tööstus- ja infotehnoloogiaministeerium (MIIT) välja andnud "Juhised esimeste (komplekti) suuremate tehniliste seadmete edendamiseks ja rakendamiseks (2024. aasta väljaanne)". See sillutab teed küpse kiibi tootmise täielikuks lokaliseerimiseks üle 28 nm sõlmede jaoks!
Ehkki 28 nm tehnoloogia ei ole tipptasemel, on sellel märkimisväärne tähtsus eraldusjoonena madala kuni keskmise ja keskmise ja kõrgeima klassi kiipide vahel. Lisaks täiustatud protsessoritele, GPU-dele ja AI-kiipidele tugineb enamik tööstusliku kvaliteediga kiipe 28 nm või uuematele tehnoloogiatele.
Tööpõhimõte: edusammud sügavas ultraviolettkiirguse litograafias
KrF (Krypton Fluoride) ja ArF (Argon Fluoride) litograafiamasinad kuuluvad Deep Ultraviolet (DUV) litograafia kategooriasse. Mõlemad kasutavad spetsiifilisi valguse lainepikkusi, mis projitseeritakse läbi optiliste süsteemide räniplaadi fotoresistikihile, edastades keerukaid vooluahela mustreid.
KrF-i litograafiamasinad: kasutage 248 nm lainepikkusega valgusallikat, mille eraldusvõime on alla 110 nm ja sobib mitmesuguste integraallülituste tootmisprotsesside jaoks.
ArF litograafiamasinad: kasutage 193 nm lainepikkusega valgusallikat, mis pakub suuremat eraldusvõimet alla 65 nm protsessitehnoloogiate jaoks, mis võimaldab valmistada peenemaid vooluahelaid.
Tehnoloogiline tähtsus: tööstuse uuendamine ja iseseisvus
Nende litograafiamasinate väljatöötamine on oluline verstapost pooljuhtide tootmise edendamisel ja tööstusliku autonoomia saavutamisel:
Tehnilised läbimurded: KrF-i ja ArF-litograafiamasinate edukas loomine tõstab esile märkimisväärseid edusamme tipptasemel litograafiatehnoloogias, pakkudes tugevat tehnilist tuge pooljuhtide tootmisele.
Tööstuse uuendamine: ülitäpsed litograafiamasinad võimaldavad toota keerukamaid ja suure jõudlusega integraallülitusi, mis juhivad uuendusi kogu pooljuhtide väärtusahelas.
Majandus- ja riiklik julgeolek: vähendades sõltuvust välismaisest tehnoloogiast, tugevdavad need masinad kodumaise pooljuhtide tööstuse iseseisvust, tugevdades majanduslikku ja tööstuslikku julgeolekut.
Veejahuti : litograafiamasina stabiilse jõudluse võti
Täpne temperatuuri reguleerimine on litograafiaprotsessi kvaliteedi ja saagise tagamiseks hädavajalik. Vesijahutitel kui jahutussüsteemide põhikomponentidel on oluline roll:
Jahutusnõuded: litograafiamasinad on kokkupuute ajal temperatuurikõikumiste suhtes äärmiselt tundlikud, mistõttu on vaja vesijahutit, mis tagavad väga täpse ja stabiilse temperatuuri juhtimise.
Jahutite funktsioonid: jahutusvee ringlemisega hajutavad jahutid tõhusalt töö käigus tekkivat soojust, hoides laserseadmed optimaalses temperatuurivahemikus ning tagades litograafiaprotsessi täpsuse ja töökindluse.
TEYU jahuti pakub professionaalseid jahutuslahendusi litograafiamasinatele
TEYU CWUP-seeria ülikiired laserjahutid võivad pakkuda litograafiamasinatele täpset ja stabiilset temperatuuri reguleerimist. Jahutusmudel CWUP-20ANP saavutab temperatuuri stabiilsuse ±0,08 °C, pakkudes ülitõhusat jahutust täpseks tootmiseks.
Täpses pooljuhtide tootmise maailmas on litograafiamasinad mikroskeemide mustrite edastamise põhiseadmed. Tehnoloogia arenguga on krüptoonfluoriidi litograafiamasin ja argoonfluoriidi litograafia masin muutunud oluliseks jõuks tööstuse arengu edendamisel oma suurepärase jõudlusega.
Oleme teie jaoks olemas, kui te meid vajate.
Meiega ühenduse võtmiseks täitke vorm ja me aitame teid hea meelega.
TEYU S&A Chiller asutati 2002. aastal 23-aastase jahutite tootmise kogemusega ning on nüüdseks tunnustatud jahutustehnoloogia pioneerina ja usaldusväärse partnerina laseritööstuses.
Autoriõigus © 2025 TEYU S&A Chiller - Kõik õigused kaitstud.
