کنترل دقیق دما برای سیستم‌های لیزری و کاربردهای صنعتی از سال ۲۰۰۲
زبان
دستورالعمل‌های MIIT در سال 2024، بومی‌سازی کامل فرآیند را برای تولید تراشه‌های +28 نانومتری، که یک نقطه عطف فناوری حیاتی است، ترویج می‌کند. پیشرفت‌های کلیدی شامل ماشین‌های لیتوگرافی KrF و ArF، امکان مدارهای با دقت بالا و تقویت خوداتکایی صنعت است. کنترل دقیق دما برای این فرآیندها حیاتی است، با چیلرهای آبی TEYU CWUP عملکرد پایدار در تولید نیمه هادی را تضمین می کند.
در ماه‌های اخیر، وزارت صنعت و فناوری اطلاعات (MIIT) «دستورالعمل ترویج و بکارگیری اولین (مجموعه) تجهیزات فنی اصلی (ویرایش 2024)» را صادر کرد. این راه را برای بومی سازی کامل فرآیند تولید تراشه بالغ برای گره های بالاتر از 28 نانومتر هموار می کند!
اگرچه فناوری 28 نانومتری پیشرفته نیست، اما به عنوان خط جداکننده بین تراشه‌های رده پایین تا متوسط و متوسط به بالا اهمیت زیادی دارد. جدا از پردازنده‌های پیشرفته، پردازنده‌های گرافیکی و تراشه‌های هوش مصنوعی، بیشتر تراشه‌های صنعتی به فناوری‌های ۲۸ نانومتری یا بالاتر متکی هستند.
اصل کار: پیشرفت در لیتوگرافی فرابنفش عمیق
دستگاه های لیتوگرافی KrF (کریپتون فلوراید) و ArF (آرگون فلوراید) در دسته لیتوگرافی اشعه ماوراء بنفش عمیق (DUV) قرار می گیرند. هر دو از طول موج‌های نوری خاصی استفاده می‌کنند که از طریق سیستم‌های نوری بر روی لایه مقاوم نوری یک ویفر سیلیکونی پخش می‌شوند و الگوهای مدار پیچیده را منتقل می‌کنند.
ماشین‌های لیتوگرافی KrF: از یک منبع نوری با طول موج 248 نانومتر استفاده کنید که به وضوح زیر 110 نانومتر دست می‌یابد، مناسب برای فرآیندهای مختلف تولید مدار مجتمع.
ماشین‌های لیتوگرافی ArF: از یک منبع نوری با طول موج ۱۹۳ نانومتر استفاده کنید که وضوح بالاتری را برای فناوری‌های فرآیند زیر ۶۵ نانومتری ارائه می‌دهد و ساخت مدارهای ظریف‌تری را امکان‌پذیر می‌کند.
اهمیت تکنولوژیک: ارتقاء صنعت و خوداتکایی
توسعه این ماشین‌های لیتوگرافی نقطه عطفی بزرگ در پیشرفت تولید نیمه‌رسانا و دستیابی به استقلال صنعتی است:
پیشرفت‌های فنی: ایجاد موفقیت‌آمیز ماشین‌های لیتوگرافی KrF و ArF پیشرفت قابل توجهی را در فناوری لیتوگرافی پیشرفته نشان می‌دهد و پشتیبانی فنی قوی برای تولید نیمه‌رساناها ارائه می‌دهد.
ارتقای صنعت: ماشین‌های لیتوگرافی با دقت بالا، تولید مدارهای مجتمع پیچیده‌تر و با کارایی بالا را امکان‌پذیر می‌سازند و نوآوری را در کل زنجیره ارزش نیمه‌رساناها هدایت می‌کنند.
اقتصاد و امنیت ملی: این ماشین‌ها با کاهش وابستگی به فناوری خارجی، خودکفایی صنعت نیمه‌رسانای داخلی را تقویت کرده و امنیت اقتصادی و صنعتی را تقویت می‌کنند.
چیلر آب : کلید عملکرد پایدار دستگاه لیتوگرافی
کنترل دقیق دما برای اطمینان از کیفیت و عملکرد فرآیند لیتوگرافی ضروری است. چیلرهای آبی به عنوان اجزای اصلی سیستم های خنک کننده نقش حیاتی دارند:
نیازهای خنک کننده: ماشین های لیتوگرافی به نوسانات دما در هنگام قرار گرفتن در معرض بسیار حساس هستند و نیاز به چیلرهای آبی دارند که کنترل دمای بسیار دقیق و پایداری را ارائه می دهند.
عملکرد چیلرها: چیلرها با گردش آب خنک کننده، گرمای تولید شده در حین کار را به طور موثر دفع می کنند، تجهیزات لیزری را در محدوده دمایی بهینه نگه می دارند و از دقت و قابلیت اطمینان در فرآیند لیتوگرافی اطمینان می دهند.
چیلر TEYU راه حل های خنک کننده حرفه ای را برای ماشین های لیتوگرافی ارائه می دهد
چیلرهای لیزری فوق سریع سری TEYU CWUP می توانند کنترل دقیق و پایدار دما را برای دستگاه های لیتوگرافی فراهم کنند. چیلر مدل CWUP-20ANP به پایداری دمایی 0.08 ± درجه سانتیگراد دست می یابد و خنک کننده بسیار کارآمد را برای تولید دقیق ارائه می دهد.
در دنیای دقیق تولید نیمه هادی، ماشین های لیتوگرافی دستگاه های اصلی برای انتقال الگوهای ریز مدار هستند. با پیشرفت تکنولوژی، دستگاه لیتوگرافی فلوراید کریپتون و دستگاه لیتوگرافی فلوراید آرگون به یک نیروی مهم برای ترویج توسعه صنعت با عملکرد عالی تبدیل شده اند.
وقتی به ما نیاز داشتید ما اینجا هستیم
لطفاً فرم تماس با ما را تکمیل کنید و ما خوشحال می شویم که به شما کمک کنیم.
شرکت چیلر TEYU S&A در سال ۲۰۰۲ با ۲۳ سال سابقه در تولید چیلر تأسیس شد و اکنون به عنوان پیشگام فناوری خنککننده و شریکی قابل اعتماد در صنعت لیزر شناخته میشود.
کپیرایت © 2025 چیلر TEYU S&A - تمامی حقوق محفوظ است.
