Novas láser
Control preciso da temperatura para sistemas láser e aplicacións industriais desde 2002
Lingua
As directrices de 2024 do MIIT promoven a localización de proceso completo para a fabricación de chips de 28 nm+, un fito tecnolóxico crucial. Os avances clave inclúen as máquinas de litografía KrF e ArF, que permiten circuítos de alta precisión e aumentan a autosuficiencia da industria. O control preciso da temperatura é vital para estes procesos, cos refrixeradores de auga TEYU CWUP que garanten un rendemento estable na fabricación de semicondutores.
Nos últimos meses, o Ministerio de Industria e Tecnoloxía da Información (MIIT) publicou as "Directrices para a promoción e aplicación do primeiro (conxunto) equipos técnicos principais (edición 2024)". Isto allana o camiño para a localización de proceso completo da fabricación de chips maduros para nodos superiores a 28 nm.
Aínda que a tecnoloxía de 28 nm non é de vangarda, ten unha importancia significativa como liña divisoria entre os chips de gama baixa a media e media a alta. Ademais das CPU, GPU e chips AI avanzados, a maioría dos chips de grao industrial dependen de tecnoloxías de 28 nm ou superiores.
Principio de funcionamento: avances na litografía ultravioleta profunda
As máquinas de litografía KrF (fluoruro de cripton) e ArF (fluoruro de argón) entran na categoría de litografía ultravioleta profunda (DUV). Ambos utilizan lonxitudes de onda de luz específicas proxectadas a través de sistemas ópticos sobre a capa de fotorresistencia dunha oblea de silicio, transferindo patróns de circuítos intrincados.
Máquinas de litografía KrF: use unha fonte de luz de lonxitude de onda de 248 nm, logrando resolucións inferiores a 110 nm, adecuada para varios procesos de fabricación de circuítos integrados.
Máquinas de litografía ArF: use unha fonte de luz de lonxitude de onda de 193 nm, que ofrece unha resolución máis alta para tecnoloxías de procesos inferiores a 65 nm, permitindo a fabricación de circuítos máis finos.
Importancia tecnolóxica: actualización da industria e autosuficiencia
O desenvolvemento destas máquinas de litografía marca un gran fito no avance na fabricación de semicondutores e na consecución da autonomía industrial:
Avances técnicos: a creación exitosa de máquinas de litografía KrF e ArF destaca un progreso significativo na tecnoloxía de litografía de gama alta, que proporciona un soporte técnico sólido para a fabricación de semicondutores.
Actualización da industria: as máquinas de litografía de alta precisión permiten a produción de circuítos integrados máis complexos e de alto rendemento, impulsando a innovación en toda a cadea de valor dos semicondutores.
Seguridade económica e nacional: ao reducir a dependencia da tecnoloxía estranxeira, estas máquinas reforzan a autosuficiencia da industria nacional de semicondutores, reforzando a seguridade económica e industrial.
Refrixerador de auga : a clave para o rendemento estable da máquina de litografía
O control preciso da temperatura é esencial para garantir a calidade e o rendemento do proceso de litografía. Os enfriadores de auga, como compoñentes fundamentais dos sistemas de refrixeración, xogan un papel vital:
Requisitos de refrixeración: as máquinas de litografía son extremadamente sensibles ás flutuacións de temperatura durante a exposición, polo que necesitan refrixeradores de auga que proporcionan un control de temperatura estable e de alta precisión.
Funcións dos refrixeradores: ao facer circular auga de refrixeración, os enfriadores disipan eficazmente a calor xerada durante o funcionamento, mantendo o equipo láser nun rango de temperatura óptimo e garantindo a precisión e fiabilidade no proceso de litografía.
TEYU Chiller ofrece solucións profesionais de refrixeración para máquinas de litografía
Os enfriadores láser ultrarrápidos da serie TEYU CWUP poden proporcionar un control de temperatura preciso e estable para máquinas de litografía. O modelo de enfriador CWUP-20ANP alcanza unha estabilidade de temperatura de ± 0,08 ° C, proporcionando un arrefriamento altamente eficiente para a fabricación de precisión.
No preciso mundo da fabricación de semicondutores, as máquinas de litografía son os principais dispositivos para a transferencia de patróns de microcircuítos. Co avance da tecnoloxía, a máquina de litografía de flúor de cripton e a máquina de litografía de flúor de argón convertéronse nunha forza importante para promover o desenvolvemento da industria co seu excelente rendemento.
Estamos aquí para ti cando nos necesites.
Complete o formulario para contactar connosco e estaremos encantados de axudarche.
TEYU S&A Chiller fundouse en 2002 con 23 anos de experiencia na fabricación de refrixeradores e agora é recoñecida como pioneira na tecnoloxía de refrixeración e socio fiable na industria láser.
Dereitos reservados © 2025 TEYU S&A Chiller.
