Labarai Masu Daɗi: MIIT Ta Inganta Injinan Lithography na DUV na Cikin Gida Tare da Daidaiton Rufewa ≤8nm

A cikin 'yan watannin nan, Ma'aikatar Masana'antu da Fasahar Bayanai (MIIT) ta fitar da "Jagororin Tallafawa da Amfani da Kayan Aikin Fasaha na Farko (Set) (Bugu na 2024)". Wannan yana share fagen gano cikakken tsari na kera guntu mai girma ga na'urori sama da 28nm!

Duk da cewa fasahar 28nm ba ta da wani amfani, tana da matuƙar muhimmanci a matsayin layin raba tsakanin ƙananan kwakwalwan kwamfuta zuwa matsakaici da kuma matsakaici zuwa babba. Baya ga ci gaba da CPUs, GPUs, da kwakwalwan kwamfuta na AI, yawancin kwakwalwan kwamfuta na masana'antu sun dogara ne da fasahar 28nm ko sama da haka.

Ka'idar Aiki: Ci gaba a cikin Lithography mai zurfi na Ultraviolet

Injinan lithography na KrF (Krypton Fluoride) da ArF (Argon Fluoride) suna ƙarƙashin rukunin lithography na Deep Ultraviolet (DUV). Dukansu suna amfani da takamaiman raƙuman haske da aka zana ta hanyar tsarin gani a kan layin photoresist na silicon wafer, suna canja wurin tsarin da'ira mai rikitarwa.

Injinan Lithography na KrF: Yi amfani da tushen hasken da ke da tsawon tsayin 248nm, wanda ke cimma ƙudurin da ke ƙasa da 110nm, wanda ya dace da hanyoyin kera da'irori daban-daban.

Injinan Lithography na ArF: Yi amfani da tushen hasken da ke da tsawon tsayin 193nm, wanda ke ba da ƙuduri mafi girma ga fasahar aiwatarwa ta ƙasa da 65nm, wanda ke ba da damar ƙera da'irori masu kyau.

Muhimmancin Fasaha: Haɓaka Masana'antu da Dogara da Kai

Ci gaban waɗannan injunan lithography yana nuna babban ci gaba a masana'antar semiconductor da cimma 'yancin kai na masana'antu:

Nasarar Fasaha: Nasarar ƙirƙirar injunan lithography na KrF da ArF ta nuna gagarumin ci gaba a fasahar lithography mai inganci, tana ba da goyon baya mai ƙarfi ga fasaha don kera semiconductor.

Inganta Masana'antu: Injinan lithography masu inganci suna ba da damar samar da da'irori masu rikitarwa da aiki mai girma, wanda ke haifar da kirkire-kirkire a duk faɗin sarkar darajar semiconductor.

Tattalin Arziki da Tsaron Ƙasa: Ta hanyar rage dogaro da fasahar ƙasashen waje, waɗannan injunan suna ƙarfafa wadatar da masana'antar semiconductor ta cikin gida, suna ƙarfafa tsaron tattalin arziki da masana'antu.

Na'urar sanyaya ruwa : Mabuɗin Ingantaccen Aikin Injin Lithography

Daidaiton yanayin zafi yana da mahimmanci don tabbatar da inganci da yawan amfanin tsarin lithography. Na'urorin sanyaya ruwa, a matsayin manyan abubuwan da ke cikin tsarin sanyaya, suna taka muhimmiyar rawa:

Bukatun Sanyaya: Injinan Lithography suna da matuƙar saurin kamuwa da canjin yanayin zafi yayin fallasa su, wanda hakan ke buƙatar na'urorin sanyaya ruwa waɗanda ke ba da ingantaccen iko da yanayin zafi.

Ayyukan Masu Sanyaya: Ta hanyar zagayawa da ruwan sanyaya, masu sanyaya suna wargaza zafi da ake samu yayin aiki yadda ya kamata, suna kiyaye kayan aikin laser a cikin mafi kyawun yanayin zafi da kuma tabbatar da daidaito da aminci a cikin tsarin lithography.

TEYU Chiller Yana Ba da Maganin Sanyaya Ƙwararru ga Injinan Lithography

TEYU Na'urorin sanyaya laser na CWUP masu sauri sosai na iya samar da ingantaccen kuma ingantaccen sarrafa zafin jiki ga na'urorin lithography. Tsarin sanyaya CWUP-20ANP yana samun daidaiton zafin jiki na ±0.08°C, yana samar da sanyaya mai inganci don kera daidaito.

A cikin duniyar kera semiconductor, injunan lithography sune manyan na'urori don canja wurin tsarin microcircuits. Tare da ci gaban fasaha, injunan lithography na krypton fluoride da injunan lithography na argon fluoride sun zama muhimmin ƙarfi don haɓaka ci gaban masana'antar tare da kyakkyawan aikinsu.