Nūhou Laser
ʻO ka mana wela kūpono no nā ʻōnaehana Laser a me nā noi ʻoihana mai 2002
ʻLelo
Hoʻolaha ka MIIT's 2024 alakaʻi i ka localization holoʻokoʻa no ka hana ʻana o 28nm+ chip, kahi ʻenehana koʻikoʻi. ʻO nā holomua koʻikoʻi e pili ana i nā mīkini lithography KrF a me ArF, hiki i nā kaʻa kaʻa pololei kiʻekiʻe a hoʻonui i ka hilinaʻi ponoʻī o ka ʻoihana. He mea koʻikoʻi ka mālama ʻana i ka mahana no kēia mau kaʻina hana, me ka TEYU CWUP wai chillers e hōʻoiaʻiʻo ana i ka hana paʻa i ka hana semiconductor.
I nā mahina i hala iho nei, ua hoʻopuka ka Ministry of Industry and Information Technology (MIIT) i ka "Alakaʻi no ka hoʻolaha ʻana a me ka hoʻohana ʻana i nā mea hana mua (Set) Major Technical Equipment (2024 Edition)". Hāʻawi kēia i ke ala no ka hoʻonohonoho piha ʻana o ka hana ʻana i nā chip makua no nā nodes ma luna o 28nm!
ʻOiai ʻaʻole ʻoki ʻia ka ʻenehana 28nm, paʻa ia i ka mea koʻikoʻi e like me ka laina hoʻokaʻawale ma waena o nā pahu haʻahaʻa a i waena a me waena o nā pahu kiʻekiʻe. Ma waho aʻe o nā CPU kiʻekiʻe, GPU, a me AI chips, hilinaʻi ka hapa nui o nā pahu hana ʻenehana i ka 28nm a i ʻole nā ʻenehana kiʻekiʻe.
Ke Kumu Hana: Nā holomua i ka Deep Ultraviolet Lithography
KrF (Krypton Fluoride) a me ArF (Argon Fluoride) lithography mīkini hāʻule ma lalo o ka waeʻano o Deep Ultraviolet (DUV) lithography. Hoʻohana lāua ʻelua i nā lōʻihi hawewe māmā i kuhi ʻia ma nā ʻōnaehana optical ma luna o ka papa photoresist o kahi wafer silika, e hoʻololi ana i nā ʻano kaapuni paʻakikī.
Nā Mīkini KrF Lithography: E hoʻohana i kahi kumu kukui hawewe lōʻihi 248nm, e hoʻokō ana i nā hoʻoholo ma lalo o 110nm, kūpono no nā kaʻina hana hana kaʻapuni i hoʻohui ʻia.
Nā Mīkini ArF Lithography: E hoʻohana i kahi kumu kukui hawewe 193nm, hāʻawi i ka hoʻonā kiʻekiʻe no nā ʻenehana kaʻina sub-65nm, e hiki ai ke hana i nā kaapuni ʻoi aku ka maikaʻi.
ʻIke ʻenehana: Hoʻonui i ka ʻoihana a me ka hilinaʻi ponoʻī
ʻO ka hoʻomohala ʻana o kēia mau mīkini lithography e hōʻailona i kahi mea nui i ka holomua ʻana i ka hana semiconductor a me ka loaʻa ʻana o ka mana kūʻokoʻa.
Nā Hana Hana Hana: ʻO ka hana kūleʻa o nā mīkini lithography KrF a me ArF e hōʻike ana i ka holomua nui i ka ʻenehana lithography kiʻekiʻe, e hāʻawi ana i ke kākoʻo ʻenehana ikaika no ka hana semiconductor.
Hoʻonui i ka ʻoihana: Hiki i nā mīkini lithography kiʻekiʻe ke hana i nā kaapuni hoʻohui ʻoi aku ka paʻakikī a me ka hana kiʻekiʻe, e hoʻokau i nā mea hou ma o ke kaulahao waiwai semiconductor holoʻokoʻa.
Hoʻokele waiwai a me ka National Security: Ma ka hōʻemi ʻana i ka hilinaʻi ʻana i ka ʻenehana ʻē aʻe, hoʻoikaika kēia mau mīkini i ka pono ponoʻī o ka ʻoihana semiconductor home, e hoʻoikaika ana i ka palekana waiwai a me ka ʻoihana.
ʻO ka mea hoʻoheheʻe wai : ke kī i ka hana ʻana o ka mīkini lithography paʻa
Pono pono ka hoʻomalu ʻana i ka wela no ka hōʻoia ʻana i ka maikaʻi a me ka hua o ke kaʻina hana lithography. ʻO nā mea hoʻoheheʻe wai, ma ke ʻano he mea nui o nā ʻōnaehana hoʻomaha, he hana koʻikoʻi:
Nā Koina Hoʻoluʻu: ʻO nā mīkini lithography ka mea maʻalahi loa i ka loli ʻana o ka mahana i ka wā o ka hoʻolaha ʻana, pono i nā mea hoʻoheheʻe wai e hāʻawi i ka mana wela kūpono a paʻa.
Nā Hana o nā Chillers: Ma ke kahe ʻana i ka wai hoʻoluʻu, hoʻopau maikaʻi nā chillers i ka wela i hana ʻia i ka wā o ka hana, e mālama ana i nā mea laser i loko o kahi pae wela kūpono a me ka hōʻoia ʻana i ka pololei a me ka hilinaʻi i ke kaʻina hana lithography.
Hāʻawi ʻo TEYU Chiller i nā ʻenehana hoʻoluʻu ʻoihana no nā mīkini lithography
Hiki i ka TEYU CWUP series ultrafast laser chillers ke hāʻawi i ka mana wela kūpono a paʻa no nā mīkini lithography. Loaʻa ka hoʻohālike chiller CWUP-20ANP i ke kūpaʻa wela o ± 0.08 ° C, e hāʻawi ana i ka hoʻomaha maikaʻi loa no ka hana pololei.
I ka honua pololei o ka hana semiconductor, ʻo nā mīkini lithography ka mea nui no ka hoʻololi ʻana i nā ʻano microcircuit. Me ka holomua o ka ʻenehana, ua lilo ka mīkini krypton fluoride lithography a me ka mīkini lithography argon fluoride i mea koʻikoʻi e hāpai i ka hoʻomohala ʻana o ka ʻoihana me kā lākou hana maikaʻi loa.
Aia mākou ma ʻaneʻi no ʻoe ke makemake ʻoe iā mākou.
E ʻoluʻolu e hoʻopiha i ka palapala e hoʻokaʻaʻike mai iā mākou, a hauʻoli mākou e kōkua iā ʻoe.
. . 
Ua hoʻokumu ʻia ʻo TEYU S&A Chiller ma 2002 me 23 mau makahiki o ka ʻike hana chiller, a i kēia manawa ua ʻike ʻia ʻo ia he paionia ʻenehana hoʻoluʻu a he hoa hilinaʻi i ka ʻoihana laser.
Kuleana kope © 2025 TEYU S&A Chiller - Mālama ʻia nā kuleana āpau.
