लेजर समाचार
2002 से लेज़र सिस्टम और औद्योगिक अनुप्रयोगों के लिए सटीक तापमान नियंत्रण
भाषा: हिन्दी
MIIT के 2024 दिशानिर्देश 28nm+ चिप निर्माण के लिए पूर्ण-प्रक्रिया स्थानीयकरण को बढ़ावा देते हैं, जो एक महत्वपूर्ण तकनीकी मील का पत्थर है। प्रमुख प्रगति में KrF और ArF लिथोग्राफी मशीनें शामिल हैं, जो उच्च-सटीक सर्किट को सक्षम बनाती हैं और उद्योग की आत्मनिर्भरता को बढ़ाती हैं। इन प्रक्रियाओं के लिए सटीक तापमान नियंत्रण महत्वपूर्ण है, TEYU CWUP वाटर चिलर सेमीकंडक्टर निर्माण में स्थिर प्रदर्शन सुनिश्चित करते हैं।
हाल के महीनों में, उद्योग और सूचना प्रौद्योगिकी मंत्रालय (MIIT) ने "प्रथम (सेट) प्रमुख तकनीकी उपकरणों (2024 संस्करण) के प्रचार और अनुप्रयोग के लिए दिशानिर्देश" जारी किए हैं। यह 28nm से ऊपर के नोड्स के लिए परिपक्व चिप निर्माण के पूर्ण-प्रक्रिया स्थानीयकरण का मार्ग प्रशस्त करता है!
हालाँकि 28nm तकनीक अत्याधुनिक नहीं है, लेकिन यह निम्न-से-मध्य-अंत और मध्य-से-उच्च-अंत चिप्स के बीच विभाजन रेखा के रूप में महत्वपूर्ण महत्व रखती है। उन्नत CPU, GPU और AI चिप्स के अलावा, अधिकांश औद्योगिक-ग्रेड चिप्स 28nm या उच्चतर तकनीकों पर निर्भर करते हैं।
कार्य सिद्धांत: डीप अल्ट्रावायलेट लिथोग्राफी में प्रगति
KrF (क्रिप्टन फ्लोराइड) और ArF (आर्गन फ्लोराइड) लिथोग्राफी मशीनें डीप अल्ट्रावॉयलेट (DUV) लिथोग्राफी की श्रेणी में आती हैं। दोनों ही ऑप्टिकल सिस्टम के माध्यम से सिलिकॉन वेफर की फोटोरेसिस्ट परत पर प्रक्षेपित विशिष्ट प्रकाश तरंगदैर्ध्य का उपयोग करते हैं, जिससे जटिल सर्किट पैटर्न स्थानांतरित होते हैं।
KrF लिथोग्राफी मशीनें: 248nm तरंगदैर्घ्य वाले प्रकाश स्रोत का उपयोग करती हैं, 110nm से कम रिज़ॉल्यूशन प्राप्त करती हैं, विभिन्न एकीकृत सर्किट विनिर्माण प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त हैं।
एआरएफ लिथोग्राफी मशीनें: 193एनएम तरंगदैर्घ्य वाले प्रकाश स्रोत का उपयोग करती हैं, जो उप-65एनएम प्रक्रिया प्रौद्योगिकियों के लिए उच्च रिज़ॉल्यूशन प्रदान करती हैं, जिससे महीन सर्किटों का निर्माण संभव होता है।
तकनीकी महत्व: उद्योग उन्नयन और आत्मनिर्भरता
इन लिथोग्राफी मशीनों का विकास अर्धचालक विनिर्माण को आगे बढ़ाने और औद्योगिक स्वायत्तता प्राप्त करने में एक प्रमुख मील का पत्थर है:
तकनीकी सफलताएं: KrF और ArF लिथोग्राफी मशीनों का सफल निर्माण उच्च स्तरीय लिथोग्राफी प्रौद्योगिकी में महत्वपूर्ण प्रगति को दर्शाता है, जो अर्धचालक विनिर्माण के लिए मजबूत तकनीकी सहायता प्रदान करता है।
उद्योग उन्नयन: उच्च परिशुद्धता लिथोग्राफी मशीनें अधिक जटिल और उच्च प्रदर्शन वाले एकीकृत सर्किट के उत्पादन को सक्षम बनाती हैं, जिससे संपूर्ण सेमीकंडक्टर मूल्य श्रृंखला में नवाचार को बढ़ावा मिलता है।
आर्थिक और राष्ट्रीय सुरक्षा: विदेशी प्रौद्योगिकी पर निर्भरता कम करके, ये मशीनें घरेलू सेमीकंडक्टर उद्योग की आत्मनिर्भरता को मजबूत करती हैं, तथा आर्थिक और औद्योगिक सुरक्षा को मजबूत करती हैं।
वॉटर चिलर : स्थिर लिथोग्राफी मशीन प्रदर्शन की कुंजी
लिथोग्राफी प्रक्रिया की गुणवत्ता और उपज सुनिश्चित करने के लिए सटीक तापमान नियंत्रण आवश्यक है। शीतलन प्रणालियों के मुख्य घटकों के रूप में, वाटर चिलर महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं:
शीतलन आवश्यकताएं: लिथोग्राफी मशीनें एक्सपोजर के दौरान तापमान में उतार-चढ़ाव के प्रति अत्यंत संवेदनशील होती हैं, जिसके लिए जल शीतलन यंत्रों की आवश्यकता होती है, जो अत्यधिक सटीक और स्थिर तापमान नियंत्रण प्रदान करते हैं।
चिलर के कार्य: शीतलन जल को प्रसारित करके, चिलर संचालन के दौरान उत्पन्न गर्मी को प्रभावी ढंग से नष्ट करते हैं, लेजर उपकरण को इष्टतम तापमान सीमा के भीतर बनाए रखते हैं और लिथोग्राफी प्रक्रिया में सटीकता और विश्वसनीयता सुनिश्चित करते हैं।
TEYU चिलर लिथोग्राफी मशीनों के लिए पेशेवर शीतलन समाधान प्रदान करता है
TEYU CWUP सीरीज के अल्ट्राफास्ट लेजर चिलर लिथोग्राफी मशीनों के लिए सटीक और स्थिर तापमान नियंत्रण प्रदान कर सकते हैं। चिलर मॉडल CWUP-20ANP ±0.08°C की तापमान स्थिरता प्राप्त करता है, जो सटीक विनिर्माण के लिए अत्यधिक कुशल शीतलन प्रदान करता है।
सेमीकंडक्टर निर्माण की सटीक दुनिया में, लिथोग्राफी मशीनें माइक्रोसर्किट पैटर्न के हस्तांतरण के लिए मुख्य उपकरण हैं। प्रौद्योगिकी की उन्नति के साथ, क्रिप्टन फ्लोराइड लिथोग्राफी मशीन और आर्गन फ्लोराइड लिथोग्राफी मशीन अपने उत्कृष्ट प्रदर्शन के साथ उद्योग के विकास को बढ़ावा देने के लिए एक महत्वपूर्ण शक्ति बन गई हैं।
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TEYU S&A Chiller की स्थापना 2002 में चिलर विनिर्माण के 23 वर्षों के अनुभव के साथ की गई थी, और अब इसे लेजर उद्योग में शीतलन प्रौद्योगिकी अग्रणी और विश्वसनीय भागीदार के रूप में मान्यता प्राप्त है।
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