Precíz hőmérséklet-szabályozás lézerrendszerekhez és ipari alkalmazásokhoz 2002 óta
Nyelv
A MIIT 2024-es irányelvei előmozdítják a teljes folyamatok lokalizálását a 28 nm+ chipgyártáshoz, ami egy kulcsfontosságú technológiai mérföldkő. A legfontosabb fejlesztések közé tartoznak a KrF és ArF litográfiai gépek, amelyek nagy pontosságú áramköröket tesznek lehetővé, és növelik az iparág önellátását. A precíz hőmérséklet-szabályozás létfontosságú ezekhez a folyamatokhoz, a TEYU CWUP vízhűtőkkel stabil teljesítményt biztosítanak a félvezetőgyártásban.
Az elmúlt hónapokban az Ipari és Informatikai Minisztérium (MIIT) kiadta az "Irányelvek az első (készlet) főbb műszaki berendezések népszerűsítéséhez és alkalmazásához (2024-es kiadás)" c. Ez megnyitja az utat a 28 nm feletti csomópontok kiforrott chipgyártásának teljes folyamatban történő lokalizálásához!
Bár a 28 nm-es technológia nem a legkorszerűbb, jelentős jelentőséggel bír, mint az alsó-közép- és a közép- és csúcskategóriás chipek közötti választóvonal. A fejlett CPU-k, GPU-k és mesterséges intelligencia-chipek mellett a legtöbb ipari minőségű chip 28 nm-es vagy magasabb technológiára támaszkodik.
Működési elv: A mély-ultraibolya litográfia fejlődése
A KrF (Krypton Fluoride) és ArF (Argon Fluorid) litográfiai gépek a Deep Ultraviolet (DUV) litográfia kategóriájába tartoznak. Mindkettő speciális fényhullámhosszakat használ, amelyeket optikai rendszereken keresztül a szilíciumlapka fotoreziszt rétegére vetítenek, és bonyolult áramköri mintákat továbbítanak.
KrF litográfiai gépek: 248 nm hullámhosszú fényforrást használjon, amely 110 nm alatti felbontást ér el, és alkalmas különféle integrált áramkörök gyártási folyamataira.
ArF litográfiai gépek: 193 nm-es hullámhosszú fényforrást használjon, amely nagyobb felbontást kínál a 65 nm alatti folyamattechnológiákhoz, lehetővé téve finomabb áramkörök gyártását.
Technológiai jelentősége: Ipari fejlesztés és önellátás
Ezeknek a litográfiai gépeknek a fejlesztése jelentős mérföldkövet jelent a félvezetőgyártás előrehaladása és az ipari autonómia elérésében:
Technikai áttörések: A KrF és ArF litográfiai gépek sikeres megalkotása a csúcsminőségű litográfiai technológia jelentős előrehaladását jelzi, robusztus műszaki támogatást nyújtva a félvezetőgyártáshoz.
Iparági fejlesztés: A nagy pontosságú litográfiai gépek bonyolultabb és nagy teljesítményű integrált áramkörök gyártását teszik lehetővé, és az innovációt a teljes félvezető-értékláncon keresztül hajtják végre.
Gazdasági és nemzetbiztonság: A külföldi technológiától való függés csökkentésével ezek a gépek erősítik a hazai félvezetőipar önellátását, erősítik a gazdasági és ipari biztonságot.
Vízhűtő : a kulcs a stabil litográfiai gép teljesítményéhez
A pontos hőmérsékletszabályozás elengedhetetlen a litográfiai eljárás minőségének és hozamának biztosításához. A vízhűtők, mint a hűtőrendszerek alapvető elemei, létfontosságú szerepet játszanak:
Hűtési követelmények: A litográfiai gépek rendkívül érzékenyek a hőmérséklet-ingadozásokra az expozíció során, ezért olyan vízhűtőkre van szükség, amelyek rendkívül pontos és stabil hőmérsékletszabályozást biztosítanak.
A hűtőberendezések funkciói: A hűtővíz keringetésével a hűtők hatékonyan elvezetik a működés közben keletkező hőt, optimális hőmérsékleti tartományban tartják a lézeres berendezést, és biztosítják a litográfiai folyamat pontosságát és megbízhatóságát.
A TEYU hűtőgép professzionális hűtési megoldásokat kínál litográfiai gépekhez
A TEYU CWUP sorozatú ultragyors lézerhűtői precíz és stabil hőmérséklet-szabályozást biztosítanak a litográfiai gépekhez. A CWUP-20ANP hűtőmodell ±0,08°C hőmérséklet-stabilitást biztosít, rendkívül hatékony hűtést biztosítva a precíziós gyártáshoz.
A félvezetőgyártás precíz világában a litográfiai gépek a mikroáramkörök mintáinak átvitelének alapvető eszközei. A technológia fejlődésével a kripton-fluorid litográfiai gépek és az argon-fluorid litográfiai gépek kiváló teljesítményükkel fontos erővé váltak az ipar fejlődésének elősegítésében.
Itt vagyunk neked, amikor szükséged van ránk.
Kérjük, töltse ki az űrlapot, hogy kapcsolatba léphessen velünk, és mi örömmel segítünk.
A TEYU S&A Chiller-t 2002-ben alapították 23 éves hűtőgyártási tapasztalattal, és mára a hűtéstechnológia úttörőjeként és a lézeripar megbízható partnereként ismerték el.
Szerzői jog © 2025 TEYU S&A Hűtőberendezés - Minden jog fenntartva.
