Լազերային նորություններ
Լազերային համակարգերի և արդյունաբերական կիրառությունների ճշգրիտ ջերմաստիճանի կառավարում 2002 թվականից
Լեզու
MIIT-ի 2024 թվականի ուղեցույցները նպաստում են 28 նմ+ չիպերի արտադրության ամբողջական գործընթացի տեղայնացմանը, որը կարևոր տեխնոլոգիական հանգրվան է: Հիմնական առաջընթացները ներառում են KrF և ArF լիտոգրաֆիկ մեքենաներ, որոնք հնարավորություն են տալիս բարձր ճշգրտության սխեմաներին և խթանում արդյունաբերության ինքնապահովումը: Ջերմաստիճանի ճշգրիտ վերահսկումը կենսական նշանակություն ունի այս գործընթացների համար, քանի որ TEYU CWUP ջրային սառեցնող սարքերը ապահովում են կայուն կատարում կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ:
Վերջին ամիսներին Արդյունաբերության և տեղեկատվական տեխնոլոգիաների նախարարությունը (MIIT) թողարկել է «Առաջին (կոմպլեկտ) հիմնական տեխնիկական սարքավորումների առաջմղման և կիրառման ուղեցույցը (2024թ. հրատարակություն)»: Սա ճանապարհ է հարթում 28 նմ-ից բարձր հանգույցների համար հասուն չիպերի արտադրության ամբողջական գործընթացի տեղայնացման համար:
Չնայած 28 նմ տեխնոլոգիան արդիական չէ, այն ունի էական նշանակություն՝ որպես բաժանարար գիծ ցածրից միջին և միջինից բարձր դասի չիպերի միջև: Բացի առաջադեմ պրոցեսորներից, գրաֆիկական պրոցեսորներից և AI չիպերից, արդյունաբերական կարգի չիպերի մեծ մասն ապավինում է 28 նմ կամ ավելի բարձր տեխնոլոգիաներին:
Աշխատանքային սկզբունք. առաջընթաց խորը ուլտրամանուշակագույն լիտոգրաֆիայում
KrF (Krypton Fluoride) և ArF (Argon Fluoride) լիտոգրաֆիայի մեքենաները պատկանում են խորը ուլտրամանուշակագույն (DUV) լիտոգրաֆիայի կատեգորիային: Երկուսն էլ օգտագործում են հատուկ լույսի ալիքների երկարություններ, որոնք նախագծված են օպտիկական համակարգերի միջոցով սիլիկոնային վաֆլի ֆոտոռեզիստական շերտի վրա՝ փոխանցելով բարդ միացումների օրինաչափությունները:
KrF լիտոգրաֆիայի մեքենաներ. Օգտագործեք 248 նմ ալիքի երկարությամբ լույսի աղբյուր՝ հասնելով 110 նմ-ից ցածր լուծույթների, որը հարմար է ինտեգրալ շղթայի արտադրության տարբեր գործընթացների համար:
ArF Lithography Machines. Օգտագործեք 193 նմ ալիքի երկարության լույսի աղբյուր, որն առաջարկում է ավելի բարձր լուծաչափություն մինչև 65 նմ պրոցեսի տեխնոլոգիաների համար, ինչը հնարավորություն է տալիս ավելի նուրբ շղթաներ ստեղծել:
Տեխնոլոգիական նշանակություն. արդյունաբերության բարելավում և ինքնապահովում
Այս լիտոգրաֆիայի մեքենաների զարգացումը կարևոր իրադարձություն է կիսահաղորդիչների արտադրության առաջխաղացման և արդյունաբերական ինքնավարության ձեռքբերման գործում.
Տեխնիկական առաջընթաց. KrF և ArF լիտոգրաֆիայի մեքենաների հաջող ստեղծումը ընդգծում է զգալի առաջընթացը բարձրակարգ լիտոգրաֆիայի տեխնոլոգիայում՝ ապահովելով կայուն տեխնիկական աջակցություն կիսահաղորդիչների արտադրության համար:
Արդյունաբերության արդիականացում. բարձր ճշգրտության լիտոգրաֆիայի մեքենաները հնարավորություն են տալիս արտադրել ավելի բարդ և բարձր արդյունավետությամբ ինտեգրալ սխեմաներ՝ առաջացնելով նորարարություն կիսահաղորդիչների ողջ արժեքային շղթայում:
Տնտեսական և ազգային անվտանգություն. նվազեցնելով արտաքին տեխնոլոգիաներից կախվածությունը՝ այս մեքենաները ուժեղացնում են ներքին կիսահաղորդչային արդյունաբերության ինքնաբավությունը՝ ամրապնդելով տնտեսական և արդյունաբերական անվտանգությունը:
Ջրի սառեցնող սարք . Լիտոգրաֆիայի մեքենայի կայուն աշխատանքի բանալին
Ջերմաստիճանի ճշգրիտ վերահսկումը էական նշանակություն ունի լիտոգրաֆիայի գործընթացի որակի և արդյունավետության ապահովման համար: Ջրի սառեցնող սարքերը, որպես հովացման համակարգերի հիմնական բաղադրիչներ, կարևոր դեր են խաղում.
Սառեցման պահանջներ. Լիտոգրաֆիայի մեքենաները չափազանց զգայուն են ազդեցության ժամանակ ջերմաստիճանի տատանումների նկատմամբ, ինչը պահանջում է ջրի սառեցնող սարքեր, որոնք ապահովում են բարձր ճշգրիտ և կայուն ջերմաստիճանի վերահսկում:
Չիլլերների գործառույթները. Սառեցնող ջուրը շրջանառելով՝ չիլերները արդյունավետորեն ցրում են շահագործման ընթացքում առաջացած ջերմությունը՝ պահպանելով լազերային սարքավորումները օպտիմալ ջերմաստիճանի միջակայքում և ապահովելով լիտոգրաֆիայի գործընթացի ճշգրտությունն ու հուսալիությունը:
TEYU Chiller-ն առաջարկում է պրոֆեսիոնալ հովացման լուծումներ լիտոգրաֆիայի մեքենաների համար
TEYU CWUP սերիայի գերարագ լազերային չիլերները կարող են ապահովել լիտոգրաֆիայի մեքենաների ճշգրիտ և կայուն ջերմաստիճանի վերահսկում: Չիլեր CWUP-20ANP մոդելը հասնում է ±0,08°C ջերմաստիճանի կայունության՝ ապահովելով բարձր արդյունավետ սառեցում ճշգրիտ արտադրության համար:
Կիսահաղորդիչների արտադրության ճշգրիտ աշխարհում վիմագրման մեքենաները միկրոսխեմաների նախշերի փոխանցման հիմնական սարքերն են: Տեխնոլոգիաների առաջընթացով, կրիպտոն ֆտորիդով լիտոգրաֆիայի մեքենան և արգոն ֆտորիդով լիտոգրաֆիայի մեքենան դարձել են կարևոր ուժ՝ իրենց գերազանց կատարողականությամբ արդյունաբերության զարգացմանը նպաստելու համար:
Մենք այստեղ ենք ձեզ համար, երբ դուք մեր կարիքն ունեք:
Խնդրում ենք լրացնել ձևը մեզ հետ կապվելու համար, և մենք ուրախ կլինենք օգնել ձեզ:
, 
TEYU S&A Chiller-ը հիմնադրվել է 2002 թվականին՝ սառնարանների արտադրության 23 տարվա փորձով, և այժմ ճանաչված է որպես սառեցման տեխնոլոգիաների առաջատար և լազերային արդյունաբերության հուսալի գործընկեր։
Հեղինակային իրավունք © 2025 TEYU S&A Chiller - Բոլոր իրավունքները պաշտպանված են։
