Kontrol Suhu Tepat untuk Sistem Laser dan Aplikasi Industri Sejak 2002
Bahasa
Pedoman MIIT 2024 mempromosikan lokalisasi proses penuh untuk produksi chip 28nm+, tonggak penting dalam teknologi. Kemajuan utama meliputi mesin litografi KrF dan ArF, yang memungkinkan sirkuit presisi tinggi dan meningkatkan kemandirian industri. Kontrol suhu yang tepat sangat penting untuk proses ini, dengan pendingin air TEYU CWUP yang memastikan kinerja yang stabil dalam produksi semikonduktor.
Dalam beberapa bulan terakhir, Kementerian Perindustrian dan Teknologi Informasi (MIIT) menerbitkan "Pedoman untuk Promosi dan Penerapan Peralatan Teknis Utama (Set) Pertama (Edisi 2024)". Ini membuka jalan bagi lokalisasi proses penuh dari produksi chip yang matang untuk node di atas 28nm!
Meskipun teknologi 28nm tidak mutakhir, teknologi ini memegang peranan penting sebagai garis pemisah antara chip kelas bawah hingga menengah dan kelas menengah hingga kelas atas. Selain CPU, GPU, dan chip AI yang canggih, sebagian besar chip kelas industri mengandalkan teknologi 28nm atau yang lebih tinggi.
Prinsip Kerja: Kemajuan dalam Litografi Ultraviolet Dalam
Mesin litografi KrF (Kripton Fluorida) dan ArF (Argon Fluorida) termasuk dalam kategori litografi Ultraviolet Dalam (DUV). Keduanya memanfaatkan panjang gelombang cahaya tertentu yang diproyeksikan melalui sistem optik ke lapisan fotoresist wafer silikon, yang mentransfer pola sirkuit yang rumit.
Mesin Litografi KrF: Menggunakan sumber cahaya dengan panjang gelombang 248 nm, mencapai resolusi di bawah 110 nm, cocok untuk berbagai proses manufaktur sirkuit terpadu.
Mesin Litografi ArF: Menggunakan sumber cahaya dengan panjang gelombang 193 nm, menawarkan resolusi lebih tinggi untuk teknologi proses sub-65 nm, memungkinkan fabrikasi sirkuit yang lebih halus.
Signifikansi Teknologi: Peningkatan Industri dan Kemandirian
Pengembangan mesin litografi ini menandai tonggak penting dalam memajukan manufaktur semikonduktor dan mencapai otonomi industri:
Terobosan Teknis: Keberhasilan penciptaan mesin litografi KrF dan ArF menyoroti kemajuan signifikan dalam teknologi litografi canggih, menyediakan dukungan teknis yang kuat untuk manufaktur semikonduktor.
Peningkatan Industri: Mesin litografi presisi tinggi memungkinkan produksi sirkuit terpadu yang lebih kompleks dan berkinerja tinggi, mendorong inovasi di seluruh rantai nilai semikonduktor.
Keamanan Ekonomi dan Nasional: Dengan mengurangi ketergantungan pada teknologi asing, mesin-mesin ini memperkuat kemandirian industri semikonduktor dalam negeri, sehingga memperkuat keamanan ekonomi dan industri.
Water Chiller : Kunci Kinerja Mesin Litografi yang Stabil
Kontrol suhu yang tepat sangat penting untuk memastikan kualitas dan hasil dari proses litografi. Pendingin air, sebagai komponen inti dari sistem pendingin, memainkan peran penting:
Persyaratan Pendinginan: Mesin litografi sangat sensitif terhadap fluktuasi suhu selama pemaparan, memerlukan pendingin air yang memberikan kontrol suhu yang sangat akurat dan stabil.
Fungsi Pendingin: Dengan mensirkulasikan air pendingin, pendingin secara efektif menghilangkan panas yang dihasilkan selama operasi, menjaga peralatan laser dalam kisaran suhu optimal dan memastikan akurasi dan keandalan dalam proses litografi.
TEYU Chiller Menawarkan Solusi Pendinginan Profesional untuk Mesin Litografi
Pendingin laser ultracepat seri TEYU CWUP dapat memberikan kontrol suhu yang presisi dan stabil untuk mesin litografi. Model pendingin CWUP-20ANP mencapai stabilitas suhu ±0,08°C, menghasilkan pendinginan yang sangat efisien untuk produksi presisi.
Dalam dunia manufaktur semikonduktor, mesin litografi merupakan perangkat inti untuk transfer pola sirkuit mikro. Dengan kemajuan teknologi, mesin litografi kripton fluorida dan mesin litografi argon fluorida telah menjadi kekuatan penting untuk mendorong perkembangan industri dengan kinerjanya yang luar biasa.
Kami siap membantu Anda saat Anda membutuhkan.
Silakan lengkapi formulir untuk menghubungi kami, dan kami akan dengan senang hati membantu Anda.
TEYU S&A Chiller didirikan pada tahun 2002 dengan 23 tahun pengalaman dalam manufaktur chiller, dan sekarang diakui sebagai pelopor teknologi pendingin dan mitra terpercaya dalam industri laser.
Hak Cipta © 2025 TEYU S&A Chiller - Semua Hak Dilindungi Undang-Undang.
