Nákvæm hitastýring fyrir leysikerfi og iðnaðarforrit frá árinu 2002
Tungumál
2024 viðmiðunarreglur MIIT stuðla að staðfærslu í fullu ferli fyrir 28nm+ flísaframleiðslu, mikilvægur tækni áfangi. Helstu framfarir eru KrF og ArF steinþrykkjavélar, sem gera rásir með mikilli nákvæmni kleift og auka sjálfstraust iðnaðarins. Nákvæm hitastýring er nauðsynleg fyrir þessa ferla, þar sem TEYU CWUP vatnskælarar tryggja stöðugan árangur í hálfleiðaraframleiðslu.
Undanfarna mánuði gaf iðnaðar- og upplýsingatækniráðuneytið (MIIT) út „Leiðbeiningar um kynningu og notkun fyrsta (setts) helstu tæknibúnaðar (2024 útgáfa)“. Þetta ryður brautina fyrir staðfærslu í fullu ferli á þroskaðri flísaframleiðslu fyrir hnúta yfir 28nm!
Þrátt fyrir að 28nm tækni sé ekki háþróuð, þá hefur hún verulegu máli sem skilin á milli lág-til-miðja-enda og mið-til-há-enda flísar. Fyrir utan háþróaða örgjörva, GPU og gervigreindarflögur, treysta flestir iðnaðarflögur á 28nm eða hærri tækni.
Vinnuregla: Framfarir í djúpum útfjólubláum lithography
KrF (Kryptónflúoríð) og ArF (argonflúoríð) steinþrykkjavélar falla undir flokk djúpútfjólubláa (DUV) steinþrykkja. Báðir nýta sérstakar ljósbylgjulengdir sem varpað er í gegnum sjónkerfi á ljósþolslag kísilskífunnar og flytja flókið hringrásarmynstur.
KrF Lithography Machines: Notaðu 248nm bylgjulengd ljósgjafa, náðu upplausn undir 110nm, hentugur fyrir ýmsa samþætta hringrásarframleiðslu.
ArF Lithography Machines: Notaðu 193nm bylgjulengd ljósgjafa, sem býður upp á hærri upplausn fyrir undir-65nm vinnslutækni, sem gerir kleift að búa til fínni rafrásir.
Tæknileg þýðing: Uppfærsla iðnaðarins og sjálfsbjargarviðleitni
Þróun þessara steinþrykkvéla markar stóran áfanga í því að efla hálfleiðaraframleiðslu og ná sjálfræði í iðnaði:
Tæknileg bylting: Vel heppnuð sköpun KrF og ArF steinþrykksvéla undirstrikar verulegar framfarir í háþróaðri steinþrykkjatækni, sem veitir öflugan tæknilegan stuðning við hálfleiðaraframleiðslu.
Iðnaðaruppfærsla: Hánákvæmar steinþrykkjavélar gera kleift að framleiða flóknari og afkastameiri samþættum hringrásum, sem knýr nýsköpun yfir alla virðiskeðju hálfleiðara.
Efnahags- og þjóðaröryggi: Með því að draga úr ósjálfstæði á erlendri tækni, styrkja þessar vélar sjálfsbjargarviðleitni innlends hálfleiðaraiðnaðar, og efla efnahagslegt og iðnaðaröryggi.
Water Chiller : Lykillinn að stöðugri frammistöðu steinþrykksvélar
Nákvæm hitastýring er nauðsynleg til að tryggja gæði og afrakstur steinþrykkjaferlisins. Vatnskælar, sem kjarnahlutir kælikerfa, gegna mikilvægu hlutverki:
Kælikröfur: Lithography vélar eru afar viðkvæmar fyrir hitasveiflum meðan á váhrifum stendur, sem krefst vatnskælivéla sem veita mjög nákvæma og stöðuga hitastýringu.
Aðgerðir kælitækja: Með því að dreifa kælivatni dreifa kælivélum hita sem myndast við notkun á áhrifaríkan hátt, halda leysibúnaði innan ákjósanlegs hitastigssviðs og tryggja nákvæmni og áreiðanleika í steinþrykkjaferlinu.
TEYU Chiller býður upp á faglegar kælilausnir fyrir steinþrykkvélar
TEYU CWUP röð ofurhröð leysikælitæki geta veitt nákvæma og stöðuga hitastýringu fyrir steinþrykkjavélar. Kælivélin CWUP-20ANP nær hitastöðugleika upp á ±0,08°C, sem skilar mjög skilvirkri kælingu fyrir nákvæma framleiðslu.
Í hinum nákvæma heimi hálfleiðaraframleiðslu eru steinþrykkjavélar kjarnatækin til að flytja örrásarmynstur. Með framþróun tækninnar hafa krypton flúoríð steinþrykkjavél og argon flúor steinþrykkvél orðið mikilvægur kraftur til að stuðla að þróun iðnaðarins með framúrskarandi frammistöðu sinni.
Við erum hér fyrir þig þegar þú þarft á okkur að halda.
Vinsamlegast fylltu út eyðublaðið til að hafa samband við okkur og við munum vera fús til að hjálpa þér.
TEYU S&A Chiller var stofnað árið 2002 með 23 ára reynslu í framleiðslu á kælum og er nú viðurkennt sem brautryðjandi í kælitækni og áreiðanlegur samstarfsaðili í leysigeiranum.
Höfundarréttur © 2025 TEYU S&A Chiller - Allur réttur áskilinn.
