Notizie sul laser
Controllo preciso della temperatura per sistemi laser e applicazioni industriali dal 2002
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Le linee guida 2024 del MIIT promuovono la localizzazione completa del processo per la produzione di chip a 28 nm+, una pietra miliare tecnologica cruciale. I principali progressi includono macchine litografiche KrF e ArF, che consentono circuiti ad alta precisione e aumentano l'autosufficienza del settore. Il controllo preciso della temperatura è fondamentale per questi processi, con i refrigeratori ad acqua TEYU CWUP che garantiscono prestazioni stabili nella produzione di semiconduttori.
Negli ultimi mesi, il Ministero dell'Industria e dell'Informazione Tecnologica (MIIT) ha pubblicato le "Linee guida per la promozione e l'applicazione delle prime (serie) principali attrezzature tecniche (edizione 2024)". Ciò apre la strada alla localizzazione completa del processo di produzione di chip maturi per nodi superiori a 28 nm!
Sebbene la tecnologia a 28 nm non sia all'avanguardia, ha un'importanza significativa come linea di demarcazione tra chip di fascia bassa-media e medio-alta. A parte CPU, GPU e chip AI avanzati, la maggior parte dei chip di livello industriale si basa su tecnologie a 28 nm o superiori.
Principio di funzionamento: progressi nella litografia ultravioletta profonda
Le macchine litografiche KrF (Krypton Fluoride) e ArF (Argon Fluoride) rientrano nella categoria della litografia Deep Ultraviolet (DUV). Entrambe utilizzano specifiche lunghezze d'onda luminose proiettate tramite sistemi ottici sullo strato di fotoresist di un wafer di silicio, trasferendo intricati schemi di circuiti.
Macchine litografiche KrF: utilizzano una sorgente luminosa con lunghezza d'onda di 248 nm, raggiungendo risoluzioni inferiori a 110 nm, adatte a vari processi di produzione di circuiti integrati.
Macchine litografiche ArF: utilizzano una sorgente luminosa con lunghezza d'onda di 193 nm, offrendo una risoluzione più elevata per tecnologie di processo inferiori a 65 nm, consentendo la fabbricazione di circuiti più fini.
Importanza tecnologica: aggiornamento del settore e autosufficienza
Lo sviluppo di queste macchine litografiche segna una pietra miliare importante nel progresso della produzione di semiconduttori e nel raggiungimento dell'autonomia industriale:
Innovazioni tecniche: la creazione di successo delle macchine litografiche KrF e ArF evidenzia un progresso significativo nella tecnologia litografica di fascia alta, fornendo un solido supporto tecnico per la produzione di semiconduttori.
Aggiornamento del settore: le macchine litografiche ad alta precisione consentono la produzione di circuiti integrati più complessi e ad alte prestazioni, stimolando l'innovazione lungo l'intera catena del valore dei semiconduttori.
Sicurezza economica e nazionale: riducendo la dipendenza dalla tecnologia straniera, queste macchine rafforzano l'autosufficienza dell'industria nazionale dei semiconduttori, rafforzando la sicurezza economica e industriale.
Refrigeratore d'acqua : la chiave per prestazioni stabili della macchina litografica
Un controllo preciso della temperatura è essenziale per garantire la qualità e la resa del processo litografico. I refrigeratori d'acqua, in quanto componenti principali dei sistemi di raffreddamento, svolgono un ruolo fondamentale:
Requisiti di raffreddamento: le macchine litografiche sono estremamente sensibili alle fluttuazioni di temperatura durante l'esposizione, per cui necessitano di refrigeratori ad acqua che garantiscano un controllo della temperatura estremamente preciso e stabile.
Funzioni dei refrigeratori: facendo circolare l'acqua di raffreddamento, i refrigeratori dissipano efficacemente il calore generato durante il funzionamento, mantenendo l'apparecchiatura laser entro un intervallo di temperatura ottimale e garantendo precisione e affidabilità nel processo litografico.
TEYU Chiller offre soluzioni di raffreddamento professionali per macchine litografiche
I refrigeratori laser ultraveloci della serie TEYU CWUP possono fornire un controllo della temperatura preciso e stabile per le macchine litografiche. Il modello di refrigeratore CWUP-20ANP raggiunge una stabilità della temperatura di ±0,08°C, offrendo un raffreddamento altamente efficiente per la produzione di precisione.
Nel mondo preciso della produzione di semiconduttori, le macchine litografiche sono i dispositivi principali per il trasferimento di pattern di microcircuiti. Con l'avanzamento della tecnologia, la macchina litografica al fluoruro di kripton e la macchina litografica al fluoruro di argon sono diventate una forza importante per promuovere lo sviluppo del settore con le loro eccellenti prestazioni.
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