ניוז לייזר
בקרת טמפרטורה מדויקת עבור מערכות לייזר ויישומים תעשייתיים מאז 2002
שפה
ההנחיות של MIIT לשנת 2024 מקדמות לוקליזציה של תהליך מלא לייצור שבבים של 28nm+, אבן דרך טכנולוגית חיונית. ההתקדמות העיקריות כוללות מכונות ליתוגרפיה KrF ו-ArF, המאפשרות מעגלים בעלי דיוק גבוה ומגבירות את האמון העצמי בתעשייה. בקרת טמפרטורה מדויקת חיונית לתהליכים אלה, כאשר מצנני מים TEYU CWUP מבטיחים ביצועים יציבים בייצור מוליכים למחצה.
בחודשים האחרונים פרסם משרד התעשייה וטכנולוגיית המידע (MIIT) את "הנחיות לקידום ויישום של ציוד טכני ראשוני (סט) (מהדורת 2024)". זה סולל את הדרך ללוקליזציה של תהליך מלא של ייצור שבבים בוגרים עבור צמתים מעל 28nm!
למרות שטכנולוגיית 28nm אינה מתקדמת, יש לה חשיבות משמעותית כקו ההפרדה בין שבבים מקצה נמוך לאמצע ובינוני עד גבוה. מלבד CPUs, GPUs ושבבי AI מתקדמים, רוב השבבים בדרגה תעשייתית מסתמכים על טכנולוגיות 28nm ומעלה.
עקרון עבודה: התקדמות בליטוגרפיה אולטרה סגולה עמוקה
מכונות ליתוגרפיה KrF (קריפטון פלואוריד) ו-ArF (ארגון פלואוריד) נכללות בקטגוריה של ליתוגרפיה עמוקה אולטרה סגולה (DUV). שניהם מנצלים אורכי גל אור ספציפיים המוקרנים דרך מערכות אופטיות על שכבת הפוטו-רזיסט של רקיקת סיליקון, ומעבירים דפוסי מעגלים מורכבים.
מכונות ליטוגרפיה KrF: השתמשו במקור אור באורך גל של 248 ננומטר, תוך השגת רזולוציות מתחת ל-110 ננומטר, המתאימים לתהליכי ייצור מעגלים משולבים שונים.
מכונות ליטוגרפיה ArF: השתמשו במקור אור באורך גל של 193nm, המציע רזולוציה גבוהה יותר עבור טכנולוגיות תהליך תת 65nm, המאפשרות ייצור של מעגלים עדינים יותר.
משמעות טכנולוגית: שדרוג התעשייה והסתמכות עצמית
הפיתוח של מכונות ליתוגרפיה אלה מסמן אבן דרך מרכזית בקידום ייצור מוליכים למחצה והשגת אוטונומיה תעשייתית:
פריצות דרך טכניות: היצירה המוצלחת של מכונות ליתוגרפיה KrF ו-ArF מדגישה התקדמות משמעותית בטכנולוגיית ליטוגרפיה מתקדמת, המספקת תמיכה טכנית חזקה לייצור מוליכים למחצה.
שדרוג תעשייתי: מכונות ליתוגרפיה ברמת דיוק גבוהה מאפשרות ייצור של מעגלים משולבים מורכבים ובעלי ביצועים גבוהים יותר, המניעים חדשנות בכל שרשרת הערך של המוליכים למחצה.
ביטחון כלכלי ולאומי: על ידי הפחתת התלות בטכנולוגיה זרה, מכונות אלו מחזקות את כושר ההסתפקות העצמית של תעשיית המוליכים למחצה המקומית, ומחזקות את הביטחון הכלכלי והתעשייתי.
צ'ילר מים : המפתח לביצועי מכונת ליטוגרפיה יציבה
בקרת טמפרטורה מדויקת חיונית להבטחת האיכות והתפוקה של תהליך הליטוגרפיה. מצנני מים, כמרכיבי ליבה של מערכות קירור, ממלאים תפקיד חיוני:
דרישות קירור: מכונות ליטוגרפיה רגישות ביותר לתנודות טמפרטורה במהלך החשיפה, ומחייבות מקררי מים המספקים בקרת טמפרטורה מדויקת ויציבה ביותר.
פונקציות של צ'ילרים: על ידי זרימת מי קירור, צ'ילרים מפזרים ביעילות חום שנוצר במהלך הפעולה, שומרים על ציוד לייזר בטווח טמפרטורות אופטימלי ומבטיחים דיוק ואמינות בתהליך הליטוגרפיה.
TEYU Chiller מציע פתרונות קירור מקצועיים למכונות ליטוגרפיה
מקררי לייזר מהירים במיוחד מסדרת TEYU CWUP יכולים לספק בקרת טמפרטורה מדויקת ויציבה עבור מכונות ליתוגרפיה. הצ'ילר מדגם CWUP-20ANP משיג יציבות טמפרטורה של ±0.08 מעלות צלזיוס, ומספק קירור יעיל ביותר לייצור מדויק.
בעולם המדויק של ייצור מוליכים למחצה, מכונות ליתוגרפיה הן מכשירי הליבה להעברת דפוסי מיקרו-מעגלים. עם התקדמות הטכנולוגיה, מכונת ליטוגרפיה קריפטון פלואוריד ומכונת ליטוגרפיה של ארגון פלואוריד הפכו לכוח חשוב לקידום התפתחות התעשייה עם הביצועים המצוינים שלהן.
אנחנו כאן בשבילך כשאתה צריך אותנו.
אנא מלא את הטופס כדי ליצור איתנו קשר, ונשמח לעזור לך.
חברת TEYU S&A Chiller נוסדה בשנת 2002 עם 23 שנות ניסיון בייצור צ'ילרים, וכיום מוכרת כחלוצה בטכנולוגיית קירור ושותפה אמינה בתעשיית הלייזר.
זכויות יוצרים © 2025 TEYU S&A Chiller - כל הזכויות שמורות.
