Pawarta Anyar: MIIT Ngembangake Mesin Litografi DUV Domestik kanthi Akurasi Overlay ≤8nm

Ing sawetara wulan pungkasan, Kementerian Perindustrian lan Teknologi Informasi (MIIT) ngetokake "Pedoman kanggo Promosi lan Aplikasi Peralatan Teknis Utama (Set) Pertama (Edisi 2024)". Iki mbukak dalan kanggo lokalisasi proses lengkap manufaktur chip diwasa kanggo simpul ing ndhuwur 28nm!

Senajan teknologi 28nm dudu teknologi paling anyar, nanging nduweni peran penting minangka garis pamisah antarane chip kelas rendah nganti menengah lan kelas menengah nganti dhuwur. Kejaba CPU, GPU, lan chip AI sing canggih, umume chip kelas industri gumantung marang teknologi 28nm utawa sing luwih dhuwur.

Prinsip Kerja: Kemajuan ing Litografi Ultraviolet Jero

Mesin litografi KrF (Krypton Fluoride) lan ArF (Argon Fluoride) kalebu ing kategori litografi Deep Ultraviolet (DUV). Kalorone nggunakake dawa gelombang cahya tartamtu sing diproyeksikan liwat sistem optik menyang lapisan photoresist wafer silikon, nransfer pola sirkuit sing rumit.

Mesin Litografi KrF: Gunakake sumber cahya dawa gelombang 248nm, kanggo nggayuh resolusi ing ngisor 110nm, cocok kanggo macem-macem proses manufaktur sirkuit terpadu.

Mesin Litografi ArF: Nggunakake sumber cahya dawa gelombang 193nm, sing nawakake resolusi sing luwih dhuwur kanggo teknologi proses sub-65nm, sing ngidini fabrikasi sirkuit sing luwih alus.

Pentingnya Teknologi: Peningkatan Industri lan Kemandirian

Pangembangan mesin litografi iki nandhani tonggak sejarah utama kanggo majuake manufaktur semikonduktor lan nggayuh otonomi industri:

Terobosan Teknis: Kasuksesan nggawe mesin litografi KrF lan ArF nyoroti kemajuan sing signifikan ing teknologi litografi kelas atas, nyedhiyakake dhukungan teknis sing kuat kanggo manufaktur semikonduktor.

Peningkatan Industri: Mesin litografi presisi tinggi ngaktifake produksi sirkuit terpadu sing luwih kompleks lan berkinerja tinggi, sing ndorong inovasi ing kabeh rantai nilai semikonduktor.

Keamanan Ekonomi lan Nasional: Kanthi ngurangi katergantungan marang teknologi manca, mesin-mesin iki nguatake swasembada industri semikonduktor domestik, nguatake keamanan ekonomi lan industri.

Pendingin Banyu : Kunci Kinerja Mesin Litografi sing Stabil

Kontrol suhu sing tepat iku penting banget kanggo njamin kualitas lan asil saka proses litografi. Pendingin banyu, minangka komponen inti sistem pendinginan, nduweni peran penting:

Syarat Pendinginan: Mesin litografi sensitif banget marang fluktuasi suhu sajrone paparan, mula mbutuhake pendingin banyu sing nyedhiyakake kontrol suhu sing akurat lan stabil.

Fungsi Chiller: Kanthi sirkulasi banyu pendingin, chiller kanthi efektif nyebarake panas sing diasilake sajrone operasi, njaga peralatan laser ing kisaran suhu sing optimal lan njamin akurasi lan linuwih ing proses litografi.

TEYU Chiller Nawakake Solusi Pendinginan Profesional kanggo Mesin Litografi

TEYU Pendingin laser ultracepat seri CWUP bisa nyedhiyakake kontrol suhu sing tepat lan stabil kanggo mesin litografi. Model pendingin CWUP-20ANP entuk stabilitas suhu ±0,08°C, sing nyedhiyakake pendinginan sing efisien banget kanggo manufaktur sing presisi.

Ing jagad manufaktur semikonduktor, mesin litografi minangka piranti inti kanggo transfer pola sirkuit mikro. Kanthi kemajuan teknologi, mesin litografi krypton fluoride lan mesin litografi argon fluoride wis dadi kekuatan penting kanggo ningkatake pangembangan industri kanthi kinerja sing apik banget.