ლაზერული ამბები
ლაზერული სისტემებისა და სამრეწველო გამოყენებისთვის ზუსტი ტემპერატურის კონტროლი 2002 წლიდან
Ენა
MIIT-ის 2024 გაიდლაინები ხელს უწყობს სრულ პროცესის ლოკალიზაციას 28 ნმ+ ჩიპების წარმოებისთვის, რაც გადამწყვეტი ტექნიკური ეტაპია. ძირითადი მიღწევები მოიცავს KrF და ArF ლითოგრაფიის აპარატებს, რომლებიც უზრუნველყოფენ მაღალი სიზუსტის სქემებს და ზრდის ინდუსტრიის თვითდამოკიდებულებას. ტემპერატურის ზუსტი კონტროლი სასიცოცხლოდ მნიშვნელოვანია ამ პროცესებისთვის, TEYU CWUP წყლის ჩილერებით, რომლებიც უზრუნველყოფენ სტაბილურ მუშაობას ნახევარგამტარების წარმოებაში.
ბოლო თვეებში, მრეწველობისა და საინფორმაციო ტექნოლოგიების სამინისტრომ (MIIT) გამოსცა „სახელმძღვანელო ძირითადი ტექნიკური აღჭურვილობის პოპულარიზაციისა და გამოყენებისათვის (2024 წლის გამოცემა)“. ეს გზას უხსნის სრულფასოვანი ჩიპების წარმოების ლოკალიზაციას 28 ნმ-ზე მეტი კვანძებისთვის!
მიუხედავად იმისა, რომ 28 ნმ ტექნოლოგია არ არის უახლესი, მას აქვს მნიშვნელოვანი მნიშვნელობა, როგორც გამყოფი ხაზი დაბალი და საშუალო დონის ჩიპებს შორის. მოწინავე პროცესორების, GPU-ების და AI ჩიპების გარდა, ინდუსტრიული კლასის ჩიპების უმეტესობა ეყრდნობა 28 ნმ ან უფრო მაღალ ტექნოლოგიებს.
მუშაობის პრინციპი: მიღწევები ღრმა ულტრაიისფერ ლითოგრაფიაში
KrF (Krypton Fluoride) და ArF (Argon Fluoride) ლითოგრაფიული აპარატები მიეკუთვნება ღრმა ულტრაიისფერი (DUV) ლითოგრაფიის კატეგორიას. ორივე იყენებს სინათლის ტალღის სპეციფიკურ სიგრძეებს, რომლებიც დაპროექტებულია ოპტიკური სისტემების მეშვეობით სილიკონის ვაფლის ფოტორეზისტულ ფენაზე, გადასცემენ რთულ სქემას.
KrF ლითოგრაფიის აპარატები: გამოიყენეთ 248 ნმ ტალღის სიგრძის სინათლის წყარო, 110 ნმ-ზე დაბლა გარჩევადობის მისაღწევად, რომელიც შესაფერისია ინტეგრირებული მიკროსქემის წარმოების სხვადასხვა პროცესებისთვის.
ArF ლითოგრაფიის მანქანები: გამოიყენეთ 193 ნმ ტალღის სიგრძის სინათლის წყარო, რომელიც გთავაზობთ უფრო მაღალ გარჩევადობას 65 ნმ პროცესის ტექნოლოგიებისთვის, რაც შესაძლებელს გახდის უფრო თხელი სქემების დამზადებას.
ტექნოლოგიური მნიშვნელობა: ინდუსტრიის განახლება და თვითდამკვიდრება
ამ ლითოგრაფიული მანქანების განვითარება წარმოადგენს მთავარ ეტაპს ნახევარგამტარების წარმოების წინსვლისა და სამრეწველო ავტონომიის მიღწევაში:
ტექნიკური მიღწევები: KrF და ArF ლითოგრაფიული მანქანების წარმატებული შექმნა ხაზს უსვამს მნიშვნელოვან პროგრესს მაღალი დონის ლითოგრაფიის ტექნოლოგიაში, რაც უზრუნველყოფს მტკიცე ტექნიკურ მხარდაჭერას ნახევარგამტარების წარმოებისთვის.
მრეწველობის განახლება: მაღალი სიზუსტის ლითოგრაფიული აპარატები იძლევა უფრო რთული და მაღალი ხარისხის ინტეგრირებული სქემების წარმოებას, რაც ინოვაციას განაპირობებს ნახევარგამტარების ღირებულების მთელ ჯაჭვში.
ეკონომიკური და ეროვნული უსაფრთხოება: უცხოურ ტექნოლოგიებზე დამოკიდებულების შემცირებით, ეს მანქანები აძლიერებს შიდა ნახევარგამტარული ინდუსტრიის თვითკმარობას, აძლიერებს ეკონომიკურ და სამრეწველო უსაფრთხოებას.
წყლის ჩილერი : გასაღები სტაბილური ლითოგრაფიული აპარატის მუშაობისთვის
ტემპერატურის ზუსტი კონტროლი აუცილებელია ლითოგრაფიის პროცესის ხარისხისა და პროდუქტიულობის უზრუნველსაყოფად. წყლის ჩილერები, როგორც გაგრილების სისტემების ძირითადი კომპონენტები, მნიშვნელოვან როლს ასრულებენ:
გაგრილების მოთხოვნები: ლითოგრაფიული აპარატები უკიდურესად მგრძნობიარეა ტემპერატურის მერყეობის მიმართ ექსპოზიციის დროს, რაც საჭიროებს წყლის ჩილერებს, რომლებიც უზრუნველყოფენ ტემპერატურის მაღალ ზუსტ და სტაბილურ კონტროლს.
ჩილერების ფუნქციები: გამაგრილებელი წყლის მიმოქცევით, ჩილერები ეფექტურად ანაწილებენ ექსპლუატაციის დროს წარმოქმნილ სითბოს, ინარჩუნებენ ლაზერულ აღჭურვილობას ოპტიმალურ ტემპერატურულ დიაპაზონში და უზრუნველყოფენ სიზუსტეს და საიმედოობას ლითოგრაფიის პროცესში.
TEYU Chiller გთავაზობთ პროფესიონალურ გაგრილების გადაწყვეტილებებს ლითოგრაფიული მანქანებისთვის
TEYU CWUP სერიის ულტრასწრაფი ლაზერული ჩილერები უზრუნველყოფენ ზუსტი და სტაბილური ტემპერატურის კონტროლს ლითოგრაფიული მანქანებისთვის. ჩილერის მოდელი CWUP-20ANP აღწევს ტემპერატურულ სტაბილურობას ±0,08°C, უზრუნველყოფს მაღალეფექტურ გაგრილებას ზუსტი წარმოებისთვის.
ნახევარგამტარების წარმოების ზუსტი სამყაროში, ლითოგრაფიული მანქანები არის ძირითადი მოწყობილობები მიკროსქემის შაბლონების გადასაცემად. ტექნოლოგიის წინსვლასთან ერთად, კრიპტონის ფტორიდის ლითოგრაფიის მანქანა და არგონის ფტორიდის ლითოგრაფიის აპარატი გახდა მნიშვნელოვანი ძალა, რათა ხელი შეუწყოს ინდუსტრიის განვითარებას მათი შესანიშნავი შესრულებით.
ჩვენ აქ ვართ თქვენთვის, როცა დაგჭირდებათ.
გთხოვთ შეავსოთ ფორმა ჩვენთან დასაკავშირებლად და მოხარული ვიქნებით დაგეხმაროთ.
, 
TEYU S&A Chiller დაარსდა 2002 წელს, 23 წლიანი გამოცდილებით გამაგრილებელი მოწყობილობების წარმოებაში და ამჟამად აღიარებულია, როგორც გაგრილების ტექნოლოგიების პიონერი და საიმედო პარტნიორი ლაზერული ინდუსტრიის სფეროში.
საავტორო უფლება © 2025 TEYU S&A Chiller - ყველა უფლება დაცულია.
