ព័ត៌មានថ្មីៗ៖ MIIT ផ្សព្វផ្សាយម៉ាស៊ីនបោះពុម្ពលីថូក្រាហ្វី DUV ក្នុងស្រុកដែលមានភាពត្រឹមត្រូវនៃការដាក់ស្រទាប់ ≤8nm

ក្នុងរយៈពេលប៉ុន្មានខែថ្មីៗនេះ ក្រសួងឧស្សាហកម្ម និងបច្ចេកវិទ្យាព័ត៌មាន (MIIT) បានចេញ "គោលការណ៍ណែនាំសម្រាប់ការលើកកម្ពស់ និងការអនុវត្តឧបករណ៍បច្ចេកទេសសំខាន់ៗដំបូង (សំណុំ) (ការបោះពុម្ពឆ្នាំ ២០២៤)"។ នេះបើកផ្លូវសម្រាប់ការធ្វើមូលដ្ឋានីយកម្មដំណើរការពេញលេញនៃការផលិតបន្ទះឈីបចាស់ទុំសម្រាប់ណូតលើសពី 28nm!

ទោះបីជាបច្ចេកវិទ្យា 28nm មិនមែនជាបច្ចេកវិទ្យាទំនើបក៏ដោយ វាមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់ជាខ្សែបែងចែករវាងបន្ទះឈីបកម្រិតទាបទៅមធ្យម និងបន្ទះឈីបកម្រិតមធ្យមទៅខ្ពស់។ ក្រៅពីស៊ីភីយូ ក្រាហ្វិកកាត និងបន្ទះឈីប AI កម្រិតខ្ពស់ បន្ទះឈីបថ្នាក់ឧស្សាហកម្មភាគច្រើនពឹងផ្អែកលើបច្ចេកវិទ្យា 28nm ឬខ្ពស់ជាងនេះ។

គោលការណ៍ធ្វើការ៖ ការរីកចម្រើនក្នុងការបោះពុម្ពលីតូក្រាហ្វីអ៊ុលត្រាវីយូឡេជ្រៅ

ម៉ាស៊ីន​លីតូក្រាហ្វី KrF (គ្រីបតុន ហ្វ្លុយអូរីត) និង ArF (អាហ្គុន ហ្វ្លុយអូរីត) ស្ថិតនៅក្រោមប្រភេទ​នៃ​លីតូក្រាហ្វី​អ៊ុលត្រាវីយូឡេ​ជ្រៅ (DUV)។ ទាំងពីរប្រើប្រាស់រលកពន្លឺជាក់លាក់ដែលត្រូវបានបញ្ចាំងតាមរយៈប្រព័ន្ធអុបទិកទៅលើស្រទាប់​ photoresist នៃបន្ទះស៊ីលីកុន ដោយផ្ទេរលំនាំសៀគ្វីស្មុគស្មាញ។

ម៉ាស៊ីន​បោះពុម្ព​លីថូក្រាហ្វី KrF៖ ប្រើ​ប្រភព​ពន្លឺ​រលក​ពន្លឺ 248nm ដែល​សម្រេច​បាន​គុណភាព​បង្ហាញ​ក្រោម 110nm ដែល​ស័ក្តិសម​សម្រាប់​ដំណើរការ​ផលិត​សៀគ្វី​រួម​ជាច្រើន​។

ម៉ាស៊ីន​បោះពុម្ព​លីថូក្រាហ្វី ArF៖ ប្រើ​ប្រភព​ពន្លឺ​រលក​ប្រវែង 193nm ដែល​ផ្តល់​នូវ​គុណភាព​បង្ហាញ​ខ្ពស់​ជាង​មុន​សម្រាប់​បច្ចេកវិទ្យា​ដំណើរការ​ក្រោម 65nm ដែល​អាច​ឱ្យ​មាន​ការ​ផលិត​សៀគ្វី​ល្អិតល្អន់​ជាង​មុន។

សារៈសំខាន់ខាងបច្ចេកវិទ្យា៖ ការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវឧស្សាហកម្ម និងការពឹងផ្អែកលើខ្លួនឯង

ការអភិវឌ្ឍម៉ាស៊ីនលីតូក្រាហ្វីទាំងនេះ គឺជាព្រឹត្តិការណ៍ដ៏សំខាន់មួយក្នុងការជំរុញការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងសម្រេចបាននូវស្វ័យភាពឧស្សាហកម្ម៖

វឌ្ឍនភាព​បច្ចេកទេស៖ ការបង្កើត​ម៉ាស៊ីន​បោះពុម្ព​លីតូក្រាហ្វី KrF និង ArF ដោយ​ជោគជ័យ​បាន​បង្ហាញ​ពី​វឌ្ឍនភាព​គួរ​ឲ្យ​កត់សម្គាល់​ក្នុង​បច្ចេកវិទ្យា​លីតូក្រាហ្វី​លំដាប់​ខ្ពស់ ដោយ​ផ្តល់​ការគាំទ្រ​បច្ចេកទេស​យ៉ាង​រឹងមាំ​សម្រាប់​ការផលិត​ស៊ីមីកុងដុកទ័រ។

ការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនៃឧស្សាហកម្ម៖ ម៉ាស៊ីនលីតូក្រាហ្វីដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់អាចឱ្យផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាដែលស្មុគស្មាញ និងមានដំណើរការខ្ពស់ជាងមុន ដែលជំរុញការច្នៃប្រឌិតនៅទូទាំងខ្សែសង្វាក់តម្លៃស៊ីមីកុងដុកទ័រទាំងមូល។

សេដ្ឋកិច្ច និងសន្តិសុខជាតិ៖ តាមរយៈការកាត់បន្ថយការពឹងផ្អែកលើបច្ចេកវិទ្យាបរទេស ម៉ាស៊ីនទាំងនេះពង្រឹងភាពគ្រប់គ្រាន់ដោយខ្លួនឯងរបស់ឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រក្នុងស្រុក ដែលជំរុញសន្តិសុខសេដ្ឋកិច្ច និងឧស្សាហកម្ម។

ម៉ាស៊ីនត្រជាក់ទឹក ៖ គន្លឹះនៃដំណើរការម៉ាស៊ីនលីថូក្រាហ្វីដែលមានស្ថេរភាព

ការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពដ៏ច្បាស់លាស់គឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ធានាគុណភាព និងទិន្នផលនៃដំណើរការលីតូក្រាហ្វី។ ម៉ាស៊ីនត្រជាក់ទឹក ជាសមាសធាតុស្នូលនៃប្រព័ន្ធត្រជាក់ ដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់៖

តម្រូវការត្រជាក់៖ ម៉ាស៊ីនលីថូក្រាហ្វីមានភាពរសើបខ្លាំងចំពោះការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពអំឡុងពេលប៉ះពាល់ ដែលតម្រូវឱ្យមានម៉ាស៊ីនត្រជាក់ទឹកដែលផ្តល់នូវការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពដែលមានភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់ និងមានស្ថេរភាព។

មុខងាររបស់ម៉ាស៊ីនត្រជាក់៖ តាមរយៈចរន្តទឹកត្រជាក់ ម៉ាស៊ីនត្រជាក់បញ្ចេញកំដៅដែលបង្កើតក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ដោយរក្សាឧបករណ៍ឡាស៊ែរឱ្យស្ថិតក្នុងជួរសីតុណ្ហភាពល្អបំផុត និងធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវ និងភាពជឿជាក់ក្នុងដំណើរការបោះពុម្ពលីតូក្រាហ្វី។

TEYU ម៉ាស៊ីនត្រជាក់ផ្តល់ជូនដំណោះស្រាយត្រជាក់ប្រកបដោយវិជ្ជាជីវៈសម្រាប់ម៉ាស៊ីនលីថូក្រាហ្វី

TEYU ម៉ាស៊ីនត្រជាក់ឡាស៊ែរលឿនបំផុតស៊េរី CWUP អាចផ្តល់នូវការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពដ៏ច្បាស់លាស់ និងមានស្ថេរភាពសម្រាប់ម៉ាស៊ីនបោះពុម្ពលីតូក្រាហ្វី។ ម៉ាស៊ីនត្រជាក់ម៉ូដែល CWUP-20ANP សម្រេចបានស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាព ±0.08°C ដែលផ្តល់នូវភាពត្រជាក់ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់សម្រាប់ការផលិតដែលមានភាពជាក់លាក់។

នៅក្នុងពិភពនៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដ៏ជាក់លាក់ ម៉ាស៊ីនលីតូក្រាហ្វីគឺជាឧបករណ៍ស្នូលសម្រាប់ការផ្ទេរលំនាំមីក្រូសៀគ្វី។ ជាមួយនឹងការរីកចម្រើននៃបច្ចេកវិទ្យា ម៉ាស៊ីនលីតូក្រាហ្វីហ្វ្លុយអូរីតគ្រីបតុន និងម៉ាស៊ីនលីតូក្រាហ្វីហ្វ្លុយអូរីតអាហ្គុនបានក្លាយជាកម្លាំងសំខាន់មួយដើម្បីលើកកម្ពស់ការអភិវឌ្ឍឧស្សាហកម្មជាមួយនឹងដំណើរការដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់វា។