ព័ត៌មានឡាស៊ែរ
ការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាពច្បាស់លាស់សម្រាប់ប្រព័ន្ធឡាស៊ែរ និងកម្មវិធីឧស្សាហកម្មតាំងពីឆ្នាំ 2002
ភាសា
គោលការណ៍ណែនាំឆ្នាំ 2024 របស់ MIIT លើកកម្ពស់ការធ្វើមូលដ្ឋានីយកម្មដំណើរការពេញលេញសម្រាប់ការផលិតបន្ទះឈីប 28nm+ ដែលជាព្រឹត្តិការណ៍បច្ចេកវិទ្យាដ៏សំខាន់មួយ។ ភាពជឿនលឿនសំខាន់ៗ រួមមានម៉ាស៊ីន lithography KrF និង ArF ដែលបើកសៀគ្វីដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងជំរុញការពឹងផ្អែកលើខ្លួនឯងក្នុងឧស្សាហកម្ម។ ការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាពច្បាស់លាស់គឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ដំណើរការទាំងនេះ ជាមួយនឹងម៉ាស៊ីនត្រជាក់ទឹក TEYU CWUP ធានានូវដំណើរការមានស្ថេរភាពនៅក្នុងការផលិត semiconductor ។
ក្នុងប៉ុន្មានខែថ្មីៗនេះ ក្រសួងឧស្សាហកម្ម និងបច្ចេកវិទ្យាព័ត៌មាន (MIIT) បានចេញ "គោលការណ៍ណែនាំសម្រាប់ការផ្សព្វផ្សាយ និងការអនុវត្តឧបករណ៍បច្ចេកទេសសំខាន់ៗដំបូង (កំណត់) (បោះពុម្ពឆ្នាំ 2024)" ។ នេះត្រួសត្រាយផ្លូវសម្រាប់ការធ្វើមូលដ្ឋានីយកម្មដំណើរការពេញលេញនៃការផលិតបន្ទះឈីបចាស់ទុំសម្រាប់ថ្នាំងលើសពី 28nm!
ថ្វីត្បិតតែបច្ចេកវិទ្យា 28nm មិនមែនជាបច្ចេកវិទ្យាទំនើបក៏ដោយ ប៉ុន្តែវាមានសារសំខាន់ជាបន្ទាត់បែងចែករវាងបន្ទះឈីបទាបទៅពាក់កណ្តាលចុង និងពាក់កណ្តាលដល់កម្រិតខ្ពស់។ ក្រៅពីស៊ីភីយូកម្រិតខ្ពស់ GPUs និងបន្ទះឈីប AI បន្ទះឈីបថ្នាក់ឧស្សាហកម្មភាគច្រើនពឹងផ្អែកលើបច្ចេកវិទ្យា 28nm ឬខ្ពស់ជាងនេះ។
គោលការណ៍នៃការងារ៖ ភាពជឿនលឿននៃរូបភាពកាំរស្មីអ៊ុលត្រាវីយូឡេជ្រៅ
ម៉ាស៊ីន lithography KrF (Krypton Fluoride) និង ArF (Argon Fluoride) lithography ស្ថិតនៅក្រោមប្រភេទ Deep Ultraviolet (DUV) lithography។ ទាំងពីរប្រើប្រាស់រលកពន្លឺជាក់លាក់ដែលព្យាករតាមរយៈប្រព័ន្ធអុបទិកទៅលើស្រទាប់ photoresist នៃ wafer ស៊ីលីកុន ផ្ទេរលំនាំសៀគ្វីស្មុគស្មាញ។
KrF Lithography Machines៖ ប្រើប្រភពពន្លឺរលកប្រវែង 248nm ដែលសម្រេចបាននូវដំណោះស្រាយក្រោម 110nm ដែលសមរម្យសម្រាប់ដំណើរការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាផ្សេងៗ។
ម៉ាស៊ីន ArF Lithography៖ ប្រើប្រភពពន្លឺរលកចម្ងាយ 193nm ដែលផ្តល់នូវគុណភាពបង្ហាញខ្ពស់សម្រាប់បច្ចេកវិទ្យាដំណើរការរង 65nm ដែលអនុញ្ញាតឱ្យបង្កើតសៀគ្វីល្អជាង។
សារៈសំខាន់នៃបច្ចេកវិទ្យា៖ ការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវឧស្សាហកម្ម និងការពឹងផ្អែកលើខ្លួនឯង
ការអភិវឌ្ឍនៃម៉ាស៊ីន lithography ទាំងនេះគឺជាព្រឹត្តិការណ៍ដ៏សំខាន់មួយក្នុងការជំរុញការផលិត semiconductor និងការសម្រេចបាននូវស្វ័យភាពឧស្សាហកម្ម៖
របកគំហើញបច្ចេកទេស៖ ការបង្កើតដោយជោគជ័យនៃម៉ាស៊ីន lithography KrF និង ArF បង្ហាញពីវឌ្ឍនភាពដ៏សំខាន់នៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យា lithography កម្រិតខ្ពស់ ដោយផ្តល់នូវការគាំទ្រផ្នែកបច្ចេកទេសដ៏រឹងមាំសម្រាប់ការផលិត semiconductor ។
ការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវឧស្សាហកម្ម៖ ម៉ាស៊ីន lithography ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់អាចឱ្យការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាដ៏ស្មុគស្មាញ និងមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ដែលជំរុញការច្នៃប្រឌិតនៅទូទាំងខ្សែសង្វាក់តម្លៃ semiconductor ទាំងមូល។
សេដ្ឋកិច្ច និងសន្តិសុខជាតិ៖ តាមរយៈការកាត់បន្ថយការពឹងផ្អែកលើបច្ចេកវិទ្យាបរទេស ម៉ាស៊ីនទាំងនេះពង្រឹងភាពគ្រប់គ្រាន់ដោយខ្លួនឯងរបស់ឧស្សាហកម្ម semiconductor ក្នុងស្រុក ពង្រឹងសន្តិសុខសេដ្ឋកិច្ច និងឧស្សាហកម្ម។
ម៉ាស៊ីនត្រជាក់ទឹក ៖ គន្លឹះនៃដំណើរការម៉ាស៊ីន Lithography ដែលមានស្ថេរភាព
ការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាពច្បាស់លាស់គឺចាំបាច់សម្រាប់ធានាគុណភាព និងទិន្នផលនៃដំណើរការ lithography ។ ម៉ាស៊ីនត្រជាក់ទឹក ជាសមាសធាតុស្នូលនៃប្រព័ន្ធត្រជាក់ ដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់៖
តម្រូវការម៉ាស៊ីនត្រជាក់៖ ម៉ាស៊ីន Lithography មានភាពរសើបខ្លាំងចំពោះការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពអំឡុងពេលមានការប៉ះពាល់ ត្រូវការម៉ាស៊ីនត្រជាក់ទឹកដែលផ្តល់នូវការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាពត្រឹមត្រូវ និងស្ថេរភាពខ្ពស់។
មុខងាររបស់ម៉ាស៊ីនត្រជាក់៖ តាមរយៈលំហូរទឹកត្រជាក់ ម៉ាស៊ីនត្រជាក់មានប្រសិទ្ធភាពបញ្ចេញកំដៅដែលបានបង្កើតកំឡុងពេលប្រតិបត្តិការ រក្សាឧបករណ៍ឡាស៊ែរក្នុងជួរសីតុណ្ហភាពដ៏ល្អប្រសើរ និងធានាបាននូវភាពត្រឹមត្រូវ និងភាពជឿជាក់ក្នុងដំណើរការ lithography ។
TEYU Chiller ផ្តល់ជូននូវដំណោះស្រាយត្រជាក់ប្រកបដោយវិជ្ជាជីវៈសម្រាប់ម៉ាស៊ីន Lithography
ម៉ាស៊ីនត្រជាក់ឡាស៊ែរស៊េរី TEYU CWUP អាចផ្តល់នូវការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាពច្បាស់លាស់ និងមានស្ថេរភាពសម្រាប់ម៉ាស៊ីន lithography ។ ម៉ាស៊ីនត្រជាក់ម៉ូដែល CWUP-20ANP សម្រេចបាននូវស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាព ± 0.08°C ដែលផ្តល់នូវភាពត្រជាក់ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់សម្រាប់ការផលិតភាពជាក់លាក់។
នៅក្នុងពិភពជាក់លាក់នៃការផលិត semiconductor ម៉ាស៊ីន lithography គឺជាឧបករណ៍ស្នូលសម្រាប់ការផ្ទេរគំរូ microcircuit ។ ជាមួយនឹងភាពជឿនលឿននៃបច្ចេកវិជ្ជា ម៉ាស៊ីន lithography krypton fluoride និងម៉ាស៊ីន lithography argon fluoride បានក្លាយជាកម្លាំងដ៏សំខាន់មួយដើម្បីលើកកម្ពស់ការអភិវឌ្ឍន៍នៃឧស្សាហកម្មនេះជាមួយនឹងដំណើរការដ៏ល្អរបស់ពួកគេ។
យើងនៅទីនេះសម្រាប់អ្នកនៅពេលដែលអ្នកត្រូវការយើង។
សូមបំពេញទម្រង់បែបបទដើម្បីទាក់ទងមកយើងខ្ញុំ ហើយយើងនឹងរីករាយក្នុងការជួយអ្នក។
TEYU S&A Chiller ត្រូវបានបង្កើតឡើងក្នុងឆ្នាំ 2002 ជាមួយនឹងបទពិសោធន៍ផលិតម៉ាស៊ីនត្រជាក់រយៈពេល 23 ឆ្នាំ ហើយឥឡូវនេះត្រូវបានទទួលស្គាល់ថាជាអ្នកត្រួសត្រាយបច្ចេកវិទ្យាត្រជាក់ និងជាដៃគូដែលអាចទុកចិត្តបាននៅក្នុងឧស្សាហកម្មឡាស៊ែរ។
រក្សាសិទ្ធិ © 2025 TEYU S&A Chiller - រក្សាសិទ្ធិគ្រប់យ៉ាង។
