Kontrola Germahiya Rast ji bo Sîstemên Lazer û Serlêdanên Pîşesaziyê Ji Sala 2002an Ve
Ziman
Rêbernameyên MIIT-ê yên 2024-an ji bo hilberîna çîpê 28nm+, pêvajoyek teknolojiyê ya girîng, herêmîkirina tev-pêvajoyê pêşve dixe. Pêşveçûnên sereke makîneyên lîtografî yên KrF û ArF hene, ku rêgezên rast-bilind çalak dikin û xwebaweriya pîşesaziyê zêde dike. Kontrolkirina germahiyê ya rast ji bo van pêvajoyan pir girîng e, digel çîlerên avê TEYU CWUP ku di hilberîna nîvconductor de performansa aram peyda dike.
Di mehên dawî de, Wezareta Pîşesazî û Teknolojiya Agahdariyê (MIIT) "Rêbernameya Ji bo Pêşkêşkirin û Serlêdana Yekemîn (Set) Amûrên Teknîkî yên Mezin (Çapa 2024)" derxist. Ev rê li ber herêmîkirina tev-pêvajoya hilberîna çîpê gihîştî ji bo girêkên jor 28nm vedike!
Her çend teknolojiya 28 nm ne pêşkeftî ye jî, ew wekî xeta dabeşkirinê di navbera çîpên nizm-nav-end û navîn-bilind de girîngiyek girîng digire. Ji bilî CPU-yên pêşkeftî, GPU, û çîpên AI-yê, piraniya çîpên pola pîşesaziyê xwe dispêrin teknolojiyên 28nm an bilindtir.
Prensîba Xebatê: Pêşketinên Di Lîtografya Ultraviolet ya Kûr de
Makîneyên lîtografî yên KrF (Krypton Fluoride) û ArF (Argon Fluoride) di bin kategoriya lîtografiya Ultraviolet ya Kûr (DUV) de ne. Her du jî dirêjahiya pêlên ronahiyê yên taybetî yên ku bi pergalên optîkî ve li ser tebeqeya wênegir a waferek silicon têne pêşandan bikar tînin, û qalibên çerxa tevlihev vediguhezînin.
KrF Makîneyên Lîtografî: Çavkaniyek ronahiyê ya dirêjahiya pêlê 248nm bikar bînin, çareseriyên li jêr 110nm bi dest bixin, ji bo pêvajoyên cûda yên hilberîna çerxa yekbûyî maqûl e.
Makîneyên Lîtografî yên ArF: Çavkaniyek ronahiyê ya dirêjahiya pêlê 193nm bikar bînin, ji bo teknolojiyên pêvajoyê yên jêrîn-65nm çareseriya bilindtir pêşkêşî dike, ku çêkirina dorhêlên xweşiktir dike.
Girîngiya Teknolojiyê: Nûvekirina Pîşesaziyê û Xwebawerî
Pêşkeftina van makîneyên lîtografî di pêşveçûna hilberîna nîvconductor û bidestxistina xweseriya pîşesaziyê de qonaxek girîng nîşan dide:
Serkeftinên Teknîkî: Afirandina serketî ya makîneyên lîtografî yên KrF û ArF pêşkeftina girîng di teknolojiya lîtografiya paşîn de ronî dike, ji bo çêkirina nîvconductor piştgirîya teknîkî ya bihêz peyda dike.
Nûvekirina Pîşesaziyê: Makîneyên lîtografî yên pêbawer hilberîna çerxên yekbûyî yên tevlihevtir û bi performansa bilind çêdikin, ku nûjeniyê li seranserê zincîra nirxa nîvconductor dimeşîne.
Ewlekariya Aborî û Neteweyî: Bi kêmkirina girêdana bi teknolojiya biyanî re, van makîneyan xweragiriya pîşesaziya nîvconductor ya navxweyî xurt dikin, ewlehiya aborî û pîşesaziyê xurt dikin.
Çîlera Avê : Mifteya Performansa Makîneya Lîtografî ya Stable
Kontrolkirina germahiya rastîn ji bo misogerkirina kalîte û hilberîna pêvajoya lîtografiyê pêdivî ye. Çîlerên avê, wekî hêmanên bingehîn ên pergalên sarkirinê, rolek girîng dilîzin:
Pêdiviyên sarkirinê: Makîneyên lîtografî ji guheztinên germahiyê yên di dema ragirtinê de zehf hesas in, pêdivî bi çîlerên avê hene ku kontrola germahiya pir rast û domdar peyda dikin.
Fonksiyonên Çilleran: Bi gerandina ava sarkirinê, çîler bi bandor germa ku di dema xebatê de hatî hilberandin belav dike, alavên lazerê di nav rêzek germahiya çêtirîn de diparêze û di pêvajoya lîtografî de rastbûn û pêbaweriyê peyda dike.
TEYU Chiller Ji bo Makîneyên Lîtografî Çareseriyên Sarkirinê yên Pîşeyî pêşkêşî dike
Çîlerên lazerê yên ultrafast series TEYU CWUP dikarin ji bo makîneyên lîtografiyê kontrolek germahiya rastîn û domdar peyda bikin. Modela çîler CWUP-20ANP aramiya germahiya ± 0.08 °C digihîje, ji bo hilberîna rast sarbûna pir bikêr peyda dike.
Di cîhana rastîn a çêkirina nîvconductor de, makîneyên lîtografiyê amûrên bingehîn in ji bo veguheztina qalibên mîkrocircuit. Bi pêşkeftina teknolojiyê re, makîneya lîtografî ya krypton fluoride û makîneya lîtografî ya argon fluoride bûne hêzek girîng ku bi performansa xwe ya hêja pêşkeftina pîşesaziyê pêşve bibe.
Dema ku hûn hewceyê me bin, em ji bo we li vir in.
Ji kerema xwe formê tije bikin ku hûn bi me re têkilî daynin, û em ê kêfxweş bibin ku ji we re bibin alîkar.
, 
TEYU S&A Chiller di sala 2002an de bi 23 sal ezmûna çêkirina sarincokan hate damezrandin, û naha wekî pêşengê teknolojiya sarkirinê û şirîkê pêbawer di pîşesaziya lazerê de tê nasîn.
Mafê çapkirinê © 2025 TEYU S&A Chiller - Hemû maf parastî ne.
