Акыркы жаңылыктар: MIIT ≤8нм катмар тактыгы менен ата мекендик DUV литографиялык машиналарын жарнамалайт

Акыркы айларда Өнөр жай жана маалыматтык технологиялар министрлиги (MIIT) "Биринчи (топтом) негизги техникалык жабдууларды (2024-жылдагы басылышы) жайылтуу жана колдонуу боюнча көрсөтмөлөрдү" чыгарды. Бул 28 нмден жогору түйүндөр үчүн жетилген чип өндүрүшүн толук процесстик локалдаштырууга жол ачат!

28 нм технологиясы алдыңкы технология болбосо да, ал төмөнкү жана орто класстагы жана орто жана жогорку класстагы чиптердин ортосундагы бөлүүчү сызык катары маанилүү мааниге ээ. Өркүндөтүлгөн CPUлардан, GPUлардан жана AI чиптеринен тышкары, көпчүлүк өнөр жайлык класстагы чиптер 28 нм же андан жогорку технологияларга таянат.

Иштөө принциби: Терең ультрафиолет литографиясындагы жетишкендиктер

KrF (Криптон фториди) жана ArF (Аргон фториди) литография машиналары Терең ультрафиолет (DUV) литографиясы категориясына кирет. Экөө тең оптикалык системалар аркылуу кремний пластинасынын фоторезисттик катмарына проекцияланган белгилүү бир жарык толкун узундуктарын колдонуп, татаал схема үлгүлөрүн өткөрүшөт.

KrF литография машиналары: 248 нм толкун узундугундагы жарык булагын колдонуңуз, 110 нмден төмөн чечилиштерге жетишиңиз, ар кандай интегралдык микросхемаларды өндүрүү процесстерине ылайыктуу.

ArF литография машиналары: 65 нмден төмөн технологиялык процесстер үчүн жогорку чечилишти сунуштаган 193 нм толкун узундугундагы жарык булагын колдонуңуз, бул майда схемаларды жасоого мүмкүндүк берет.

Технологиялык мааниси: Өнөр жайды жаңыртуу жана өзүн-өзү камсыздоо

Бул литография машиналарынын өнүгүшү жарым өткөргүч өндүрүштү өнүктүрүүдө жана өнөр жайлык автономияга жетүүдөгү маанилүү этапты белгилейт:

Техникалык жетишкендиктер: KrF жана ArF литография машиналарынын ийгиликтүү түзүлүшү жогорку класстагы литография технологиясындагы олуттуу прогрессти баса белгилеп, жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үчүн бекем техникалык колдоо көрсөтөт.

Өнөр жайды өркүндөтүү: Жогорку тактыктагы литографиялык машиналар татаалыраак жана жогорку өндүрүмдүүлүктөгү интегралдык микросхемаларды өндүрүүгө мүмкүндүк берет, бул жарым өткөргүчтөрдүн баалуулуктар чынжырынын бардык тармактарында инновацияларды өнүктүрүүгө түрткү берет.

Экономикалык жана улуттук коопсуздук: Чет элдик технологияларга көз карандылыкты азайтуу менен, бул машиналар ата мекендик жарым өткөргүч өнөр жайынын өзүн-өзү камсыз кылуусун күчөтүп, экономикалык жана өнөр жай коопсуздугун чыңдайт.

Суу муздаткыч : литография машинасынын туруктуу иштешинин ачкычы

Литография процессинин сапатын жана натыйжалуулугун камсыз кылуу үчүн температураны так көзөмөлдөө абдан маанилүү. Муздатуу системаларынын негизги компоненттери катары суу муздаткычтары маанилүү ролду ойнойт:

Муздатууга талаптар: Литографиялык машиналар таасир учурунда температуранын өзгөрүшүнө өтө сезгич, ошондуктан температураны жогорку тактыкта ​​жана туруктуу көзөмөлдөөнү камсыз кылган суу муздаткычтары талап кылынат.

Муздаткычтардын функциялары: Муздаткычтар муздатуучу сууну айландыруу менен, иштөө учурунда пайда болгон жылуулукту натыйжалуу таркатат, лазердик жабдууларды оптималдуу температура диапазонунда кармап турат жана литография процессинде тактыкты жана ишенимдүүлүктү камсыз кылат.

TEYU Литографиялык машиналар үчүн кесипкөй муздатуу чечимдерин сунуштаган муздаткыч

TEYU CWUP сериясындагы өтө тез лазердик муздаткычтар литографиялык машиналар үчүн температураны так жана туруктуу башкарууну камсыздай алат. CWUP-20ANP муздаткыч модели ±0,08°C температуранын туруктуулугуна жетишип, так өндүрүш үчүн жогорку натыйжалуу муздатууну камсыз кылат.

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүнүн так дүйнөсүндө литография машиналары микросхемалардын үлгүлөрүн өткөрүп берүү үчүн негизги түзүлүштөр болуп саналат. Технологиянын өнүгүшү менен криптон фториддик литография машинасы жана аргон фториддик литография машинасы эң сонун иштеши менен тармактын өнүгүшүнө өбөлгө түзгөн маанилүү күчкө айланды.