ຂ່າວດ່ວນ: MIIT ສົ່ງເສີມເຄື່ອງຈັກພິມຮູບ DUV ພາຍໃນປະເທດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ≤8nm Overlay

ໃນຊ່ວງເດືອນທີ່ຜ່ານມາ, ກະຊວງອຸດສາຫະກຳ ແລະ ເຕັກໂນໂລຊີຂໍ້ມູນຂ່າວສານ (MIIT) ໄດ້ອອກ "ຄຳແນະນຳສຳລັບການສົ່ງເສີມ ແລະ ການນຳໃຊ້ອຸປະກອນເຕັກນິກທີ່ສຳຄັນ (ຊຸດທຳອິດ) (ສະບັບປີ 2024)". ສິ່ງນີ້ປູທາງໃຫ້ແກ່ການແປຮູບແບບທ້ອງຖິ່ນຢ່າງຄົບຖ້ວນຂອງການຜະລິດຊິບທີ່ສົມບູນສຳລັບໂນດທີ່ສູງກວ່າ 28nm!

ເຖິງແມ່ນວ່າເທັກໂນໂລຢີ 28nm ບໍ່ແມ່ນເທັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄໝ, ແຕ່ມັນກໍ່ມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍໃນຖານະເປັນເສັ້ນແບ່ງລະຫວ່າງຊິບລະດັບຕໍ່າຫາກາງ ແລະ ລະດັບກາງຫາສູງ. ນອກຈາກ CPU, GPU ແລະ ຊິບ AI ທີ່ກ້າວໜ້າແລ້ວ, ຊິບລະດັບອຸດສາຫະກຳສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນອາໄສເທັກໂນໂລຢີ 28nm ຫຼື ສູງກວ່າ.

ຫຼັກການເຮັດວຽກ: ຄວາມກ້າວໜ້າໃນການພິມດ້ວຍລັງສີອັນຕຣາໄວໂອເລັດເລິກ

ເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍແສງ KrF (Krypton Fluoride) ແລະ ArF (Argon Fluoride) ຈັດຢູ່ໃນໝວດຂອງການພິມດ້ວຍແສງ Deep Ultraviolet (DUV). ທັງສອງໃຊ້ຄື້ນແສງສະເພາະທີ່ສະທ້ອນຜ່ານລະບົບ optical ໄປຫາຊັ້ນ photoresist ຂອງແຜ່ນຊິລິໂຄນ, ເຊິ່ງສົ່ງຕໍ່ຮູບແບບວົງຈອນທີ່ສັບສົນ.

ເຄື່ອງຈັກພິມຫີນ KrF: ໃຊ້ແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງທີ່ມີຄວາມຍາວຄື້ນ 248nm, ບັນລຸຄວາມລະອຽດຕ່ຳກວ່າ 110nm, ເໝາະສຳລັບຂະບວນການຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານຕ່າງໆ.

ເຄື່ອງຈັກພິມຫີນ ArF: ໃຊ້ແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງທີ່ມີຄວາມຍາວຄື້ນ 193nm, ເຊິ່ງສະເໜີຄວາມລະອຽດສູງກວ່າສຳລັບເຕັກໂນໂລຊີຂະບວນການຕ່ຳກວ່າ 65nm, ເຮັດໃຫ້ສາມາດຜະລິດວົງຈອນທີ່ລະອຽດກວ່າໄດ້.

ຄວາມສຳຄັນທາງດ້ານເຕັກໂນໂລຊີ: ການຍົກລະດັບອຸດສາຫະກຳ ແລະ ການເພິ່ງພາຕົນເອງ

ການພັດທະນາເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍລະບົບເຫຼົ່ານີ້ໝາຍເຖິງຈຸດສຳຄັນໃນການພັດທະນາການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ການບັນລຸຄວາມເປັນເອກະລາດດ້ານອຸດສາຫະກຳ:

ຄວາມກ້າວໜ້າທາງດ້ານເຕັກນິກ: ການສ້າງເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍລະບົບ KrF ແລະ ArF ທີ່ປະສົບຜົນສຳເລັດໄດ້ເນັ້ນໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມກ້າວໜ້າທີ່ສຳຄັນໃນເຕັກໂນໂລຊີການພິມດ້ວຍລະບົບລະດັບສູງ, ເຊິ່ງໃຫ້ການສະໜັບສະໜູນດ້ານວິຊາການທີ່ເຂັ້ມແຂງສຳລັບການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ.

ການຍົກລະດັບອຸດສາຫະກຳ: ເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍລະບົບຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານທີ່ສັບສົນ ແລະ ມີປະສິດທິພາບສູງຫຼາຍຂຶ້ນ, ເຊິ່ງເປັນການຂັບເຄື່ອນນະວັດຕະກໍາໃນທົ່ວລະບົບຕ່ອງໂສ້ມູນຄ່າເຄິ່ງຕົວນໍາທັງໝົດ.

ເສດຖະກິດ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງແຫ່ງຊາດ: ໂດຍການຫຼຸດຜ່ອນການເພິ່ງພາອາໄສເຕັກໂນໂລຊີຕ່າງປະເທດ, ເຄື່ອງຈັກເຫຼົ່ານີ້ເສີມສ້າງຄວາມພຽງພໍດ້ວຍຕົນເອງຂອງອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາພາຍໃນປະເທດ, ເສີມສ້າງຄວາມໝັ້ນຄົງທາງດ້ານເສດຖະກິດ ແລະ ອຸດສາຫະກໍາ.

ເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນນ້ຳ : ກຸນແຈສຳຄັນຕໍ່ປະສິດທິພາບຂອງເຄື່ອງພິມຮູບທີ່ໝັ້ນຄົງ

ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບ ແລະ ຜົນຜະລິດຂອງຂະບວນການພິມດ້ວຍຫີນ. ເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນນ້ຳ, ໃນຖານະເປັນອົງປະກອບຫຼັກຂອງລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນ, ມີບົດບາດສຳຄັນຫຼາຍ:

ຄວາມຕ້ອງການດ້ານຄວາມເຢັນ: ເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍຫີນມີຄວາມອ່ອນໄຫວຫຼາຍຕໍ່ກັບການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມໃນລະຫວ່າງການສຳຜັດ, ເຊິ່ງຈຳເປັນຕ້ອງມີເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນນ້ຳທີ່ໃຫ້ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຖືກຕ້ອງ ແລະ ໝັ້ນຄົງສູງ.

ໜ້າທີ່ຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນ: ໂດຍການໝູນວຽນຂອງນ້ຳເຢັນ, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນຈະກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ຮັກສາອຸປະກອນເລເຊີໃຫ້ຢູ່ໃນລະດັບອຸນຫະພູມທີ່ດີທີ່ສຸດ ແລະ ຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນຂະບວນການພິມດ້ວຍໄຟຟ້າ.

TEYU ເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນສະເໜີວິທີແກ້ໄຂຄວາມເຢັນແບບມືອາຊີບສຳລັບເຄື່ອງຈັກພິມຮູບ

TEYU ເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນເລເຊີລຸ້ນ CWUP ທີ່ມີຄວາມໄວສູງສາມາດໃຫ້ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນ ແລະ ໝັ້ນຄົງສຳລັບເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍຫີນ. ເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນລຸ້ນ CWUP-20ANP ມີຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມ ±0.08°C, ເຮັດໃຫ້ຄວາມເຢັນມີປະສິດທິພາບສູງສຳລັບການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ.

ໃນໂລກການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ຊັດເຈນ, ເຄື່ອງຈັກພິມຮູບແມ່ນອຸປະກອນຫຼັກສຳລັບການໂອນຮູບແບບວົງຈອນນ້ອຍໆ. ດ້ວຍຄວາມກ້າວໜ້າຂອງເຕັກໂນໂລຢີ, ເຄື່ອງຈັກພິມຮູບ krypton fluoride ແລະ ເຄື່ອງຈັກພິມຮູບ argon fluoride ໄດ້ກາຍເປັນກຳລັງສຳຄັນໃນການສົ່ງເສີມການພັດທະນາອຸດສາຫະກຳດ້ວຍປະສິດທິພາບທີ່ດີເລີດ.