Tikslus temperatūros valdymas lazerinėms sistemoms ir pramoninėms reikmėms nuo 2002 m.
Kalba
MIIT 2024 m. gairėse skatinamas viso proceso lokalizavimas 28 nm+ lustų gamybai, o tai yra esminis technologijų etapas. Pagrindinės pažangos apima KrF ir ArF litografijos aparatus, įgalinančius didelio tikslumo grandines ir didinančius pramonės savarankiškumą. Šiems procesams labai svarbu tiksliai kontroliuoti temperatūrą, nes TEYU CWUP vandens aušintuvai užtikrina stabilų puslaidininkių gamybos našumą.
Pastaraisiais mėnesiais Pramonės ir informacinių technologijų ministerija (MIIT) paskelbė „Pirmosios (komplektinės) pagrindinės techninės įrangos skatinimo ir taikymo gaires (2024 m. leidimas)“. Tai atveria kelią viso proceso lokalizacijai subrendusių lustų gamybos mazguose, didesniuose nei 28 nm!
Nors 28 nm technologija nėra pažangiausia, ji yra labai svarbi kaip skiriamoji linija tarp žemos ir vidutinės klasės ir vidutinės iki aukščiausios klasės lustų. Be pažangių procesorių, GPU ir AI lustų, dauguma pramoninio lygio lustų remiasi 28 nm ar aukštesnėmis technologijomis.
Darbo principas: giliosios ultravioletinės litografijos pažanga
KrF (kriptono fluorido) ir ArF (argono fluorido) litografijos mašinos patenka į giliosios ultravioletinės (DUV) litografijos kategoriją. Abu naudojami specifiniai šviesos bangos ilgiai, projektuojami per optines sistemas ant silicio plokštelės fotorezisto sluoksnio, perduodant sudėtingus grandinės modelius.
KrF litografijos mašinos: naudokite 248 nm bangos ilgio šviesos šaltinį, kurio skiriamoji geba mažesnė nei 110 nm, tinka įvairiems integrinių grandynų gamybos procesams.
ArF litografijos mašinos: naudokite 193 nm bangos ilgio šviesos šaltinį, siūlantį didesnę skiriamąją gebą mažesnėms nei 65 nm procesų technologijoms, leidžiančius gaminti smulkesnes grandines.
Technologinė reikšmė: pramonės atnaujinimas ir savarankiškumas
Šių litografijos mašinų kūrimas yra svarbus žingsnis tobulinant puslaidininkių gamybą ir siekiant pramonės savarankiškumo:
Techniniai laimėjimai: sėkmingas KrF ir ArF litografijos mašinų sukūrimas išryškina didelę pažangą aukščiausios klasės litografijos technologijoje, teikiant tvirtą techninę paramą puslaidininkių gamybai.
Pramonės atnaujinimas: didelio tikslumo litografijos mašinos leidžia gaminti sudėtingesnius ir našesnius integrinius grandynus, skatinančius naujoves visoje puslaidininkių vertės grandinėje.
Ekonominis ir nacionalinis saugumas: sumažindamos priklausomybę nuo užsienio technologijų, šios mašinos stiprina vidaus puslaidininkių pramonės savarankiškumą, stiprina ekonominį ir pramoninį saugumą.
Vandens aušintuvas : raktas į stabilų litografijos mašinos veikimą
Tiksli temperatūros kontrolė yra būtina norint užtikrinti litografijos proceso kokybę ir našumą. Vandens aušintuvai, kaip pagrindiniai aušinimo sistemų komponentai, atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį:
Aušinimo reikalavimai: litografijos mašinos yra ypač jautrios temperatūros svyravimams ekspozicijos metu, todėl reikalingi vandens aušintuvai, užtikrinantys labai tikslią ir stabilią temperatūros valdymą.
Aušintuvų funkcijos: Cirkuliuodami aušinimo vandenį, aušintuvai efektyviai išsklaido darbo metu susidariusią šilumą, palaiko lazerinę įrangą optimaliame temperatūros diapazone ir užtikrina litografijos proceso tikslumą ir patikimumą.
TEYU aušintuvas siūlo profesionalius litografijos mašinų aušinimo sprendimus
TEYU CWUP serijos itin greiti lazeriniai aušintuvai gali užtikrinti tikslų ir stabilų litografijos mašinų temperatūros valdymą. Aušintuvo modelis CWUP-20ANP pasiekia ±0,08 °C temperatūros stabilumą, todėl užtikrina itin efektyvų aušinimą tiksliam gamyboje.
Tiksliame puslaidininkių gamybos pasaulyje litografijos mašinos yra pagrindiniai mikroschemų modelių perdavimo įrenginiai. Tobulėjant technologijoms, kriptono fluorido litografijos aparatai ir argono fluorido litografijos aparatai tapo svarbia jėga, skatinančia pramonės plėtrą dėl savo puikių savybių.
Mes esame čia, kai jums mūsų reikia.
Norėdami susisiekti su mumis, užpildykite formą ir mes mielai jums padėsime.
„TEYU S&A Chiller“ buvo įkurta 2002 m., turint 23 metų aušintuvų gamybos patirtį, ir dabar yra pripažinta aušinimo technologijų pradininke ir patikimu partneriu lazerių pramonėje.
Autorių teisės © 2025 TEYU S&A Chiller - Visos teisės saugomos.
