Precīza temperatūras kontrole lāzersistēmām un rūpnieciskiem lietojumiem kopš 2002. gada
Valoda
MIIT 2024. gada vadlīnijas veicina visa procesa lokalizāciju 28 nm+ mikroshēmu ražošanai, kas ir būtisks tehnoloģiju pavērsiens. Galvenie sasniegumi ietver KrF un ArF litogrāfijas iekārtas, kas nodrošina augstas precizitātes shēmas un palielina nozares pašpaļāvību. Precīza temperatūras kontrole šiem procesiem ir ļoti svarīga, jo TEYU CWUP ūdens dzesētāji nodrošina stabilu veiktspēju pusvadītāju ražošanā.
Pēdējos mēnešos Rūpniecības un informācijas tehnoloģiju ministrija (MIIT) izdevusi "Vadlīnijas pirmā (komplekta) galvenā tehniskā aprīkojuma veicināšanai un lietošanai (2024. gada izdevums)". Tas paver ceļu nobriedušu mikroshēmu ražošanas pilna procesa lokalizācijai mezgliem virs 28nm!
Lai gan 28 nm tehnoloģija nav visprogresīvākā, tai ir liela nozīme kā robežlīnijai starp zemas un vidējas klases un vidējas un augstākās klases mikroshēmām. Papildus uzlabotajiem CPU, GPU un AI mikroshēmām lielākā daļa rūpnieciskās klases mikroshēmu ir balstītas uz 28 nm vai jaunākām tehnoloģijām.
Darbības princips: sasniegumi dziļās ultravioletās litogrāfijas jomā
KrF (Krypton Fluoride) un ArF (Argon Fluoride) litogrāfijas iekārtas ietilpst dziļās ultravioletās (DUV) litogrāfijas kategorijā. Abi izmanto īpašus gaismas viļņu garumus, kas tiek projicēti caur optiskām sistēmām uz silīcija plāksnītes fotorezista slāni, pārnesot sarežģītus ķēdes modeļus.
KrF litogrāfijas iekārtas: izmantojiet 248 nm viļņa garuma gaismas avotu, kas sasniedz izšķirtspēju, kas ir mazāka par 110 nm un ir piemērota dažādiem integrālo shēmu ražošanas procesiem.
ArF litogrāfijas iekārtas: izmantojiet 193 nm viļņa garuma gaismas avotu, kas piedāvā augstāku izšķirtspēju zem 65 nm procesu tehnoloģijām, ļaujot izgatavot smalkākas shēmas.
Tehnoloģiskā nozīme: nozares jauninājums un pašpaļāvība
Šo litogrāfijas iekārtu izstrāde iezīmē nozīmīgu pavērsienu pusvadītāju ražošanas attīstībā un rūpnieciskās autonomijas sasniegšanā:
Tehniskie sasniegumi: veiksmīgā KrF un ArF litogrāfijas iekārtu izveide izceļ ievērojamu progresu augstākās klases litogrāfijas tehnoloģijā, nodrošinot stabilu tehnisko atbalstu pusvadītāju ražošanai.
Nozares jauninājums: augstas precizitātes litogrāfijas iekārtas ļauj ražot sarežģītākas un augstas veiktspējas integrālās shēmas, virzot inovācijas visā pusvadītāju vērtību ķēdē.
Ekonomiskā un nacionālā drošība: samazinot atkarību no ārvalstu tehnoloģijām, šīs mašīnas stiprina vietējās pusvadītāju nozares pašpietiekamību, stiprinot ekonomisko un rūpniecisko drošību.
Ūdens dzesētājs : stabilas litogrāfijas iekārtas darbības atslēga
Precīza temperatūras kontrole ir būtiska, lai nodrošinātu litogrāfijas procesa kvalitāti un ražu. Ūdens dzesētājiem kā dzesēšanas sistēmu galvenajām sastāvdaļām ir būtiska loma:
Dzesēšanas prasības: litogrāfijas iekārtas ir ārkārtīgi jutīgas pret temperatūras svārstībām iedarbības laikā, tādēļ ir nepieciešami ūdens dzesētāji, kas nodrošina ļoti precīzu un stabilu temperatūras kontroli.
Dzesētāju funkcijas: Cirkulējot dzesēšanas ūdeni, dzesētāji efektīvi izkliedē darbības laikā radušos siltumu, uzturot lāzeriekārtas optimālā temperatūras diapazonā un nodrošinot litogrāfijas procesa precizitāti un uzticamību.
TEYU dzesētājs piedāvā profesionālus dzesēšanas risinājumus litogrāfijas iekārtām
TEYU CWUP sērijas īpaši ātrie lāzera dzesētāji var nodrošināt precīzu un stabilu temperatūras kontroli litogrāfijas iekārtām. Dzesētāja modelis CWUP-20ANP sasniedz temperatūras stabilitāti ±0,08°C, nodrošinot ļoti efektīvu dzesēšanu precīzai ražošanai.
Precīzajā pusvadītāju ražošanas pasaulē litogrāfijas iekārtas ir galvenās ierīces mikroshēmu modeļu pārsūtīšanai. Attīstoties tehnoloģijām, kriptona fluorīda litogrāfijas iekārta un argona fluorīda litogrāfijas iekārta ir kļuvušas par svarīgu spēku, lai veicinātu nozares attīstību ar savu izcilo veiktspēju.
Mēs esam šeit, kad jums mēs esam vajadzīgi.
Lūdzu, aizpildiet veidlapu, lai sazinātos ar mums, un mēs ar prieku jums palīdzēsim.
Uzņēmums TEYU S&A Chiller tika dibināts 2002. gadā ar 23 gadu pieredzi dzesētāju ražošanā, un tagad tas ir atzīts par dzesēšanas tehnoloģiju pionieri un uzticamu partneri lāzeru nozarē.
Autortiesības © 2025 TEYU S&A Chiller — Visas tiesības aizsargātas.
