Vaovao Mafana: Mampiroborobo ny Milina Litografia DUV ao an-toerana miaraka amin'ny Fahitsiana Overlay ≤8nm ny MIIT

Tato anatin'ny volana vitsivitsy, ny Minisiteran'ny Indostria sy ny Teknolojian'ny Fampahalalam-baovao (MIIT) dia namoaka ny "Torolàlana ho an'ny Fampiroboroboana sy Fampiharana ny Fitaovana Teknika Lehibe Voalohany (Napetraka) (Fanontana 2024)". Izany dia manokatra lalana ho an'ny fametrahana ny famokarana puce matotra ho an'ny nodes mihoatra ny 28nm amin'ny toerana feno!

Na dia tsy avo lenta aza ny teknolojia 28nm, dia zava-dehibe tokoa izy io amin'ny maha-tsipika mampisaraka ny puce ambany ka hatramin'ny antonony sy ny antonony ka hatramin'ny avo lenta. Ankoatra ny CPU, GPU, ary puce AI mandroso, ny ankamaroan'ny puce indostrialy dia miantehitra amin'ny teknolojia 28nm na ambony kokoa.

Fitsipiky ny fiasa: Fandrosoana amin'ny Litografia Ultraviolet lalina

Ny milina litografia KrF (Krypton Fluoride) sy ArF (Argon Fluoride) dia tafiditra ao anatin'ny sokajy litografia Deep Ultraviolet (DUV). Samy mampiasa halavan'ny hazavana manokana alefa amin'ny alàlan'ny rafitra optika eo amin'ny sosona photoresist amin'ny wafer silikônina izy ireo, ka mamindra lamina sarotra amin'ny circuit.

Milina Litografia KrF: Mampiasa loharanon-jiro manana halavan'ny onjam-peo 248nm, izay mahatratra ny famaha ambanin'ny 110nm, mety amin'ny dingana famokarana circuit integrated isan-karazany.

Milina Litografia ArF: Mampiasa loharanon-jiro manana halavan'ny onjam-peo 193nm, izay manolotra famaha avo kokoa ho an'ny teknolojia fanodinana ambanin'ny 65nm, ahafahana manamboatra fizaran-tany tsara kokoa.

Ny maha-zava-dehibe ny teknolojia: Fanatsarana ny indostria sy ny fizakan-tena

Ny fivoaran'ireto milina litografia ireto dia manamarika dingana lehibe eo amin'ny fampandrosoana ny famokarana semiconductor sy ny fahazoana ny fizakan-tena indostrialy:

Fandrosoana ara-teknika: Ny fahombiazan'ny famoronana milina litografia KrF sy ArF dia manasongadina ny fandrosoana lehibe eo amin'ny teknolojia litografia avo lenta, izay manome fanohanana ara-teknika matanjaka ho an'ny famokarana semiconductor.

Fanatsarana ny indostria: Ny milina litografia avo lenta dia ahafahana mamokatra circuit integrated sarotra kokoa sy mahomby kokoa, izay mampiroborobo ny fanavaozana manerana ny rojo famatsiana semiconductor manontolo.

Fiarovam-pirenena sy ara-toekarena: Amin'ny alàlan'ny fampihenana ny fiankinan-doha amin'ny teknolojia vahiny, ireo milina ireo dia manamafy ny fahaleovan-tenan'ny indostrian'ny semiconductor ao an-toerana, ka manamafy orina ny fiarovana ara-toekarena sy indostrialy.

Rano mangatsiaka : Ny fanalahidin'ny fahombiazan'ny milina litografia maharitra

Ilaina ny fanaraha-maso mazava tsara ny mari-pana mba hahazoana antoka ny kalitao sy ny vokatra azo avy amin'ny fizotran'ny litografia. Ny vata fampangatsiahana rano, izay singa fototra amin'ny rafitra fampangatsiahana, dia mitana anjara toerana lehibe:

Fepetra takiana amin'ny fampangatsiahana: Tena mora tohina amin'ny fiovaovan'ny mari-pana mandritra ny fiparitahana ny milina litografia, ka mila fitaovana fampangatsiahana rano izay manome fanaraha-maso ny mari-pana marina sy maharitra.

Ny andraikitry ny "Chillers": Amin'ny alàlan'ny fivezivezen'ny rano mangatsiaka, ny "chillers" dia manaparitaka tsara ny hafanana vokarina mandritra ny fampiasana, mitazona ny fitaovana laser ao anatin'ny mari-pana tsara indrindra ary miantoka ny fahamarinan-toerana sy ny fahatokisana amin'ny fizotran'ny litografia.

TEYU Vahaolana fampangatsiahana matihanina ho an'ny milina litografia no atolotra ho an'ny Chiller

TEYU Afaka manome fanaraha-maso ny mari-pana mazava sy marin-toerana ho an'ny milina litografia ny vata fampangatsiahana laser haingam-pandeha CWUP andiany. Ny modely vata fampangatsiahana CWUP-20ANP dia mahatratra ny fahamarinan'ny mari-pana ±0.08°C, izay manome fampangatsiahana mahomby ho an'ny famokarana mazava tsara.

Ao amin'ny tontolon'ny famokarana semiconductor, ny milina litografia no fitaovana fototra amin'ny famindrana lamina microcircuit. Miaraka amin'ny fandrosoan'ny teknolojia, ny milina litografia krypton fluoride sy ny milina litografia argon fluoride dia lasa hery manan-danja hampiroboroboana ny fampandrosoana ny indostria miaraka amin'ny fahombiazany tsara dia tsara.