Шуурхай мэдээ: MIIT нь ≤8nm давхаргын нарийвчлалтай дотоодын DUV литографийн машинуудыг сурталчилж байна

Сүүлийн саруудад Аж үйлдвэр, мэдээллийн технологийн яам (MIIT) "Анхны (багц) гол техникийн тоног төхөөрөмжийг сурталчлах, хэрэглэх удирдамж (2024 оны хэвлэл)"-ийг гаргасан. Энэ нь 28нм-ээс дээш зангилаануудад зориулсан боловсорсон чип үйлдвэрлэлийг бүрэн процессоор нутагшуулах замыг нээж өгч байна!

Хэдийгээр 28нм технологи нь дэвшилтэт технологи биш ч гэсэн бага, дунд болон дунд, өндөр зэрэглэлийн чипүүдийн хоорондох зааг ялгааны хувьд чухал ач холбогдолтой юм. Дэвшилтэт CPU, GPU, хиймэл оюун ухаанаас гадна ихэнх үйлдвэрлэлийн зэрэглэлийн чипүүд 28нм ба түүнээс дээш технологид суурилдаг.

Ажлын зарчим: Гүн хэт ягаан туяаны литографийн дэвшил

KrF (Криптон Фторид) болон ArF (Аргон Фторид) литографийн машинууд нь Гүн Хэт ягаан туяаны (DUV) литографийн ангилалд багтдаг. Хоёулаа цахиурын хавтангийн фоторезист давхарга дээр оптик системээр дамжуулан тусгасан тодорхой гэрлийн долгионы уртыг ашиглан нарийн төвөгтэй хэлхээний хэв маягийг дамжуулдаг.

KrF Литографийн машинууд: 248нм долгионы урттай гэрлийн эх үүсвэрийг ашиглан 110нм-ээс доош нарийвчлалтай, янз бүрийн нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэлийн процесст тохиромжтой.

ArF Литографийн машинууд: 193нм долгионы урттай гэрлийн эх үүсвэрийг ашиглан 65нм-ээс доош технологийн процесст илүү өндөр нягтралтайгаар илүү нарийн хэлхээ үйлдвэрлэх боломжийг олгодог.

Технологийн ач холбогдол: Аж үйлдвэрийн шинэчлэл ба бие даасан байдал

Эдгээр литографийн машинуудын хөгжил нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийг хөгжүүлэх, үйлдвэрлэлийн бие даасан байдлыг бий болгоход томоохон алхам болж байна.

Техникийн нээлтүүд: KrF болон ArF литографийн машинуудыг амжилттай бүтээсэн нь өндөр зэрэглэлийн литографийн технологийн мэдэгдэхүйц дэвшлийг онцолж, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд бат бөх техникийн дэмжлэг үзүүлж байна.

Салбарын шинэчлэл: Өндөр нарийвчлалтай литографийн машинууд нь илүү нарийн төвөгтэй, өндөр хүчин чадалтай интеграл хэлхээ үйлдвэрлэх боломжийг олгож, хагас дамжуулагчийн үнэ цэнийн сүлжээнд инновацийг бий болгодог.

Эдийн засаг ба үндэсний аюулгүй байдал: Эдгээр машинууд нь гадаадын технологиос хамааралтай байдлыг бууруулснаар дотоодын хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн бие даасан байдлыг бэхжүүлж, эдийн засаг, үйлдвэрлэлийн аюулгүй байдлыг бэхжүүлдэг.

Усны хөргөгч : Литографийн машины тогтвортой ажиллагааны түлхүүр

Литографийн процессын чанар, гарцыг хангахын тулд температурын нарийн хяналт чухал үүрэгтэй. Хөргөлтийн системийн гол бүрэлдэхүүн хэсэг болох усны хөргөгч нь чухал үүрэг гүйцэтгэдэг:

Хөргөлтийн шаардлага: Литографийн машинууд нь өртөлтийн үед температурын хэлбэлзэлд маш мэдрэмтгий байдаг тул өндөр нарийвчлалтай, тогтвортой температурын хяналтыг хангадаг усны хөргөгч шаардлагатай байдаг.

Хөргөгчний үүрэг: Хөргөгч нь хөргөлтийн усыг эргэлтэд оруулснаар ашиглалтын явцад үүссэн дулааныг үр дүнтэйгээр гадагшлуулж, лазер төхөөрөмжийг оновчтой температурын хүрээнд байлгаж, литографийн процессын нарийвчлал, найдвартай байдлыг хангадаг.

TEYU Литографийн машинд зориулсан мэргэжлийн хөргөлтийн шийдлүүдийг хөргөгч санал болгож байна

TEYU CWUP цувралын хэт хурдан лазер хөргөгч нь литографийн машинуудад нарийн бөгөөд тогтвортой температурын хяналтыг хангаж чаддаг. CWUP-20ANP хөргөгч загвар нь ±0.08°C температурын тогтвортой байдлыг хангаж, нарийн үйлдвэрлэлд өндөр үр ашигтай хөргөлтийг хангадаг.

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн ертөнцөд литографийн машинууд нь микро хэлхээний хэв маягийг дамжуулах гол төхөөрөмж юм. Технологийн дэвшлийн хамт криптон фторын литографийн машин болон аргон фторын литографийн машинууд нь маш сайн гүйцэтгэлээрээ салбарын хөгжлийг дэмжих чухал хүчин зүйл болсон.