Лазер мэдээ
2002 оноос хойш лазер систем ба үйлдвэрлэлийн хэрэглээний температурын нарийн хяналт
Хэл
MIIT-ийн 2024 оны удирдамж нь технологийн чухал үе шат болох 28 нм+ чип үйлдвэрлэхэд бүрэн процессыг нутагшуулахыг дэмждэг. Гол дэвшилд KrF болон ArF литографийн машинууд багтаж, өндөр нарийвчлалтай хэлхээг бий болгож, үйлдвэрлэлийн бие даасан байдлыг нэмэгдүүлсэн. Температурын нарийн хяналт нь эдгээр процессуудад чухал ач холбогдолтой бөгөөд TEYU CWUP усан хөргөгч нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн тогтвортой ажиллагааг хангадаг.
Сүүлийн саруудад Аж Үйлдвэр, Мэдээллийн Технологийн Яам (ҮХААЯ) "Анхны (иж бүрдэл) гол техникийн тоног төхөөрөмжийг сурталчлах, хэрэглэх заавар (2024 оны хэвлэл)"-ийг гаргасан. Энэ нь 28 нм-ээс дээш зангилааны хувьд боловсорч гүйцсэн чип үйлдвэрлэх процессыг бүрэн нутагшуулах замыг нээж байна!
Хэдийгээр 28 нм технологи нь хамгийн сүүлийн үеийн технологи биш боловч бага ба дунд, дундаас дээд зэрэглэлийн чипүүдийн хооронд хуваагдах шугамын хувьд чухал ач холбогдолтой юм. Дэвшилтэт CPU, GPU болон AI чипүүдээс гадна ихэнх үйлдвэрлэлийн түвшний чипүүд нь 28 нм ба түүнээс дээш технологид тулгуурладаг.
Ажлын зарчим: Гүн хэт ягаан туяаны литографийн дэвшил
KrF (Krypton Fluoride) болон ArF (Argon Fluoride) литографийн машинууд нь гүн хэт ягаан туяаны (DUV) литографийн ангилалд багтдаг. Аль аль нь оптик системээр дамжуулан цахиурын ялтсуудын фоторезист давхарга дээр тодорхой гэрлийн долгионы уртыг ашиглаж, нарийн хэлхээний хэв маягийг дамжуулдаг.
KrF Литографийн машин: Төрөл бүрийн нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэлийн процесст тохиромжтой 110 нм-ээс доош нарийвчлалтай 248 нм долгионы урттай гэрлийн эх үүсвэрийг ашиглана.
ArF Lithography машинууд: 193 нм долгионы урттай гэрлийн эх үүсвэрийг ашиглан 65 нм-ээс бага технологийн технологийн хувьд илүү өндөр нарийвчлалыг санал болгож, илүү нарийн хэлхээг үйлдвэрлэх боломжийг олгодог.
Технологийн ач холбогдол: Аж үйлдвэрийн шинэчлэл, бие даах чадвар
Эдгээр литографийн машинуудын хөгжил нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийг ахиулах, үйлдвэрлэлийн бие даасан байдалд хүрэх томоохон үе шат юм.
Техникийн ололт амжилт: KrF болон ArF литографийн машиныг амжилттай бүтээсэн нь дээд зэрэглэлийн литографийн технологид ихээхэн ахиц дэвшил гарсныг онцолж, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд найдвартай техникийн дэмжлэг үзүүлж байна.
Аж үйлдвэрийн шинэчлэл: Өндөр нарийвчлалтай литографийн машинууд нь илүү төвөгтэй, өндөр хүчин чадалтай нэгдсэн хэлхээг үйлдвэрлэх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагчийн үнэ цэнийн сүлжээг бүхэлд нь инновацийг бий болгодог.
Эдийн засаг, үндэсний аюулгүй байдал: Эдгээр машинууд нь гадаадын технологиос хараат байдлыг бууруулснаар дотоодын хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн бие даасан байдлыг бэхжүүлж, эдийн засаг, үйлдвэрлэлийн аюулгүй байдлыг бэхжүүлдэг.
Усан хөргөгч : Литографийн машины тогтвортой гүйцэтгэлийн түлхүүр
Литографийн үйл явцын чанар, бүтээмжийг хангахын тулд температурыг нарийн хянах нь чухал юм. Усан хөргөгч нь хөргөлтийн системийн үндсэн бүрэлдэхүүн хэсэг болох нь чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
Хөргөх шаардлага: Литографийн машин нь өртөлтийн үед температурын хэлбэлзэлд маш мэдрэмтгий байдаг тул өндөр нарийвчлалтай, тогтвортой температурын хяналтыг хангадаг усны хөргөгчийг шаарддаг.
Чиллерийн үүрэг: Хөргөх усыг эргэлтэнд оруулснаар хөргөгч нь ашиглалтын явцад үүссэн дулааныг үр дүнтэйгээр гадагшлуулж, лазерын төхөөрөмжийг оновчтой температурын хязгаарт байлгаж, литографийн үйл явцын нарийвчлал, найдвартай байдлыг хангадаг.
TEYU Chiller нь литографийн машинд зориулсан мэргэжлийн хөргөлтийн шийдлийг санал болгож байна
TEYU CWUP цувралын хэт хурдан лазер хөргөгч нь литографийн машинуудын температурыг нарийн, тогтвортой хянах боломжтой. CWUP-20ANP хөргүүрийн загвар нь ±0.08°C-ийн температурын тогтвортой байдлыг хангаж, нарийн үйлдвэрлэлийн өндөр үр ашигтай хөргөлтийг хангадаг.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн нарийн ертөнцөд литографийн машинууд нь микро схемийг дамжуулах үндсэн төхөөрөмж юм. Технологийн дэвшлийг дагаад криптон хайлуур жоншны литографийн машин, аргон хайлуур литографийн машин нь маш сайн гүйцэтгэлээрээ салбарын хөгжлийг дэмжих чухал хүч болсон.
Танд хэрэгтэй үед бид энд байна.
Бидэнтэй холбогдохын тулд маягтыг бөглөнө үү, бид танд туслахдаа баяртай байх болно.
TEYU S&A Chiller нь хөргөгч үйлдвэрлэх 23 жилийн туршлагатай 2002 онд үүсгэн байгуулагдсан бөгөөд өдгөө лазер үйлдвэрлэлийн хөргөлтийн технологийн анхдагч, найдвартай түнш гэдгээрээ алдартай.
Зохиогчийн эрх © 2025 TEYU S&A Chiller - Бүх эрх хуулиар хамгаалагдсан.
