ताज्या बातम्या: एमआयआयटीने ≤८nm ओव्हरले अचूकतेसह स्वदेशी डीयूव्ही लिथोग्राफी मशीनला प्रोत्साहन दिले.

अलिकडच्या काही महिन्यांत, उद्योग आणि माहिती तंत्रज्ञान मंत्रालयाने (MIIT) "पहिल्या (संच) प्रमुख तांत्रिक उपकरणांच्या प्रोत्साहन आणि वापरासाठी मार्गदर्शक तत्त्वे (२०२४ आवृत्ती)" जारी केली आहेत. यामुळे २८nm वरील नोड्ससाठी परिपक्व चिप उत्पादनाच्या संपूर्ण प्रक्रियेच्या स्थानिकीकरणाचा मार्ग मोकळा झाला आहे!

जरी २८nm तंत्रज्ञान अत्याधुनिक नसले तरी, कमी-ते-मध्यम श्रेणी आणि मध्यम-ते-उच्च श्रेणीच्या चिप्समधील विभाजक रेषा म्हणून त्याचे महत्त्वपूर्ण स्थान आहे. प्रगत CPUs, GPUs आणि AI चिप्स वगळता, बहुतेक औद्योगिक-दर्जाच्या चिप्स २८nm किंवा त्याहून उच्च तंत्रज्ञानावर अवलंबून असतात.

कार्यप्रणाली: डीप अल्ट्राव्हायोलेट लिथोग्राफीमधील प्रगती

KrF (क्रिप्टॉन फ्लोराइड) आणि ArF (आर्गॉन फ्लोराइड) लिथोग्राफी मशीन्स डीप अल्ट्राव्हायोलेट (DUV) लिथोग्राफीच्या श्रेणीत येतात. या दोन्हीमध्ये, ऑप्टिकल सिस्टीमद्वारे सिलिकॉन वेफरच्या फोटोरेझिस्ट थरावर विशिष्ट प्रकाश तरंगलांबी प्रक्षेपित करून, गुंतागुंतीचे सर्किट पॅटर्न हस्तांतरित केले जातात.

KrF लिथोग्राफी मशीन: 248nm तरंगलांबीच्या प्रकाश स्रोताचा वापर करतात, ज्यामुळे 110nm पेक्षा कमी रिझोल्यूशन मिळते आणि विविध इंटिग्रेटेड सर्किट उत्पादन प्रक्रियांसाठी उपयुक्त ठरतात.

ArF लिथोग्राफी मशीन: 193nm तरंगलांबीच्या प्रकाश स्रोताचा वापर करतात, ज्यामुळे सब-65nm प्रक्रिया तंत्रज्ञानासाठी उच्च रिझोल्यूशन मिळते आणि अधिक सूक्ष्म सर्किट्सची निर्मिती शक्य होते.

तांत्रिक महत्त्व: उद्योग उन्नयन आणि आत्मनिर्भरता

या लिथोग्राफी यंत्रांचा विकास हा सेमीकंडक्टर उत्पादनाला पुढे नेण्यात आणि औद्योगिक स्वायत्तता मिळवण्यात एक महत्त्वाचा टप्पा आहे:

तांत्रिक प्रगती: KrF आणि ArF लिथोग्राफी मशीनची यशस्वी निर्मिती ही उच्च-स्तरीय लिथोग्राफी तंत्रज्ञानातील महत्त्वपूर्ण प्रगती दर्शवते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी भक्कम तांत्रिक आधार मिळतो.

औद्योगिक उन्नयन: उच्च-सुस्पष्टता लिथोग्राफी यंत्रे अधिक जटिल आणि उच्च-कार्यक्षम एकात्मिक सर्किट्सचे उत्पादन सक्षम करतात, ज्यामुळे संपूर्ण सेमीकंडक्टर मूल्य साखळीमध्ये नवनवीन शोधांना चालना मिळते.

आर्थिक आणि राष्ट्रीय सुरक्षा: परदेशी तंत्रज्ञानावरील अवलंबित्व कमी करून, ही यंत्रे देशांतर्गत सेमीकंडक्टर उद्योगाची आत्मनिर्भरता बळकट करतात, ज्यामुळे आर्थिक आणि औद्योगिक सुरक्षा मजबूत होते.

वॉटर चिलर : लिथोग्राफी मशीनच्या स्थिर कामगिरीची गुरुकिल्ली

लिथोग्राफी प्रक्रियेची गुणवत्ता आणि उत्पादनक्षमता सुनिश्चित करण्यासाठी अचूक तापमान नियंत्रण अत्यावश्यक आहे. शीतकरण प्रणालीचे मुख्य घटक म्हणून वॉटर चिलर्स महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावतात:

शीतकरणाची आवश्यकता: लिथोग्राफी मशीन्स प्रदर्शनादरम्यान तापमानातील चढउतारांसाठी अत्यंत संवेदनशील असतात, त्यामुळे अत्यंत अचूक आणि स्थिर तापमान नियंत्रण प्रदान करणाऱ्या वॉटर चिलर्सची आवश्यकता असते.

चिलर्सची कार्ये: थंड पाण्याचे अभिसरण करून, चिलर्स कार्यादरम्यान निर्माण होणारी उष्णता प्रभावीपणे विसर्जित करतात, लेझर उपकरणांना इष्टतम तापमान श्रेणीत ठेवतात आणि लिथोग्राफी प्रक्रियेमध्ये अचूकता व विश्वसनीयता सुनिश्चित करतात.

TEYU चिलर लिथोग्राफी मशीनसाठी व्यावसायिक कूलिंग सोल्यूशन्स प्रदान करते

TEYU CWUP सिरीजचे अल्ट्राफास्ट लेझर चिलर्स लिथोग्राफी मशीनसाठी अचूक आणि स्थिर तापमान नियंत्रण प्रदान करू शकतात. CWUP-20ANP हे चिलर मॉडेल ±0.08°C ची तापमान स्थिरता प्राप्त करते, ज्यामुळे अचूक उत्पादनासाठी अत्यंत कार्यक्षम शीतकरण मिळते.

सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या अचूक जगात, मायक्रोसर्किट पॅटर्न हस्तांतरित करण्यासाठी लिथोग्राफी मशीन ही मुख्य उपकरणे आहेत. तंत्रज्ञानाच्या प्रगतीमुळे, क्रिप्टन फ्लोराइड लिथोग्राफी मशीन आणि आर्गॉन फ्लोराइड लिथोग्राफी मशीन त्यांच्या उत्कृष्ट कामगिरीमुळे उद्योगाच्या विकासाला चालना देणारी एक महत्त्वाची शक्ती बनली आहेत.