Control precis al temperaturii pentru sisteme laser și aplicații industriale din 2002
Limba
Orientările MIIT 2024 promovează localizarea întregului proces pentru fabricarea de cipuri de 28 nm+, o piatră de hotar tehnologică crucială. Progresele cheie includ mașinile de litografie KrF și ArF, care permit circuite de înaltă precizie și sporesc încrederea în sine a industriei. Controlul precis al temperaturii este vital pentru aceste procese, cu răcitoarele de apă TEYU CWUP asigurând performanțe stabile în fabricarea semiconductoarelor.
În ultimele luni, Ministerul Industriei și Tehnologiei Informației (MIIT) a emis „Orientările pentru promovarea și aplicarea echipamentelor tehnice majore (ediția 2024)” (Primul (Set) Echipament Tehnic Principal). Acest lucru deschide calea pentru localizarea completă a procesului de fabricație a cipurilor mature pentru noduri de peste 28 nm!
Deși tehnologia de 28 nm nu este de ultimă oră, ea are o importanță semnificativă ca linie de demarcație între cipurile low-to-mid-end și mid-high-end. În afară de procesoarele avansate, GPU-urile și cipurile AI, majoritatea cipurilor de calitate industrială se bazează pe tehnologii de 28 nm sau mai mari.
Principiu de lucru: Progrese în litografie ultravioletă profundă
Aparatele de litografie KrF (fluorura de cripton) si ArF (fluorura de argon) se incadreaza in categoria litografiei cu ultraviolete profunde (DUV). Ambele utilizează lungimi de undă luminoase specifice proiectate prin sisteme optice pe stratul fotorezistent al unei plăci de siliciu, transferând modele complexe de circuite.
Mașini de litografie KrF: Utilizați o sursă de lumină cu lungime de undă de 248 nm, obținând rezoluții sub 110 nm, potrivite pentru diferite procese de fabricație a circuitelor integrate.
Mașini de litografie ArF: Folosiți o sursă de lumină cu lungime de undă de 193 nm, oferind rezoluție mai mare pentru tehnologiile de proces sub-65 nm, permițând fabricarea de circuite mai fine.
Semnificație tehnologică: modernizarea industriei și încrederea în sine
Dezvoltarea acestor mașini de litografie marchează o etapă majoră în avansarea producției de semiconductori și în obținerea autonomiei industriale:
Descoperiri tehnice: Crearea cu succes a mașinilor de litografie KrF și ArF evidențiază progrese semnificative în tehnologia litografică de ultimă generație, oferind suport tehnic robust pentru fabricarea semiconductorilor.
Actualizare în industrie: Mașinile de litografie de înaltă precizie permit producerea de circuite integrate mai complexe și de înaltă performanță, stimulând inovația de-a lungul întregului lanț valoric al semiconductorilor.
Securitate economică și națională: prin reducerea dependenței de tehnologia străină, aceste mașini întăresc autosuficiența industriei interne de semiconductori, susținând securitatea economică și industrială.
Răcitor de apă : cheia performanței stabile a mașinii de litografie
Controlul precis al temperaturii este esențial pentru asigurarea calității și randamentului procesului de litografie. Răcitoarele de apă, ca componente de bază ale sistemelor de răcire, joacă un rol vital:
Cerințe de răcire: Aparatele de litografie sunt extrem de sensibile la fluctuațiile de temperatură în timpul expunerii, necesitând răcitoare de apă care asigură un control al temperaturii foarte precis și stabil.
Funcțiile răcitoarelor: Prin circularea apei de răcire, răcitoarele disipă eficient căldura generată în timpul funcționării, menținând echipamentul laser într-un interval optim de temperatură și asigurând acuratețea și fiabilitatea procesului de litografie.
TEYU Chiller oferă soluții profesionale de răcire pentru mașini de litografie
Răcitoarele laser ultrarapide din seria TEYU CWUP pot oferi un control precis și stabil al temperaturii pentru mașinile de litografie. Răcitorul de lichid model CWUP-20ANP atinge o stabilitate la temperatură de ± 0,08°C, oferind o răcire foarte eficientă pentru fabricarea de precizie.
În lumea precisă a producției de semiconductori, mașinile de litografie sunt dispozitivele de bază pentru transferul modelelor de microcircuite. Odată cu progresul tehnologiei, mașina de litografie cu fluorură de krypton și mașina de litografie cu fluorură de argon au devenit o forță importantă pentru a promova dezvoltarea industriei cu performanța lor excelentă.
Suntem aici pentru tine când ai nevoie de noi.
Vă rugăm să completați formularul pentru a ne contacta și vom fi bucuroși să vă ajutăm.
TEYU S&A Chiller a fost fondată în 2002, cu 23 de ani de experiență în fabricarea de chillere, și este acum recunoscută ca un pionier în tehnologia de răcire și un partener de încredere în industria laserelor.
Drepturi de autor © 2025 TEYU S&A Chiller - Toate drepturile rezervate.
