Presná regulácia teploty pre laserové systémy a priemyselné aplikácie od roku 2002
Jazyk
Smernice MIIT na rok 2024 podporujú lokalizáciu celého procesu pre výrobu čipov 28nm+, čo je zásadný technologický míľnik. Medzi kľúčové vylepšenia patria litografické stroje KrF a ArF, ktoré umožňujú vysoko presné obvody a zvyšujú priemyselnú sebestačnosť. Presná kontrola teploty je pre tieto procesy životne dôležitá, pričom chladiče vody TEYU CWUP zaisťujú stabilný výkon pri výrobe polovodičov.
Ministerstvo priemyslu a informačných technológií (MIIT) v uplynulých mesiacoch vydalo „Smernice na podporu a aplikáciu prvého (súboru) hlavných technických zariadení (vydanie 2024)“. To pripravuje pôdu pre plnohodnotnú lokalizáciu výroby vyspelých čipov pre uzly nad 28nm!
Hoci 28nm technológia nie je špičková, má veľký význam ako deliaca čiara medzi low-to-mid-end a mid-to-high-end čipmi. Okrem pokročilých CPU, GPU a čipov AI sa väčšina čipov priemyselnej triedy spolieha na 28nm alebo vyššie technológie.
Pracovný princíp: Pokroky v hlbokej ultrafialovej litografii
Litografické stroje KrF (Krypton Fluoride) a ArF (Argon Fluoride) patria do kategórie hlbokej ultrafialovej (DUV) litografie. Obidva využívajú špecifické vlnové dĺžky svetla premietané cez optické systémy na vrstvu fotorezistu kremíkového plátku, čím sa prenášajú zložité vzory obvodov.
Litografické stroje KrF: Použite svetelný zdroj s vlnovou dĺžkou 248 nm, dosahujúci rozlíšenie pod 110 nm, vhodný pre rôzne výrobné procesy integrovaných obvodov.
Litografické stroje ArF: Použite svetelný zdroj s vlnovou dĺžkou 193 nm, ktorý ponúka vyššie rozlíšenie pre procesné technológie pod 65 nm, čo umožňuje výrobu jemnejších obvodov.
Technologický význam: Inovácia odvetvia a sebestačnosť
Vývoj týchto litografických strojov predstavuje významný míľnik v napredovaní výroby polovodičov a dosiahnutí priemyselnej autonómie:
Technické prelomy: Úspešné vytvorenie litografických strojov KrF a ArF zdôrazňuje významný pokrok v špičkovej litografickej technológii, ktorá poskytuje robustnú technickú podporu pre výrobu polovodičov.
Priemyselná modernizácia: Vysoko presné litografické stroje umožňujú výrobu komplexnejších a vysokovýkonných integrovaných obvodov, čo poháňa inovácie v celom hodnotovom reťazci polovodičov.
Ekonomická a národná bezpečnosť: Znížením závislosti na zahraničnej technológii tieto stroje posilňujú sebestačnosť domáceho polovodičového priemyslu a posilňujú ekonomickú a priemyselnú bezpečnosť.
Chladič vody : Kľúč k stabilnému výkonu litografického stroja
Presná kontrola teploty je nevyhnutná na zabezpečenie kvality a výťažnosti procesu litografie. Vodné chladiče, ako základné komponenty chladiacich systémov, hrajú dôležitú úlohu:
Požiadavky na chladenie: Litografické stroje sú extrémne citlivé na kolísanie teploty počas expozície, čo si vyžaduje vodné chladiče, ktoré poskytujú vysoko presné a stabilné riadenie teploty.
Funkcie chladičov: Cirkuláciou chladiacej vody chladiče efektívne odvádzajú teplo vznikajúce počas prevádzky, udržiavajú laserové zariadenie v optimálnom teplotnom rozsahu a zaisťujú presnosť a spoľahlivosť v procese litografie.
TEYU Chiller ponúka profesionálne chladiace riešenia pre litografické stroje
Ultrarýchle laserové chladiče série TEYU CWUP môžu poskytnúť presnú a stabilnú reguláciu teploty pre litografické stroje. Model chladiča CWUP-20ANP dosahuje teplotnú stabilitu ±0,08 °C a poskytuje vysoko účinné chladenie pre presnú výrobu.
V precíznom svete výroby polovodičov sú litografické stroje základnými zariadeniami na prenos vzorov mikroobvodov. S pokrokom v technológii sa kryptónový fluoridový litografický stroj a argónový fluoridový litografický stroj stali dôležitou silou na podporu rozvoja priemyslu s ich vynikajúcim výkonom.
Sme tu pre vás, keď nás potrebujete.
Ak nás chcete kontaktovať, vyplňte formulár a my vám radi pomôžeme.
Spoločnosť TEYU S&A Chiller bola založená v roku 2002 s 23-ročnými skúsenosťami s výrobou chladiacich jednotiek a v súčasnosti je uznávaná ako priekopník v oblasti chladiacich technológií a spoľahlivý partner v laserovom priemysle.
Autorské práva © 2025 TEYU S&A Chiller - Všetky práva vyhradené.
