Natančen nadzor temperature za laserske sisteme in industrijske aplikacije od leta 2002
Jezik
Smernice MIIT za leto 2024 spodbujajo lokalizacijo celotnega procesa za 28nm+ proizvodnjo čipov, kar je ključni tehnološki mejnik. Ključni napredek vključuje stroje za litografijo KrF in ArF, ki omogočajo visoko natančna vezja in povečujejo samozavest industrije. Natančen nadzor temperature je ključnega pomena za te procese, pri čemer vodni hladilniki TEYU CWUP zagotavljajo stabilno delovanje pri proizvodnji polprevodnikov.
V zadnjih mesecih je Ministrstvo za industrijo in informacijsko tehnologijo (MIIT) izdalo "Smernice za promocijo in uporabo prve (kompletne) večje tehnične opreme (izdaja 2024)". To utira pot lokalizaciji celotnega procesa zrele proizvodnje čipov za vozlišča nad 28 nm!
Čeprav 28nm tehnologija ni vrhunska, je zelo pomembna kot ločnica med čipi nizkega do srednjega in srednjega do višjega cenovnega razreda. Poleg naprednih procesorjev, grafičnih procesorjev in čipov AI se večina industrijskih čipov zanaša na 28 nm ali višje tehnologije.
Načelo delovanja: Napredek v globoki ultravijolični litografiji
Stroji za litografijo KrF (kriptonov fluorid) in ArF (argonov fluorid) spadajo v kategorijo globoko ultravijolične (DUV) litografije. Oba uporabljata posebne valovne dolžine svetlobe, projicirane prek optičnih sistemov na plast fotorezista silicijeve rezine, ki prenaša zapletene vzorce vezij.
Stroji za litografijo KrF: uporabite svetlobni vir valovne dolžine 248 nm, ki dosega ločljivosti pod 110 nm, primeren za različne procese izdelave integriranih vezij.
Stroji za litografijo ArF: uporabite svetlobni vir valovne dolžine 193 nm, ki ponuja višjo ločljivost za procesne tehnologije pod 65 nm, kar omogoča izdelavo finejših vezij.
Tehnološki pomen: Nadgradnja industrije in samozavest
Razvoj teh litografskih strojev pomeni pomemben mejnik pri napredovanju proizvodnje polprevodnikov in doseganju industrijske avtonomije:
Tehnični preboj: Uspešna izdelava strojev za litografijo KrF in ArF poudarja pomemben napredek v vrhunski tehnologiji litografije, ki zagotavlja robustno tehnično podporo za proizvodnjo polprevodnikov.
Nadgradnja industrije: Visoko precizni litografski stroji omogočajo proizvodnjo kompleksnejših in visoko zmogljivih integriranih vezij, ki spodbujajo inovacije v celotni vrednostni verigi polprevodnikov.
Gospodarska in nacionalna varnost: Z zmanjšanjem odvisnosti od tuje tehnologije ti stroji krepijo samozadostnost domače polprevodniške industrije ter krepijo ekonomsko in industrijsko varnost.
Hladilnik vode : ključ do stabilnega delovanja litografskega stroja
Natančen nadzor temperature je bistvenega pomena za zagotavljanje kakovosti in izkoristka postopka litografije. Hladilniki vode kot osrednje komponente hladilnih sistemov igrajo ključno vlogo:
Zahteve za hlajenje: Litografski stroji so izjemno občutljivi na temperaturna nihanja med izpostavljenostjo, zato so potrebni vodni hladilniki, ki zagotavljajo zelo natančen in stabilen nadzor temperature.
Funkcije hladilnikov: S kroženjem hladilne vode hladilniki učinkovito odvajajo toploto, ki nastane med delovanjem, vzdržujejo lasersko opremo v optimalnem temperaturnem območju in zagotavljajo natančnost in zanesljivost v procesu litografije.
TEYU Chiller ponuja profesionalne hladilne rešitve za litografske stroje
Ultra hitri laserski hladilniki serije TEYU CWUP lahko zagotovijo natančen in stabilen nadzor temperature za litografske stroje. Model hladilne naprave CWUP-20ANP dosega temperaturno stabilnost ±0,08°C, kar zagotavlja visoko učinkovito hlajenje za natančno proizvodnjo.
V natančnem svetu proizvodnje polprevodnikov so litografski stroji osrednje naprave za prenos vzorcev mikrovezij. Z napredkom tehnologije sta stroj za litografijo s kripton fluoridom in stroj za litografijo z argon fluoridom s svojo odlično zmogljivostjo postala pomembna sila za spodbujanje razvoja industrije.
Tukaj smo za vas, ko nas potrebujete.
Izpolnite obrazec, da nas kontaktirate in z veseljem vam bomo pomagali.
Podjetje TEYU S&A Chiller je bilo ustanovljeno leta 2002 z 23-letnimi izkušnjami v proizvodnji hladilnikov in je danes prepoznano kot pionir hladilne tehnologije in zanesljiv partner v laserski industriji.
Avtorske pravice © 2025 TEYU S&A Chiller - Vse pravice pridržane.
