Tala Fou: Ua Fa'alauiloa e le MIIT Masini Fa'a-Lithography DUV i totonu o le Atunu'u ma le Sa'o o le Overlay ≤8nm

I masina talu ai nei, na tuʻuina atu ai e le Matagaluega o Alamanuia ma Tekonolosi Faʻamatalaga (MIIT) le "Taiala mo le Faʻalauiloaina ma le Faʻaaogaina o Meafaigaluega Faʻatekinolosi Muamua (Seti) (Lomiga 2024)". O lenei mea ua saunia ai le ala mo le faʻagasologa atoa o le gaosiga o chip ua matutua mo nodes e sili atu i le 28nm!

E ui o le tekinolosi 28nm e le o se tekinolosi fa'aonaponei, ae e taua tele o ia o se laina vaeluaina i le va o chips maualalo i le ogatotonu ma le ogatotonu i le maualuga. E ese mai i CPUs fa'aonaponei, GPUs, ma chips AI, o le tele o chips tulaga fa'apisinisi e fa'alagolago i tekinolosi 28nm pe maualuga atu.

Mataupu Fa'atino: Alualu i Luma i le Loloto o le Ultraviolet Lithography

O masini fa'asu'esu'e KrF (Krypton Fluoride) ma le ArF (Argon Fluoride) e pa'ū i lalo o le vaega o le Deep Ultraviolet (DUV) lithography. E fa'aaogaina uma e lua ni galu malamalama fa'apitoa e fa'asalalauina e ala i faiga fa'aola i luga o le vaega photoresist o se silicon wafer, ma fa'aliliuina atu ai ni mamanu lavelave o le matagaluega.

Masini Fa'a-Lithography KrF: Fa'aaoga se malamalama e 248nm le umi o le galu, ma ausia ai ni iugafono i lalo ifo o le 110nm, e talafeagai mo le tele o faiga gaosiga o le integrated circuit.

Masini Fa'a-Lithography ArF: Fa'aaoga se malamalama e umi le galu e 193nm, e ofoina atu ai le maualuga o le iugafono mo tekinolosi fa'agasologa i lalo ifo o le 65nm, ma mafai ai ona fausia ni matagaluega sili atu ona lelei.

Taua Fa'atekonolosi: Fa'aleleia Atili o Alamanuia ma le Fa'alagolago ia te Oe Lava

O le atinaʻeina o nei masini lithography o se laʻasaga taua tele i le faʻalauteleina o le gaosiga o semiconductor ma le ausiaina o le tutoʻatasi faʻapisinisi:

Fouga Fa'atekinolosi: O le manuia o le fausiaina o masini lithography KrF ma ArF ua fa'amamafaina ai le alualu i luma taua i tekinolosi lithography maualuga, ma maua ai le lagolago fa'atekinolosi malosi mo le gaosiga o semiconductor.

Fa'aleleia atili o Alamanuia: O masini fa'apipi'i ata e maualuga le sa'o e mafai ai ona gaosia ni matagaluega tu'ufa'atasi e sili atu ona lavelave ma maualuga le fa'atinoga, ma fa'aleleia atili ai le fa'afouga i le filifili taua atoa o semiconductor.

Saogalemu Tau Tamaoaiga ma le Atunuu: I le faaitiitia o le faalagolago i tekinolosi mai fafo, o nei masini e faamalosia ai le tutoatasi o le alamanuia semiconductor i totonu o le atunuu, ma faamalosia ai le saogalemu tau tamaoaiga ma alamanuia.

Vai Malulu : O le Ki i le Mausali o le Fa'atinoga o le Masini Lithography

E taua tele le pulea sa'o o le vevela mo le fa'amautinoaina o le lelei ma le fua o le fa'agasologa o le lithography. O masini fa'amālūlū vai, o ni vaega autū o faiga fa'amālūlū, e iai sona sao taua:

Mana'oga mo le Fa'amālūlūina: E matuā maaleale lava masini vali ata i suiga o le vevela i le taimi e fa'aalia ai, e mana'omia ai ni masini fa'amālūlū vai e maua ai le pulea sa'o ma mautu o le vevela.

Galuega a Chillers: E ala i le fa'asalalauina o le vai fa'amālūlūina, e fa'amamago lelei ai e chillers le vevela e maua mai i le taimi o le fa'agaioiga, ma fa'atumauina ai masini laser i totonu o le vevela sili ona lelei ma fa'amautinoa ai le sa'o ma le fa'atuatuaina i le fa'agasologa o le lithography.

TEYU O lo'o ofoina atu e le Chiller ni fofo fa'amālūlū fa'apolofesa mo masini Lithography

TEYU E mafai e le CWUP series ultrafast laser chillers ona tuʻuina atu le pulea saʻo ma mautu o le vevela mo masini lithography. O le faʻataʻitaʻiga chiller CWUP-20ANP e ausia ai le mautu o le vevela o le ±0.08°C, e tuʻuina atu ai le faʻamālūlūina lelei tele mo le gaosiga saʻo.

I le lalolagi tonu o le gaosiga o semiconductor, o masini lithography o masini autu ia mo le fesiitaiga o mamanu microcircuit. Faatasi ai ma le alualu i luma o tekinolosi, ua avea ai masini krypton fluoride lithography ma le masini argon fluoride lithography ma malosiaga taua e faalauiloa ai le atinaeina o le alamanuia faatasi ai ma a latou faatinoga sili ona lelei.