Tala Fou Laser
Fa'asa'o Fa'atonuga o le Vevela mo Faiga Fa'aleisa ma Fa'aaogāga Fa'apisinisi Talu mai le 2002
Gagana
O taʻiala a le MIIT 2024 e faʻalauiloaina le faʻaogaina atoa o le faʻaogaina mo le 28nm + gaosiga o chip, o se mea taua tele tekinolosi. O aga'i i luma autu e aofia ai masini lithography KrF ma ArF, fa'aagaoioi le fa'atonuga maualuga ma fa'amalosia le ola tuto'atasi o pisinisi. E taua tele le pulea lelei o le vevela mo nei faʻagasologa, faʻatasi ai ma le TEYU CWUP faʻafefe vai e faʻamautinoa ai le mautu o le gaosiga o semiconductor.
I masina talu ai nei, na tuʻuina atu ai e le Matagaluega o Alamanuia ma Faʻamatalaga Tekonolosi (MIIT) le "Taʻiala mo le Faʻalauiloaina ma le Faʻaaogaina o Mea Muamua (Set) Major Technical Equipment (2024 Edition)". O le mea lea e maua ai le ala mo le fa'agasolo atoa o le fa'aogaina o le gaosiga o va'a matutua mo nodes i luga atu o le 28nm!
E ui lava o le 28nm tekinolosi e le o se mea faʻapitoa, e taua tele e pei o le vaeluaga o laina i le va o tupe meataalo maualalo i le ogatotonu ma le ogatotonu i le maualuga. E ese mai i CPU sili atu, GPU, ma AI meataalo, o le tele o meataalo faʻapisinisi e faʻalagolago ile 28nm poʻo tekinolosi maualuga.
Galuega Fa'avae: Fa'alautelega ile Deep Ultraviolet Lithography
KrF (Krypton Fluoride) ma ArF (Argon Fluoride) masini lithography e pa'ū i lalo ole vaega ole Deep Ultraviolet (DUV) lithography. O lo'o fa'aogaina uma e la'ua umi galu mama fa'apitoa e fa'atatauina i faiga fa'apitoa i luga o le ata fa'ata'ita'i o se fa'ama'i sikoni, fa'afeiloa'i atu fa'asologa o ta'amilosaga lavelave.
KrF Lithography Machines: Fa'aaoga se 248nm wavelength malamalama puna, ausia iugafono i lalo ole 110nm, talafeagai mo fa'agasologa fa'agasologa tu'ufa'atasiga gaosiga.
ArF Lithography Machines: Fa'aaogā se fa'apogai 193nm wavelength malamalama, e ofoina atu fa'ai'uga maualuga mo faiga fa'atekonolosi sub-65nm, e mafai ai ona fa'atupuina o ta'amilosaga sili atu.
Taua Fa'atekonolosi: Fa'aleleia Alamanuia ma le Fa'alagolago o le Tagata ia te ia lava
O le atinaʻeina o nei masini lithography e faʻailogaina ai se mea taua tele i le faʻalauteleina o le gaosiga o le semiconductor ma le ausiaina o le tutoʻatasi o pisinisi:
Fa'amatalaga Fa'atekinisi: O le fa'atupuina manuia o masini fa'ata'ita'iga a KrF ma ArF ua fa'ailoa mai ai le alualu i luma taua i tekonolosi fa'ata'ita'i maualuga, ma maua ai le lagolago fa'atekinisi malosi mo le gaosiga o semiconductor.
Alamanuia Fa'aleleia: O masini lithography maualuga maualuga e mafai ai ona gaosia le sili atu le lavelave ma le maualuga-faʻatinoina o fesoʻotaʻiga tuʻufaʻatasia, faʻauluina mea fou i luga o le filifili tau semiconductor atoa.
Tamaoaiga ma le Saogalemu a le Atunuu: E ala i le faaitiitia o le faalagolago i tekinolosi mai fafo, o nei masini e faamalosia ai le tutoatasi o pisinisi semiconductor i totonu o le atunuu, faamalosia le tamaoaiga ma le saogalemu o alamanuia.
Suavai Chiller : Le Ki i le mautu Lithography Machine Fa'atinoga
E mana'omia le pulea lelei o le vevela mo le fa'amautinoaina o le lelei ma le fua o le fa'agasologa o le lithography. O vai malulu, e avea ma vaega autu o faiga malulu, e iai sona sao taua:
Manaoga Fa'alili: O masini lithography e matua maaleale lava i fesuiaiga o le vevela i le taimi o le faʻaalia, e manaʻomia ai vai malulu e maua ai le sao atoatoa ma le mautu o le vevela.
Galuega a Chillers: E ala i le fa'asalalauina o le vai malulu, e fa'amalo lelei ai le vevela e gaosia i le taimi o le fa'agaioiga, fa'atumauina masini laser i totonu o le maualuga o le vevela ma fa'amautinoa le sa'o ma le fa'amaoni i le fa'agasologa o le lithography.
TEYU Chiller Ofo Fofo Fa'amalulu Fa'apolofesa mo Masini Lithography
TEYU CWUP fa'asologa ultrafast laser chillers e mafai ona maua sa'o ma mautu pulea vevela mo masini lithography. O le faʻataʻitaʻiga CWUP-20ANP faʻataʻitaʻiga e maua ai le faʻamautuina o le vevela o le ± 0.08 ° C, faʻafeiloaʻi sili ona lelei le malulu mo le gaosiga saʻo.
I le lalolagi tonu o le gaosiga o semiconductor, o masini lithography o masini autu ia mo le fesiitaiga o mamanu microcircuit. Faatasi ai ma le alualu i luma o tekinolosi, krypton fluoride lithography masini ma argon fluoride lithography masini ua avea ma malosiaga taua e faalauiloa ai le atinae o le alamanuia ma latou faatinoga lelei.
Matou te i ai iinei mo oe pe a e manaʻomia i matou.
Fa'amolemole fa'atumu le fomu e fa'afeso'ota'i ai i matou, ma o le a matou fiafia e fesoasoani ia te oe.
TEYU S&A Chiller na faavaeina i le 2002 ma le 23 tausaga o le gaosiga o le gaosiga o le chiller, ma ua lauiloa nei o se paionia tekinolosi malulu ma paaga faatuatuaina i alamanuia laser.
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