Прецизна контрола температуре за ласерске системе и индустријске примене од 2002. године
Језик
Смернице МИИТ-а за 2024. промовишу локализацију пуног процеса за производњу чипова од 28нм+, што је кључна технолошка прекретница. Кључни напредак укључује КрФ и АрФ литографске машине, омогућавајући високо прецизна кола и повећавајући самопоуздање индустрије. Прецизна контрола температуре је од виталног значаја за ове процесе, са ТЕИУ ЦВУП расхладним уређајима за воду који обезбеђују стабилне перформансе у производњи полупроводника.
Последњих месеци Министарство индустрије и информационих технологија (МИИТ) издало је „Смернице за промоцију и примену прве (сет) главне техничке опреме (издање 2024.)“. Ово отвара пут за локализацију пуног процеса производње зрелих чипова за чворове изнад 28нм!
Иако 28нм технологија није врхунска, она има значајан значај као линија раздвајања између чипова ниског до средњег и средњег до високог квалитета. Осим напредних ЦПУ-а, ГПУ-а и АИ чипова, већина индустријских чипова се ослања на 28нм или више технологије.
Принцип рада: Напредак у дубокој ултраљубичастој литографији
КрФ (Криптон Флуорид) и АрФ (Аргон Флуорид) литографске машине спадају у категорију литографије дубоког ултраљубичастог зрачења (ДУВ). Оба користе специфичне светлосне таласне дужине пројектоване кроз оптичке системе на слој фотоотпорности силиконске плочице, преносећи сложене обрасце кола.
КрФ литографске машине: Користите извор светлости таласне дужине од 248 нм, постижући резолуције испод 110 нм, погодне за различите производне процесе интегрисаних кола.
АрФ литографске машине: Користите извор светлости таласне дужине од 193 нм, који нуди вишу резолуцију за процесне технологије испод 65 нм, омогућавајући производњу финијих кола.
Технолошки значај: унапређење индустрије и самопоуздање
Развој ових машина за литографију означава велику прекретницу у унапређењу производње полупроводника и постизању индустријске аутономије:
Технички пробој: Успешно креирање КрФ и АрФ литографских машина истиче значајан напредак у технологији литографије високог квалитета, пружајући робусну техничку подршку за производњу полупроводника.
Надоградња индустрије: Машине за литографију високе прецизности омогућавају производњу сложенијих интегрисаних кола високих перформанси, подстичући иновације у целом ланцу вредности полупроводника.
Економска и национална безбедност: Смањењем зависности од стране технологије, ове машине јачају самодовољност домаће индустрије полупроводника, јачајући економску и индустријску безбедност.
Расхладни уређај за воду : кључ за стабилне перформансе литографске машине
Прецизна контрола температуре је неопходна за обезбеђивање квалитета и приноса процеса литографије. Хладњаци воде, као основне компоненте система за хлађење, играју виталну улогу:
Захтеви за хлађење: Машине за литографију су изузетно осетљиве на температурне флуктуације током излагања, што захтева расхладне уређаје за воду који обезбеђују веома прецизну и стабилну контролу температуре.
Функције расхладних уређаја: Циркулишући расхладну воду, расхладни уређаји ефикасно расипају топлоту створену током рада, одржавајући ласерску опрему у оптималном температурном опсегу и обезбеђујући тачност и поузданост у процесу литографије.
ТЕИУ Цхиллер нуди професионална решења за хлађење за литографске машине
Ултрабрзи ласерски расхладници ТЕИУ ЦВУП серије могу да обезбеде прецизну и стабилну контролу температуре за литографске машине. Модел чилера ЦВУП-20АНП постиже температурну стабилност од ±0,08°Ц, испоручујући високо ефикасно хлађење за прецизну производњу.
У прецизном свету производње полупроводника, литографске машине су основни уређаји за пренос узорака микрокола. Са напретком технологије, машина за литографију криптон флуорида и машина за литографију аргон флуорида постала је важна сила за промовисање развоја индустрије са својим одличним перформансама.
Ту смо за вас када вам затребамо.
Попуните формулар да бисте нас контактирали, а ми ћемо вам радо помоћи.
Компанија TEYU S&A Chiller основана је 2002. године са 23 године искуства у производњи чилера и сада је препозната као пионир у технологији хлађења и поуздан партнер у ласерској индустрији.
Ауторска права © 2025 TEYU S&A Chiller - Сва права задржана.
