Exakt temperaturkontroll för lasersystem och industriella tillämpningar sedan 2002
Språk
MIIT:s riktlinjer för 2024 främjar lokalisering av hela processen för 28nm+ chiptillverkning, en avgörande teknisk milstolpe. Viktiga framsteg inkluderar KrF- och ArF-litografimaskiner, som möjliggör högprecisionskretsar och ökar industrins självförtroende. Exakt temperaturkontroll är avgörande för dessa processer, med TEYU CWUP vattenkylare som säkerställer stabil prestanda vid tillverkning av halvledarprodukter.
Under de senaste månaderna har ministeriet för industri och informationsteknologi (MIIT) utfärdat "Riktlinjer för främjande och tillämpning av första (uppsättning) större teknisk utrustning (2024-utgåvan)". Detta banar väg för fullprocesslokalisering av moget chiptillverkning för noder över 28nm!
Även om 28nm-tekniken inte är banbrytande, har den stor betydelse som skiljelinjen mellan låg-till-mid-end och mellan-till-high-end-chips. Bortsett från avancerade CPU:er, GPU:er och AI-chips, förlitar sig de flesta kretsar av industrikvalitet på 28nm eller högre teknik.
Arbetsprincip: Framsteg inom djup ultraviolett litografi
KrF (Krypton Fluoride) och ArF (Argon Fluoride) litografimaskiner faller under kategorin djup ultraviolett (DUV) litografi. Båda använder specifika ljusvåglängder som projiceras genom optiska system på fotoresistskiktet på en kiselskiva, och överför intrikata kretsmönster.
KrF litografimaskiner: Använd en ljuskälla på 248 nm våglängd, som uppnår upplösningar under 110 nm, lämplig för olika tillverkningsprocesser för integrerade kretsar.
ArF litografimaskiner: Använd en 193nm våglängdsljuskälla, som erbjuder högre upplösning för sub-65nm processteknik, vilket möjliggör tillverkning av finare kretsar.
Teknisk betydelse: Industriuppgradering och självförsörjning
Utvecklingen av dessa litografimaskiner markerar en viktig milstolpe för att utveckla halvledartillverkning och uppnå industriell autonomi:
Tekniska genombrott: Det framgångsrika skapandet av KrF- och ArF-litografimaskiner belyser betydande framsteg inom avancerad litografiteknik, vilket ger robust tekniskt stöd för halvledartillverkning.
Industriuppgradering: Litografimaskiner med hög precision möjliggör produktion av mer komplexa och högpresterande integrerade kretsar, vilket driver innovation över hela halvledarvärdekedjan.
Ekonomisk och nationell säkerhet: Genom att minska beroendet av utländsk teknologi stärker dessa maskiner den inhemska halvledarindustrins självförsörjning, vilket stärker ekonomisk och industriell säkerhet.
Vattenkylare : Nyckeln till stabil prestanda för litografimaskiner
Exakt temperaturkontroll är avgörande för att säkerställa kvaliteten och utbytet av litografiprocessen. Vattenkylare, som kärnkomponenter i kylsystem, spelar en viktig roll:
Kylningskrav: Litografimaskiner är extremt känsliga för temperaturfluktuationer under exponering, vilket kräver vattenkylare som ger mycket exakt och stabil temperaturkontroll.
Funktioner för kylare: Genom att cirkulera kylvatten avleder kylmaskiner effektivt värme som genereras under drift, håller laserutrustningen inom ett optimalt temperaturområde och säkerställer noggrannhet och tillförlitlighet i litografiprocessen.
TEYU Chiller erbjuder professionella kyllösningar för litografimaskiner
TEYU CWUP-seriens ultrasnabba laserkylare kan ge exakt och stabil temperaturkontroll för litografimaskiner. Kylarmodellen CWUP-20ANP uppnår en temperaturstabilitet på ±0,08°C, vilket ger högeffektiv kylning för precisionstillverkning.
I den exakta världen av halvledartillverkning är litografimaskiner kärnan för överföring av mikrokretsmönster. Med teknikens framsteg har kryptonfluoridlitografimaskin och argonfluoridlitografimaskin blivit en viktig kraft för att främja utvecklingen av industrin med sina utmärkta prestanda.
Vi finns här för dig när du behöver oss.
Fyll i formuläret för att kontakta oss, så hjälper vi dig gärna.
TEYU S&A Chiller grundades 2002 med 23 års erfarenhet av tillverkning av kylmaskiner och är nu erkänt som en pionjär inom kylteknik och pålitlig partner inom laserindustrin.
Upphovsrätt © 2025 TEYU S&A Chiller - Alla rättigheter förbehållna.
